Bundespatentgericht, Urteil vom 27.11.2017, Az. 2 Ni 9/15 (EP)

Die Beklagte ist eingetragene Inhaberin des am 15. April 2003 in der [X.] angemeldeten [X.] Patents EP 1 495 486 im Folgenden Streitpatent), das die Priorität der Anmeldung [X.] 102 16 786 vom 15. April 2002 in Anspruch nimmt.

Mit ihrer Klage begehrt die Klägerin die Nichtigerklärung des [X.] Teils dieses Patents mit der Bezeichnung „Verfahren und Vorrichtung zur Konditionierung von Halbleiterwafern und/oder Hybriden“.

Das auf Antrag der Patentinhaberin in einem Beschränkungsverfahren beschränkte Patent umfasst den auf ein Verfahren zur Konditionierung von Halbleiterwafern und/oder Hybriden gerichteten Anspruch 1 und den auf eine Vorrichtung zur Konditionierung von Halbleiterwafern und/oder Hybriden gerichteten Anspruch 5 sowie die auf den Anspruch 1 rückbezogenen [X.] 2 bis 4 und die auf den Anspruch 5 rückbezogenen [X.] 6 bis 10.

Die beiden selbständigen Ansprüche 1 und 5 des [X.] lauten (unter Korrektur von [X.]echtschreibfehlern):

„1. Verfahren zur Konditionierung von Halbleiterwafern und/oder Hybriden mit den Schritten:

Bereitstellen eines zumindest teilweise geschlossenen [X.]aums (1) mit einer darin befindlichen Wafer/[X.] (10) zur Aufnahme eines Halbleiterwafers und/oder Hybrids; und

Leiten eines trockenen Fluids durch die Wafer/[X.] (10) zum Temperieren der Wafer/[X.] (10);

wobei zumindest ein Teil des die Wafer/[X.] (10)

verlassenden Fluids zum Konditionieren der Atmosphäre innerhalb des [X.]aums (1) verwendet wird;

wobei der [X.]aum (1) durch einen Behälter (5) im Wesentlichen geschlossen ist;

wobei der Teil des die Wafer/Hybrid-Aufnahmevorrichtung (10) verlassenden Fluids zunächst temperiert wird und dann innerhalb des [X.]aums (1) ausströmen gelassen wird; und

wobei der Teil des die Wafer/Hybrid-Aufnahmevorrichtung (10) verlassenden Fluids dadurch temperiert wird, dass er zur Vorkühlung des Fluids in einem Wärmetauscher außerhalb des [X.]aums (1) verwendet wird, bevor er innerhalb des [X.]aums (1) ausströmen gelassen wird.“

„5. Vorrichtung zur Konditionierung von Halbleiterwafern und/oder Hybriden mit: einem zumindest teilweise geschlossenen [X.]aum (1), wobei der [X.]aum (1) durch einen Behälter (5) im Wesentlichen geschlossen ist, mit einer darin befindlichen Wafer/[X.] (10) zur Aufnahme eines Halbleiterwafers und/oder [X.]; und

einer Leitungseinrichtung ([X.], r3, r4, r5, i3, [X.]) zum Leiten eines trockenen Fluids durch die Wafer/[X.] (10) zum Temperieren der Wafer/[X.] (10) und zum Leiten zumindest eines Teiles des die Wafer/[X.] (10) verlassenden Fluids in den [X.]aum (1) zum Konditionieren der Atmosphäre in dem [X.]aum (1);

wobei die Leitungseinrichtung ([X.], r3, r4, r5, i3, [X.]) aufweist:

eine erste Leitung ([X.]), über die das Fluid von außerhalb des [X.]aums (1) in die Wafer/[X.] (10) leitbar ist;

eine zweite Leitung (r3), über die das Fluid aus der Wafer/[X.] (10) nach außerhalb des [X.]aums (1) leitbar ist; und

eine dritte Leitung (r4), über die das Fluid von außerhalb des [X.]aums (1) in den [X.]aum (1) rückführbar ist;

wobei zwischen der zweiten und dritten Leitung (r3, r4) eine [X.] (70; 70, 80“) vorgesehen ist;

wobei die [X.] (70; 70, 80") einen Wärmetauscher (95) aufweist, dem zumindest ein Teil des den [X.]aum (1) verlassenden Fluids zuleitbar ist;

wobei der Wärmetauscher (95) zum Vorkühlen des zugeführten Fluids dient;

wobei die Leitungseinrichtung ([X.], r3, r4, r5, i3, [X.]) derart gestaltet ist, dass der den Wärmetauscher (95) verlassende Teil zumindest teilweise zum Konditionieren der Atmosphäre in den [X.]aum rückführbar ist.“

Die [X.] 2 bis 4 und 6 bis 10 lauten (unter Korrektur von [X.]echtschreib-fehlern):

„2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Teil des die Wafer/Hybrid-Aufnahmevorrichtung (10) verlassenden Fluids außerhalb des [X.]aums (1) temperiert wird und dann dem [X.]aum (1) wieder zugeführt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass ein erster Teil des den [X.] (10) verlassenden Fluids zunächst temperiert wird und dann innerhalb des [X.]aums (1) ausströmen gelassen wird und ein zweiter Teil unmittelbar nach dem Verlassen der Wafer/[X.] (10) innerhalb des [X.]aums (1) ausströmen gelassen wird.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest einer vom ersten und zweiten Teil [X.] regulierbar ist.“

„6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass am Ende der dritten Leitung (r4) Ausströmelemente (40) vorgesehen sind.

7. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Leitungseinrichtung ([X.], r3, r4, r5, i3, [X.]) aufweist: eine vierte Leitung (r5), über die das Fluid aus der Wafer/[X.] (10) in den [X.]aum (1) leitbar ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass ein Ventil (45) zum [X.]en [X.]egulieren der vierten Leitung (r5) vorgesehen ist.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die [X.] (70; 70, 80'') eine Heizeinrichtung (105) aufweist.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass eine weitere Leitung ([X.]) vorgesehen ist, über die zusätzlich trockenes Fluid direkt von außerhalb des [X.]aums (1) in den [X.]aum (1) leitbar ist.“

Die Beklagte betrieb seit 1991 eine Entwicklungszusammenarbeit mit den Firmen [X.] ([X.]) und [X.], [X.]. in [X.] ([X.]) zur Entwicklung von [X.] mit Wafer/[X.]en, wobei der [X.] (im Folgenden [X.] genannt) selbst von der [X.] und die [X.] von [X.] bzw. [X.] stammten und wobei zwischen diesen Beteiligten Geheimhaltungsvereinbarungen bestanden haben.

Die Bezeichnung „[X.] chuck“ wurde bei der [X.] und den vorgenannten Kooperationspartnern für einen luftgekühlten [X.] verwendet. Das dabei für die Erzeugung tiefer Temperaturen erforderliche Kühlgerät (im Folgenden [X.] genannt) bezog die Beklagte ihrerseits von der [X.] