Bundespatentgericht, Urteil vom 21.11.2023, Az. 3 Ni 16/22 (EP)

Die Beklagte ist eingetragene Inhaberin des aufgrund der als [X.] 2007/063 015 [X.] ([X.]) veröffentlichten internationalen Anmeldung  vom 22. November 2006 unter Inanspruchnahme der [X.] Priorität [X.] vom 1. Dezember 2005 auch mit Wirkung für das Hoheitsgebiet der [X.] in [X.] [X.] erteilten [X.] Patents 1 954 851 ([X.]) mit der Bezeichnung INSTALLATION D'ALIMENTATION EN GAZ POUR MACHINES DE DEPOT D'UNE [X.] BARRIERE SUR [X.]“ (auf [X.] laut Streitpatent: „[X.], [X.] [X.] EINE [X.] ABSCHEIDEN“).

Das beim [X.]en Patent- und Markenamt unter der [X.] 2006 051 787 geführte Streitpatent betrifft eine Anlage zur Bereitstellung gasförmiger Vorläufer, die zum Abscheiden von [X.] im Inneren eines Gefäßes, insbesondere Flaschen, verwendet werden (vgl. [X.] 0001) und umfasst in der vom [X.] in einem abgeschlossenen Einspruchsverfahren unverändert aufrecht erhaltenen erteilten Fassung den unabhängigen Erzeugnisanspruch 1 und die auf diesen zurückbezogenen [X.] 2 bis 13. Der unabhängige Patentanspruch 1 lautet in der [X.] sowie in der [X.] Übersetzung laut Streitpatent:

Mit ihrer Nichtigkeitsklage begehrt die Klägerin, die von der Beklagten wegen Patentverletzung gerichtlich in Anspruch genommen wird, die vollständige Nichtigerklärung des Streitpatents wegen unzulässiger Erweiterung und mangelnder Patentfähigkeit. Die Beklagte verteidigt ihr Patent in der erteilten Fassung sowie jeweils als geschlossene Anspruchssätze nach Maßgabe von 28 [X.]. Patentanspruch 1 nach Hilfsantrag 1 lautet:

Wegen des Wortlauts von Patentanspruch 1 laut Hilfsantrag 2 wird auf den Tenor, wegen des Wortlauts der übrigen Patentansprüche nach Hauptantrag, [X.] und Hilfsantrag 2 und wegen des Wortlauts der Patentansprüche laut den [X.] 3 bis 14 sowie 1a bis 14a wird auf die Anlagen zu den Schriftsätzen vom 26. September 2022, 15. Februar 2023 sowie 28. März 2023 Bezug genommen.

Beide Parteien haben zur Stützung ihres jeweiligen Vortrags u.a. folgende Druckschriften eingereicht (Nummerierung und Kurzzeichen von den Parteien vergeben):

[X.] EP 1 954 851 [X.] (Streitpatent)

NK3 [X.]e Übersetzung der Beschreibung der [X.]

[X.] [X.] 2007/063 015 [X.] (Offenlegungsschrift)

NK6 [X.] 5 827 571A

[X.] [X.] 5 614 247 A

NK11 JP 2001 335947 A

NK11a deutsche Maschinenübersetzung der Zusammenfassung in NK11

NK11b [X.] Maschinenübersetzung zu NK11

[X.] [X.] 03/100120 A2

[X.] [X.] [X.]

[X.] [X.] 03/014415 [X.]

[X.] S … GmbH, Angebot für [X.], [X.], 7 Seiten

NK16 [X.] 5 827 571 A

[X.] [X.] 2005/0059246 [X.]

[X.] EP 0 220 552 A2

NK19 EP 1 113 089 [X.]

[X.]0 DE 42 33 512 [X.]

[X.]1 [X.] 2005/0136657 [X.]

[X.]2 [X.] 2004/0092118 [X.]

[X.]3 [X.] 2004/101845 [X.]

[X.]3a EP 1643004[X.] als [X.] Übersetzung zu [X.]3

[X.]4 [X.] 132821 A

[X.]4a [X.]e Maschinenübersetzung der Zusammenfassung in [X.]4

[X.]5 [X.] 2004/0007180 [X.]

[X.]6 [X.] 2005/024926 [X.]

[X.]6a Englische Maschinenübersetzung der ersten Seite von [X.]6

[X.]7a [X.]s Benutzerhandbuch zu Coating System [X.] von  S … KG, 390 Seiten, ohne Datum

[X.]7b S … KG: Vortrag zu [X.], 26. April 2004, [X.]-32

[X.]7c Techn. Zeichnungen von [X.] (techn. Dienste), 26.03.2003, 04.09.22, 05.09.2022, 10.09.2022, 5 Seiten

[X.]7d Gasflussplan [X.] zu „[X.] PET 24“, [X.], bearbeitet 13.12.2006, 1 Seite

[X.]7e Gasflussplan M02+M03 zu „[X.] PET 24“, [X.] glass made or ideas, 14.07.2003, 1 Seite

[X.]7f Vertrag zwischen S … KG und X … Corporation vom 26. Oktober 2004 über [X.], teilw. geschwärzt, [X.]-38

[X.]7g Annex 4 zu [X.]7f, Form of acceptance protocol, 15.03.2005, S. 35

[X.]7h EG-Konformitätserklärung [X.], 20.12.2004, [X.]-2

[X.]7i Interner Auftrag, Auftragsnummer 70 210 002 00, 8.12.2004, [X.]

[X.]7j Handelsregister B des Amtsgerichts M … v. [X.], [X.]-2

[X.]7k Handelsregister A des Amtsgerichts H … , [X.], [X.]-3

[X.]7l Handelsregister B des Amtsgerichts H … , [X.], [X.]-5

[X.]7m Handelsregister B des Amtsgerichts D … , 1.3.2021, [X.]-10

[X.] [X.] 6 555 165 B2

Die Klägerin ist der Auffassung, dass Patentanspruch 1 in der erteilten sowie jeder Fassung nach den [X.] wegen unzulässiger Zwischenverallgemeinerungen über den Inhalt der ursprünglichen Anmeldung hinausgehe und der jeweils beanspruchte [X.] zudem wegen fehlender Neuheit gegenüber [X.] und fehlender erfinderischer Tätigkeit gegenüber Kombinationen der [X.]. einer der Druckschriften aus [X.] bis [X.], der [X.]. [X.] oder einer der Druckschriften aus [X.] bis [X.]6, oder der ihrer Auffassung nach öffentlich zugänglich gemachten Vorbenutzung nach dem [X.] [X.]7 sowie der [X.] i.V.m. dem fachmännischen Wissen und Können nicht patentfähig sei. Dieselben Nichtigkeitsgründe seien auch in den Fassungen nach den [X.] gegeben.

Die Klägerin beantragt,

das [X.] Patent 1 954 851 mit Wirkung für das Hoheitsgebiet der [X.] für nichtig zu erklären.

Die Beklagte beantragt,

die Klage abzuweisen,

hilfsweise die Klage mit der Maßgabe abzuweisen, dass das Streitpatent in der angegebenen Reihenfolge eine der Fassungen nach den [X.] 1 bis 11 laut Schriftsatz vom 26. September 2022, den [X.] 12 bis 14 laut Schriftsatz vom 15. Februar 2023 sowie den [X.] 1a bis 14a laut Schriftsatz vom 28. März 2023 erhält.

Die Beklagte, welche die Anspruchssätze nach Haupt- und [X.] als in sich geschlossen ansieht, hält den Gegenstand des Streitpatents in wenigstens einer der verteidigten Fassungen für schutzfähig. Eine unzulässige Erweiterung liege nicht vor, da die Änderungen in der erteilten Fassung ursprungsoffenbart seien und insbesondere keine unzulässigen Zwischenverallgemeinerungen enthielten. Der geltend gemachte Stand der Technik enthalte jeweils einzelne erfindungsgemäße Merkmale nicht, die für den Fachmann auch nicht nahegelegt seien. Dies gelte auch für die behauptete offenkundige Vorbenutzung, für die im Übrigen auch nicht nachgewiesen sei, zu welchem Zeitpunkt für die vorliegende Erfindung wesentliche Informationen durch die angebliche Lieferung des Prototyps einer Maschine unbeteiligten Dritten öffentlich zugänglich gemacht worden seien.

Die zulässige Klage ist nur teilweise begründet. [X.] ist gemäß Artikel II § 6 Absatz 1 Nr. 1 IntPatÜG, Art. 138 Abs. 1 Buchst. a) [X.]PÜ i. V. m. Art. 52, 56 [X.]PÜ im Umfang des Patentanspruchs 1 in der erteilten Fassung sowie nach Maßgabe des [X.] für nichtig zu erklären, da sich sein jeweiliger Gegenstand in diesen Fassungen als nicht patentfähig erweist. Demgegenüber ist die weitergehende Klage abzuweisen, soweit sie sich auch gegen die Fassung von Patentanspruch 1 nach Hilfsantrag 2 richtet, da sich der Gegenstand des Streitpatents in dieser zulässigen Fassung als schutzfähig erweist.

1. Wie die Beschreibung des Streitpatents einleitend erläutert, bezieht sich die [X.]rfindung auf im Stand der Technik bereits bekannte Maschinen mit mindestens einer Bearbeitungsstation mit einer Vakuumkammer. Hierbei werde zur Ausbildung der Barriereschicht mit Hilfe einer Gaszufuhrinstallation ein gasförmiger Vorläufer (als [X.]inzelgas oder Gasgemisch) in das Innere des Gefäßes, in dem das Vakuum erzeugt wurde, eingeführt und aus diesem Vorläufer ein Plasma unter Verwendung von Mikrowellenenergie erzeugt, die mithilfe eines Zünders angelegt werde. Dies führe dazu, dass sich an der Innenwand des Gefäßes eine Barriereschicht bilde, die insbesondere das später in das Gefäß eingefüllte Füllgut vor äußeren [X.]inflüssen schütze und das Gefäß gasundurchlässiger mache (vgl. [X.]/[X.] Abs. 0002 u. 0003).

Dieser Vorgang sei durch einen sehr hohen Arbeitstakt geprägt, was dazu führe, dass die [X.] sehr kurz sei, um den Gasdruck zur Zündung des Plasmas aufzubauen. Die damit verbundenen technischen Probleme seien im Stand der Technik aber nicht ausreichend gelöst (vgl. [X.]/[X.] Abs. 0005 u. 0006). Zudem sei es schwierig, die Betriebsbedingungen der einzelnen Komponenten zwischen zwei Schichtabscheidungsvorgängen zu kontrollieren (vgl. [X.]/[X.] Abs. 0011).

2. [X.] stellt sich daher die Aufgabe die bisher bekannten Beschränkungen zu überwinden (vgl. [X.]/[X.] Abs. 0013). Diese Aufgabe soll durch eine Vorrichtung nach Patentanspruch 1 gelöst werden, deren Merkmale sich in der [X.], in der Übersetzung laut Streitpatent und in der Übersetzung der Klägerin wie folgt gliedern lassen:

3. [X.]in Teil der Begriffe bedarf der Auslegung. Der zuständige Fachmann, ein Diplom-Ingenieur (FH) der Fachrichtung Maschinenbau mit Schwerpunkt Oberflächentechnik und besonderen Kenntnissen in der industriellen Plasma-Oberflächentechnik, der mit der Versorgung von [X.] mit den benötigten [X.] vertraut ist, wird sie wie folgt verstehen, wobei darauf hingewiesen wird, dass zur Vereinfachung anstelle der Bezeichnung „Mittel zum Inbetriebsregimebringen ([X.])“ der verkürzte Ausdruck „[X.] ([X.])“ − wie in den Schriftsätzen der [X.]en sowie in der mündlichen Verhandlung − verwendet wird:

3.1 Nach Merkmal 1.1 ist die beanspruchte Vorrichtung für eine Maschine zur Abscheidung von [X.] auf der Innenwand von Behältern mittels kaltem Plasma vorgesehen. Die hierfür maßgebliche [X.]ignung hat die Vorrichtung dann, wenn sie mit den in den übrigen Merkmalen näher beschriebenen räumlich-körperlichen Merkmalen ohne bauliche Veränderung an eine [X.] angeschlossen werden kann.

3.2 Gemäß Merkmal 1.3a soll die Gaszufuhrinstallation mindestens einen zweiten Teil umfassen, der stromaufwärts („vorgelagert“) an die Gasleitungen (54, 56, 76, 78) über Magnetventile angeschlossen ist und eine Verteilungsvorrichtung (M) umfasst, die mindestens einen [X.] (48, 50) umfasst. Da der Auslegung die [X.] zu Grunde zu legen ist, kommt es insoweit auf das maßgebliche französische Wort „comporter“ an, das für „umfassen“ und nicht für „bestehen aus“ steht. Damit sind weitere Vorrichtungsbestandteile nicht ausgeschlossen. Weiterhin sind die Bezeichnungen „angeschlossen an“ (Übersetzung Streitpatent) und „verbunden mit“ (Übersetzung Klägerin) vor dem Hintergrund des maßgeblichen französischen Wortes „connectée“ Synonyme. Der Fachmann erfährt aus Abs. 0058 des Streitpatents, dass die „Verteilungsvorrichtung (M)“ gemäß Merkmal 1.3a eine [X.]inheit aus zwei [X.] [X.], [X.] umfasst, die jeweils einen [X.] 48 bzw. 50 umfassen (vgl. [X.]/[X.] Abs. 0058 [X.]. [X.]. 2). Aufgrund der Bezeichnung „umfassen“ versteht der Fachmann auch diese Aufzählung nicht als abschließend. So erkennt er aus dem Ausführungsbeispiel nach [X.]. 2, dass zusätzlich beispielsweise auch zugehörige Magnetventile und zu den [X.] hin- bzw. wegführende Leitungsenden der Gasleitungen zu den [X.] gehören können.

3.3 Unter dem Begriff „[X.]“ versteht der Fachmann ein eigenes räumlich-konstruktives Vorrichtungsteil, weil andernfalls keine Verbindung zwischen den Gasleitungen und dem [X.] vorläge. Insbesondere handelt es sich beim [X.] nicht nur um den Zusammenschluss von einzelnen Gasleitungen, denn dann wären nur die Gasleitungen miteinander und diese nicht mit einem laut Patentanspruch eigenen Bauteil „[X.]“ verbunden. Wie dieser [X.] konkret ausgestaltet ist, insbesondere seine Größendimensionen und die Art der Verbindung mit den Gasleitungen, bleibt hingegen offen.

Wie sich aus den Merkmalen 1.4a und 1.4b ergibt, besteht eine parallele Verbindung jedes [X.]es einmal (in [X.]. 2 über das Ventil 66 bzw. 85) zum [X.] ([X.]) sowie (in [X.]. 2 über das Ventil 64 bzw. 84) zur [X.]inspritzdüse. Während das Ausführungsbeispiel in [X.]. 2 zwei Mischköpfe zeigt, kann nach dem Wortlaut von Merkmal 1.3a des Patentanspruchs 1 auch nur ein [X.] vorhanden sein.

3.4 Der Fachmann wird – auch in Hinblick auf Merkmal 1.3a − Merkmal 1.3b dahingehend verstehen, dass jeder einzelne [X.] stromabwärts („nachgelagert“) jeweils durch ein eigenes gesteuertes Magnetventil an die mindestens eine [X.]inspritzdüse angeschlossen ist, so wie es auch z.B. Abs. 0023 u. 0024 [X.]. [X.]. 2 des Streitpatents zu entnehmen ist. Wie bereits oben (vgl. [X.]3.2) ausgeführt, stellen die Bezeichnungen „angeschlossen an“ (Übersetzung Streitpatent) und „verbunden mit“ (Übersetzung Klägerin) vor dem Hintergrund des maßgeblichen französischen Wortes „connectée“ dabei Synonyme dar.

3.5 Die in den Merkmalen 1.3b, 1.4a und 1.4b aufgeführte [X.]inspritzdüse dient dem [X.]inspritzen mindestens eines Gasgemisches (Merkmal 1.4a) in ein Gefäß, das sich in der Vakuumkammer befindet. Dazu muss die [X.]inspritzdüse es ermöglichen, in ein Gefäß eingeführt zu werden (Merkmal 1.3b); soweit die Übersetzung gemäß Streitpatent hier von „eingefügt“ spricht, ist dies zu korrigieren, da das in der [X.] verwendete maßgelbliche französische Wort „inséré“ für „eingeführt“ und nicht für „eingefügt“ steht. Ob bei diesem Vorgang nur die [X.]inspritzdüse beweglich ist, indem sie sich zunächst auf das Gefäß zu- und nachfolgend in das Gefäß hineinbewegt oder ob auch das Gefäß beweglich ist und sich zugleich mit der [X.]inspritzdüse oder nur als einziges dieser beiden Bauteile auf die [X.]inspritzdüse zubewegt und nachfolgend sich quasi über diese stülpt, bleibt nach dem [X.] und mangels eines konkret beschriebenen Bewegungsablaufs offen.

3.6 Das „[X.] ([X.])“ gemäß Merkmal 1.4a und 1.4b ist eine [X.]inrichtung, mit der ein Unterdruck erzeugt wird, z.B. mittels einer Vakuumpumpe (vgl. [X.]/[X.] Abs. 0020 [X.]. Abs. 0069). Dieses [X.] ([X.]) soll mit der Verteilungsvorrichtung (M) zusammenwirken, um mindestens ein Gasgemisch einzuspritzen, und mit der [X.]inspritzdüse [X.] verbunden sein („qui est relié à“). Der Fachmann wird darunter sowohl eine direkte als auch eine indirekte Verbindung verstehen, die beispielsweise mehrere Leitungen/Ventile umfassen kann, so wie es sich auch aus [X.]ur 2 ergibt.

Das Gasgemisch gemäß Merkmal 1.4a ist dahingehend auszulegen, dass es sich um ein Gemisch aus mindestens 2 verschiedenen Gasen handeln muss, wobei das eine Gas im Hinblick auf Merkmal 1.2 aus der Verdampfung einer flüssigen Komponente resultiert.

3.7 Gemäß Merkmal 1.4b soll jeder [X.] (48, 50) an das [X.] ([X.]) direkt durch ein Magnetventil (66, 85) angeschlossen sein, das sich parallel zum jeweiligen Magnetventil befindet, durch das der [X.] an die [X.]inspritzdüse angeschlossen ist (Merkmal 1.3b), wobei − wie bei der Auslegung der Merkmale 1.3a und 1.3b − die Bezeichnungen „angeschlossen an“ (Übersetzung Streitpatent) und „verbunden mit“ (Übersetzung Klägerin) vor dem Hintergrund des maßgeblichen französischen Wortes „connectée“ Synonyme sind. [X.]ine Anordnung gemäß Merkmal 1.4b ist ebenfalls aus [X.]ur 2 zu entnehmen. Merkmal 1.4b ist daher so zu verstehen, dass vom [X.] zunächst eine direkte Verbindung zum Magnetventil besteht, die dann vom Magnetventil aus zum [X.] ([X.]) weiterführt. Ob es sich im weiteren Verlauf zwischen Magnetventil und dem [X.] ([X.]) um eine direkte oder indirekte Verbindung handeln soll, wird hingegen nicht definiert und bleibt somit offen. Im Hinblick auf [X.]ur 2 kann die Verbindung zwischen dem [X.] ([X.]) und dem jeweiligen [X.] (48, 50) neben den [X.] (66, 85) auch weitere Ventile (68, 90) umfassen.

Die erteilte und vom [X.]uropäischen Patentamt im [X.]inspruchsverfahren unverändert aufrecht erhaltene Fassung des Streitpatents beruht gegenüber der [X.]ntgegenhaltung [X.]8 in Verbindung mit dem etwa aus [X.] sich ergebenden Fachwissen nicht auf einer erfinderischen Tätigkeit.

1. Soweit die Beklagte die Verspätung der erst mit klägerischem Schriftsatz vom 12. September 2023 eingeführten Druckschrift [X.]8 gerügt hat, liegen die Voraussetzungen für eine Zurückweisung nach der hierfür allein in Betracht kommenden Vorschrift des § 83 Abs. 4 [X.] nicht vor. Denn das zwingende [X.]rfordernis einer Vertagung der mündlichen Verhandlung infolge nicht ausreichender Vorbereitungszeit einer [X.] ist ersichtlich nicht erfüllt. Angesichts der gesetzlichen Frist von 1 Woche (§ 99 Abs. 1 [X.] [X.]. § 132 Abs. 1 S. 1 ZPO) für neues Vorbringen enthaltende Schriftsätze könnte die bereits deutlich früher liegende [X.]inführung der neuen Druckschrift [X.] bereits zwei Monate vor der mündlichen Verhandlung eine Vertagung unter keinen Umständen rechtfertigen.

2. [X.]8 betrifft ein Verfahren zur Dünnschichtabscheidung wie z.B. Abscheidung dielektrischer Filme mittels metallorganischer chemischer Gasphasenabscheidung (MOCVD) sowie eine Vorrichtung dafür (vgl. [X.]8 Titel, [X.]. 1 Z. 8-12). Diese zeigt

- eine Gaszufuhrinstallation nach Merkmal 1.1 für eine – nicht [X.]e − [X.] zur [X.] eines flachen Substrats 10 (vgl. [X.]. 2 [X.]. [X.]. 6 Z. 39-47)

- die Vaporisierung einer flüssigen Komponente mit T- und P-Regelung (Merkmal 1.2, [X.]. 1. Z. 39-45)

- ein [X.] ([X.]) gemäß den Merkmalen 1.4a u. 1.4b (vgl. [X.]. 2, Vakuumpumpe 24, über Ventil 43 an [X.] 20 angeschlossen; [X.]. 5 Z. 23-34; [X.]. 6 Z. 39-47)

- einen [X.] 20 gemäß Merkmal 1.3a mit paralleler Anordnung zur Vakuumpumpe 24 und [X.] 6 mit einem Trichter als [X.]inspritzdüse (Merkmal 1.3b u. 1.4b; vgl. [X.]. 2 [X.]. [X.]. 6 Z. 39-47)

[X.]s kann dahinstehen, ob die [X.]inspritzdüse nach [X.]8 auch eine Abscheidung einer Barriereschicht auf der Innenwand von Behältern ermöglicht oder ob die in [X.]8 gezeigte Gaszufuhrinstallation zum [X.]insatz in anspruchsgemäßen [X.] geeignet ist oder nicht, denn der Fachmann würde jedenfalls in naheliegender Weise das bekannte Prinzip des Bypasses, d.h. der parallelen Führung von Leitungen, das in [X.] verwirklicht ist ([X.]. 6 Z. 39-47) auf anspruchsgemäße [X.] mit einer zugehörigen [X.]inspritzdüse übertragen, weil er darin eine gegenüber der sonst üblichen Reihenschaltung vorteilhafte Vereinfachung der Vakuumeinstellung im [X.] sieht (vgl. [X.]8 [X.]. 2 Leitung über Ventil 43 zu Vakuumpumpe 24 [X.]. [X.]. 7 Z. 9-14). [X.]ine solche Übertragung liegt im fachmännischen Wissen und Können. Die konkrete Ausgestaltung der [X.]inspritzdüse, die gemäß Merkmal 1.3b dazu bestimmt ist, in ein zu behandelndes Gefäß eingefügt zu werden, kennt der Fachmann beispielsweise aus der [X.], die sich wie das Streitpatent mit der [X.] auf der Innenseite von P[X.]T-Flaschen befasst (vgl. [X.]a Zusammenfassung). Daher war für den Fachmann eine [X.]e Ausgestaltung der [X.]inspritzdüse naheliegend.

Auch die Tatsache, dass entgegen der [X.]en Beanspruchung von [X.] die in [X.]8 beschriebenen und in den [X.]uren eingezeichneten Ventile nicht näher in ihrer konkreten Funktionsweise erläutert werden, kann das Vorliegen einer erfinderischen Tätigkeit nicht begründen, denn der [X.]insatz von [X.] liegt im üblichen Wissen und Können des Fachmanns. Der Hinweis der Beklagten, die [X.]en Ventile dienten dazu, einen schnellen Umschaltvorgang zu ermöglichen und solche seien insbesondere bei den in Frage kommenden Ventilen 43 und 44 der [X.] nicht genannt, verkennt, dass solchermaßen hervorgehobene Vorteile nur dann zur Begründung einer erfinderischen Tätigkeit herangezogen werden können, wenn sie auch in der Patentschrift offenbart und für den Fachmann erkennbar sind (vgl. [X.], Urt. v. 13.06.2023 – [X.], [X.], 1259 Rn. 76, - Schlossgehäuse). [X.]in solcher Vorteil ist dem Streitpatent, in dem lediglich „Magnetventile“ genannt werden, jedoch weder unmittelbar noch mittelbar zu entnehmen.

Die Beklagte kann ihr Patent zwar mangels Patentfähigkeit nicht in der Fassung nach Hilfsantrag 1, jedoch erfolgreich nach Maßgabe des [X.] verteidigen, weil dieser zulässigen Fassung kein Nichtigkeitsgrund entgegensteht.

1. Nach Hilfsantrag 1 unterscheidet sich Patentanspruch 1 von der erteilten Fassung allein durch das zusätzliche Merkmal [X.].5

wobei ein erstes Mischmittel das Mischen von Stickstoff, der über eine Gasleitung geführt wird, mit einem Gas auf [X.] ermöglicht.

Abgesehen davon, dass es sich hierbei um keine besondere räumlich-körperliche Ausgestaltung der beanspruchten Vorrichtung handelt, vermag dieses Merkmal die erfinderische Tätigkeit der Anspruchsfassung nicht zu begründen, da es für den Fachmann bereits aus der [X.] nahelag.

Denn auch aus [X.], die wie das Streitpatent die Innenbeschichtung von Flaschen betrifft und die der Fachmann daher bei seiner Lösungssuche berücksichtigt (vgl. [X.] [X.] 11-17), lässt sich das Mischen von Stickstoff mit einem Gas auf [X.] wie [X.] ([X.]), das auch im Streitpatent in Abs. 0030 genannt ist, entnehmen (vgl. [X.] S. 21 Z. 2-8).

2. Demgegenüber erweist sich die Anspruchsfassung nach Hilfsantrag 2 als zulässig und schutzfähig, so dass die Klage, soweit sie auch hiergegen gerichtet ist, abzuweisen ist.

2.1 Nach Hilfsantrag 2 unterscheidet sich Patentanspruch 1 von der erteilten Fassung durch das zusätzliche Merkmal [X.].5

wobei die Verteilungsvorrichtung eine [X.]inheit aus zwei [X.], die jeweils einen [X.] umfassen, aufweist.

Vor dem Hintergrund des Merkmals 1.4b, wonach jeder [X.] an das (eine) [X.] ([X.]) angeschlossen ist, wird nach Hilfsantrag 2 somit beansprucht, dass die Vorrichtung 2 Mischköpfe, aber nur 1 [X.] ([X.]) aufweist.

2.2 Die Aufnahme dieses Merkmals ist zulässig, da es ursprungsoffenbart ist (vgl. [X.] 17-19 zu [X.]. 2: „[X.], le dispositif de répartition M comporte un ensemble de deux moyens de mélange [X.], [X.], [X.] une tête de mixage, respectivement 48, 50“).

2.3 Soweit die Klägerin eine unzulässige [X.]rweiterung darin sieht, dass die Aufnahme einzelner Merkmale unzulässige Zwischenverallgemeinerungen enthalte, kann dem aus rechtlichen und tatsächlichen Gründen nicht gefolgt werden.

a) In rechtlicher Hinsicht ist hierzu darauf zu verweisen, dass nach ständiger höchstrichterlicher Rechtsprechung − insoweit abweichend von der Rechtsprechung der [X.]inspruchsabteilungen und Beschwerdekammern des [X.]uropäischen Patentamts − bei der Ausschöpfung des [X.] auch Verallgemeinerungen ursprungsoffenbarter Ausführungsbeispiele zulässig sind und insbesondere die Aufnahme nur eines oder nur einzelner von mehreren Merkmalen eines Ausführungsbeispiels, die zusammengenommen, aber auch für sich betrachtet dem erfindungsgemäßen [X.]rfolg förderlich sind, gestattet (vgl. [X.], Urt. v. 13.2.2020 – [X.], [X.], 728 Rn. 26 mwN – Bausatz). Nach dieser Rechtsprechung ist auch die Aufnahme einzelner Merkmale aus einem Ausführungsbeispiel (vorliegend also aus [X.]. 2 des Streitpatents) ohne Weiteres möglich, ohne dass in einem solchen Fall eine Beschränkung nur auf alle Merkmale des konkreten Ausführungsbeispiels erforderlich würde (vgl. [X.], Urt. v. 12.02.2008 - [X.], [X.], 779 Rn. 34 [X.]). Dienen in der Beschreibung eines Ausführungsbeispiels genannte Merkmale, die für sich, aber auch zusammen den durch die [X.]rfindung erreichten [X.]rfolg fördern, der näheren Ausgestaltung der unter Schutz gestellten [X.]rfindung, hat es der Patentinhaber in der Hand, das Patent durch die Aufnahme einzelner oder sämtlicher dieser Merkmale zu beschränken, solange die beanspruchte Kombination in ihrer Gesamtheit eine technische Lehre darstellt, die der Fachmann der [X.] als – wie hier der Fall − mögliche Ausgestaltung der [X.]rfindung entnehmen konnte (vgl. [X.], Urteil vom 21.04.2015 – [X.] , Rn. 36; [X.], Urteil vom 9.12.2014 – [X.], [X.], 463, Rn. 28 – Presszange).

Unzulässig ist eine Verallgemeinerung daher nur dann, wenn den ursprünglich eingereichten Unterlagen zu entnehmen ist, dass bestimmte Merkmale in untrennbarem Zusammenhang miteinander stehen, der Patentanspruch aber nur einzelne davon vorsieht (vgl. [X.], Urteil vom 28. Juni 2022 – [X.], [X.], 1575, Rn. 71 mwN – [X.]). [X.]in solcher untrennbarer Zusammenhang zwischen in den Patentanspruch aufgenommenen und nicht aufgenommenen Merkmalen kann dem Streitpatent jedoch an keiner Stelle entnommen werden. Der Hinweis der Klägerin, die Ventile 64 und 66 müssten zwingend alternierend funktionieren, vermag hieran nichts zu ändern, denn für den vorliegenden Vorrichtungsanspruch wird eine solchermaßen räumlich-körperliche Ausgestaltung in der ursprünglichen Fassung erst optional mit [X.] gefordert. Auch die von der Klägerin in Patentanspruch 1 vermisste [X.] ist nicht zwingend vorgeschrieben, denn der Fachmann versteht unter der Verbindung („qui est relié à“) zwischen [X.] ([X.]) und [X.]inspritzdüse – wie bereits oben unter [X.]3.6 ausgeführt − sowohl eine direkte als auch eine indirekte Verbindung. Darüber hinaus ist eine [X.] in den ursprünglichen Anmeldeunterlagen aufgrund der Beanspruchung im ursprünglichen Patentanspruch 11 lediglich als Gestaltungsmöglichkeit der ursprünglich offenbarten Vorrichtung genannt. Da somit die [X.] nicht zwingend erforderlich ist, ist eine über das beschriebene Ausführungsbeispiel hinausgehende allgemeine Lehre des Streitpatents auch ohne dieses Merkmal nach der vorstehenden höchstrichterlichen Rechtsprechung zulässig. Im Übrigen war das Merkmal zur Verbindung zwischen [X.] ([X.]) und [X.]inspritzdüse [X.] bereits im ursprünglichen Patentanspruch 1 wörtlich offenbart (vgl. [X.] Anspruch 1 Z. 15-16). Da die klägerseits beanstandeten Merkmale und auch das mit Hilfsantrag 2 weiter beschränkende Merkmal somit auch ohne einen untrennbaren Zusammenhang zwischen ihnen ursprungsoffenbart sind, bestehen auch vor diesem Hintergrund keine Bedenken wegen einer unzulässigen [X.]rweiterung, wenn nicht alle diese Merkmale in den Patentanspruch aufgenommen werden.

b) Ungeachtet dessen liegen aber auch in tatsächlicher Hinsicht keine unzulässigen Zwischenverallgemeinerungen vor.

So sind Merkmal 1.1 in der [X.] auf [X.] 31-33 und Merkmal 1.2 in der [X.] auf [X.] 1-5 wörtlich offenbart; Merkmal 1.3a ist in der Ursprungsoffenbarung im Patentanspruch 7 [X.]. dem Patentanspruch 1 zweiter [X.]iegelstrich und Merkmal 1.3b im Patentanspruch 7 Z. 28-29 [X.]. urspr. Patentanspruch 1 Z. 15-17 enthalten.

Auch der erste Teilaspekt aus Merkmal 1.4a („un moyen de mise en régime ([X.]) qui coopère avec le dispositif de répartition (M) pour injecter au moins un mélange gazeux“) ergibt sich aus der Ursprungsoffenbarung [X.], nämlich aus dem dortigen Patentanspruch 8, wonach jeder [X.] (48, 50) an das [X.] ([X.]) direkt durch ein Magnetventil angeschlossen ist, und aus der Beschreibung auf [X.] 17-19, wonach die Verteilungsvorrichtung M eine [X.]inheit aus zwei [X.] ([X.], [X.]) die jeweils einen [X.] (48, 50) umfassen, aufweist, sodass impliziert ist, dass das [X.] ([X.]) mit der Verteilungsvorrichtung zusammenwirkt, sowie aus Patentanspruch 1 zweiter [X.]iegelstrich. Der zweite Teilaspekt aus Merkmal 1.4a („qui est relié à l’injecteur [X.]“) ist – wie bereits beschrieben − in der [X.] im Patentanspruch 1 Z. 15-16 und der Beschreibung auf [X.] 10-11 ursprungsoffenbart.

Schließlich ergibt sich das erste [X.] von Merkmal 1.4b („chaque tête de mixage (48, 50) est connectée au moyen de mise en régime ([X.]) directement par une électrovanne (66, 85) respective“) in der [X.] aus Patentanspruch 8 und das zweite [X.] („en parallèle par rapport à l'injecteur [X.]“) aus [X.]. 2, wonach der [X.] 48 (bzw. 50) durch das [X.] bzw. 85 an das [X.] ([X.]) und parallel dazu durch das in Merkmal 1.3b genannte Magnetventil 64 bzw. 84 an die [X.]inspritzdüse angeschlossen ist.

[X.]ntgegen der Auffassung der Klägerin wurde in der erteilten Fassung auch nicht die Verbindung des zweiten Teils der Gasversorgungsvorrichtung durch mindestens eine Gasleitung mit dem ersten Teil ersatzlos gestrichen. Denn dieses [X.]rfordernis findet sich in Merkmal 1.2, wonach der erste Teil durch mindestens eine Gasleitung mit dem Rest der Installation verbunden ist, wobei sich aus [X.]. 2 ergibt, dass es sich bei diesem „Rest der Installation“ um den ab Merkmal 1.3a beschriebenen zweiten Teil handelt.

2.4 Gegenüber dem verfahrensgegenständlichen Stand der Technik erweist sich die Anspruchsfassung nach Hilfsantrag 2 als neu, da eine anspruchsgemäße technische Lehre nicht neuheitsschädlich vorbeschrieben ist.

2.4.1 Soweit im Stand der Technik überhaupt ein [X.] gemäß Merkmal 1.3a offenbart ist, fehlt es für ein Feststellen mangelnder Neuheit zumindest entweder an einer eindeutigen Offenbarung von [X.], an einem [X.] als eigenes räumlich-konstruktives Vorrichtungsteil oder an der parallelen Ausgestaltung der Anschlüsse des [X.]es durch je ein Magnetventil zum [X.] ([X.]) und zur [X.]inspritzdüse [X.] gemäß Merkmal 1.4b, oder schließlich am Vorhandensein von zwei [X.] gemäß Merkmal [X.].5

2.4.2 Unabhängig davon, dass in der einzigen als neuheitsschädlich angeführten Druckschrift [X.], die eine Vorrichtung zur Bildung von Aluminiumoxidfilmen auf Silizium-Substraten bei der Herstellung von Halbleitern durch CVD beschreibt, die angeführten Ventile jeweils lediglich allgemein als „valve“ bezeichnet werden, ohne auf ihre konkrete Ausgestaltung einzugehen, fehlt es in [X.] jedenfalls an einer Offenbarung des Merkmals [X.].5

2.5 Gegenüber dem verfahrensgegenständlichen Stand der Technik erweist sich die Anspruchsfassung nach Hilfsantrag 2 auch als auf einer erfinderischen Tätigkeit beruhend, da eine anspruchsgemäße technische Lehre für den Fachmann nicht nahegelegen hatte.

2.5.1 Die [X.], die sich im technischen Umfeld der streitpatentgemäßen Lehre bewegt, zeigt in [X.]ur 1 schon keinen streitpatentgemäßen [X.], weshalb sie auch keine Anordnung gemäß Merkmal [X.].5

2.5.2 Auch eine der Druckschriften [X.]-[X.] − ggf. unter Heranziehen von [X.], 19, 21 oder 25 – gibt dem Fachmann zu einer solchen Umkonstruktion der Vorrichtung nach [X.] keine Anregung.

[X.], die sich ebenfalls mit der Innenbeschichtung von [X.] wie z.B. Flaschen mittels insbesondere plasma-verstärkter CVD (vgl. [X.] S. 18 Z. 5-9) beschäftigt und sich damit wie die [X.] im technischen Umfeld des Streitpatents befindet, mag zwar verschiedene [X.] 98a, 98b [X.] zeigen, die sich auf den ersten Blick auch innerhalb einer „source gas generation source 20“ nach [X.] befinden könnten. Nach [X.] sind diese [X.] auch [X.] über Ventile an die [X.]inspritzdüse angeschlossen. Allerdings lassen die [X.]uren 3 bis 5 erkennen, dass im weiteren Verlauf der [X.] dieser [X.] an die [X.] ([X.] ([X.])) nicht parallel zum [X.] an die [X.]inspritzdüse, sondern über die [X.]inspritzdüse in Serie verläuft, weshalb auch hier Merkmal 1.4b nicht nahegelegt wird (vgl. [X.] Anspr. 28 Z. 13 [X.]. [X.]. 4 u. 5). Damit handelt es sich bei der [X.] um eine andere technische Lösung für die Innenbeschichtung von [X.], weshalb der Fachmann keine Veranlassung hatte, die "source gas generation source 20" der [X.] mit der Lehre der [X.] auszugestalten. Darüber hinaus erhält der Fachmann aus [X.] keinen Hinweis, das Dreiwegeventil in [X.] durch zwei parallele Ventile zu ersetzen oder die aufwendige Apparatur nach [X.] in der „frei steuerbaren“ Umgebung der [X.] (vgl. [X.]. 2.5.1 a.[X.].) einzusetzen. Denn dann müsste die gesamte Konstruktion der Vorrichtung nach [X.] aufwendig umgestaltet werden, wofür sich dem Fachmann kein Anlass bietet.

Die gleiche Argumentation wie zur [X.] gilt auch für die [X.], die ebenfalls eine plasmaunterstützte CVD-Abscheidung zur Innenbeschichtung eines Hohlkörpers sowie optional auch zur Außenbeschichtung betrifft (vgl. [X.] Abs. 0001 u. Abs 0056). Nach [X.] können Vorratsbehälter mit [X.] an zumindest einem Mischpunkt angeschlossen werden, von dem eine Leitung zu einer Beschichtungseinrichtung führen kann, wobei die Leitung mit einem Ventil verbindbar ist (vgl. [X.] Abs. 0058 letzte beide Sätze). Durch diese Anordnung können die Gase schnell gewechselt werden, wobei die [X.] definiert eingestellt werden können und unterschiedliche Kombinationen aus verschiedenen Precursoren mit den Träger- und Reaktivgasen möglich sind. Wie in [X.] befindet sich aber im Weiteren das [X.] in serieller Schaltung nach der [X.]inspritzdüse (vgl. [X.]. 1), sodass auch hier Merkmal 1.4b nicht nahegelegt wird. [X.] offenbart somit wieder eine andere technische Lösung für die Innenbeschichtung von [X.], so dass es wiederum keinen Anlass gibt, die Beschichtungsvorrichtung der [X.] konstruktiv gemäß der Lehre der [X.] umzugestalten.

Nach [X.] wird lediglich ein fertiges Gasgemisch angesprochen, das der Gaszuleitung zur [X.]inspritzdüse zugeführt wird (vgl. [X.] S.11 Z. 21-27). Über die Art der [X.]rzeugung dieses Gasgemisches schweigt die [X.]. Sie spricht auch keine Mischköpfe o.ä. an. Der Fachmann konnte daher allein schon aus diesem Grund ausgehend von [X.] in Kombination mit [X.] nicht zum [X.]en Gegenstand gelangen.

[X.]benso ist [X.] zwar die [X.]rzeugung eines Gasgemisches und die Zuleitung dieses Gasgemisches über Massenflussregler und Ventile zu entnehmen (vgl. [X.] [X.]ezifikationen auf S. 2 u. 3), es fehlt aber auch hier die Offenbarung eines [X.]es, sodass auch keine zwei Mischmittel, die jeweils einen [X.] umfassen, vorliegen (Merkmal 1.5

Nach alldem war der Fachmann ausgehend von [X.] nicht veranlasst, durch Kombination mit einer der Druckschriften aus [X.] bis [X.] zum [X.]en Gegenstand zu gelangen.

2.5.3 [X.] (die der [X.] entspricht) betrifft eine CVD-Vorrichtung, um auf einem Substrat ferroelektrische Filme abzuscheiden, wobei die durch diese Methode überwundenen Nachteile gegenüber der Sol-Gel-Beschichtungsmethode und gegenüber der PVD-Beschichtung mittels Plasma aufgezeigt werden (vgl. [X.], [X.]. 1 Z. 9-12 u. 20-40, [X.]. 2 Z. 39-43, [X.]. 2 Z. 60-63). Nach [X.] werden in einer Mischkammer 5 (was mit einem gegenständlichen [X.] gleichsetzbar ist) die von Trägergasen wie Argon oder Sauerstoff geleiteten [X.] miteinander gemischt (vgl. [X.] [X.]. 2 Z. 55-59, Merkmal 1.2). Der Mischkammer kann weiterhin Sauerstoff oder Ozongas zugeführt werden, um die [X.] in der Mischkammer zu oxidieren (vgl. [X.] [X.]. 3 Z. 50-52, [X.] aus 1.3a). Nach [X.]ur 1 der [X.] sind der [X.] 5, die [X.]inspritzdüse 6 in der [X.] 7 und die Pumpe 10 ([X.] [X.]) in Reihe geschaltet. [X.]ine parallele Anordnung der Verbindungen der Mischkammer 5 zum [X.] ([X.]) und zur [X.]inspritzdüse [X.] gemäß Merkmal 1.4b [X.]. 1.3.b ist in [X.] nicht offenbart.

Weiterhin führen nach [X.] alle Gase, die aus den flüssigen Vorstufen entstehen und einzeln oder als Gasgemische weitergeleitet werden, in ein und dieselbe Mischkammer 5 (vgl. [X.] [X.]. 2 [X.]-59 [X.]. [X.]. 1), während anspruchsgemäß nach Hilfsantrag 2 zwei Mischköpfe bzw. Mischkammern vorhanden sein sollen, die an dieselbe [X.]inspritzdüse angeschlossen sind. [X.]s gibt in [X.] auch keinen Hinweis, von einer solchen Anordnung, bei der alle Gase in dieselbe Mischkammer geleitet werden, abzuweichen. Den Druckschriften [X.] bis [X.]6 ist gleichermaßen weder ein Hinweis noch eine Anregung auf eine solche Anordnung mit 2 Mischköpfen zu entnehmen. Selbst bei einer – wie die Klägerin behauptet – Ausstattung der Vorrichtung nach [X.] mit einem entsprechenden Bypass wäre der Fachmann somit nicht zu einem Gegenstand gemäß Hilfsantrag 2 gelangt.

2.5.4 Der offenkundigen Vorbenutzung gemäß dem [X.] [X.]7 sind keine Mischköpfe, sondern – wie die Klägerin selber ausführt – lediglich Zusammenschlüsse von einzelnen Gasleitungen zu entnehmen. Ausgehend davon lag eine Ausgestaltung gemäß Hilfsantrag 2 nicht nahe.

2.5.5 Schließlich vermag auch die [X.]8 nichts aufzuzeigen, was geeignet wäre, die erfinderische Tätigkeit des Gegenstands von Patentanspruch 1 des [X.] in Frage zu stellen. Denn nach [X.]8 werden zum einen mehrere gasförmige Vorläufer aus den Behältern 11/12 oder 31/32 immer der gleichen Mischkammer 20 zugeführt, und zum anderen wird Sauerstoff als [X.] nicht der Mischkammer zugeführt, sondern direkt in die Reaktionskammer geleitet. Somit wird Merkmal [X.].5

3. Da sich der Gegenstand des Streitpatents somit in der Fassung nach Hilfsantrag 2 als schutzfähig erweist, war die auch hiergegen gerichtete Nichtigkeitsklage teilweise abzuweisen.

Die Kostenentscheidung beruht auf § 84 Abs. 2 [X.] i. V. m. § 92 Abs. 1 ZPO. Dabei ist der Senat davon ausgegangen, dass der nach Hilfsantrag 2 als schutzfähig verbleibende Patentgegenstand zu einer etwa hälftigen technischen und wirtschaftlichen Beschränkung des [X.] führt, sodass es gerechtfertigt ist, die [X.] gegeneinander aufzuheben.

Die [X.]ntscheidung über die vorläufige Vollstreckbarkeit beruht auf § 99 Abs. 1 [X.] i. V. m. § 709 ZPO.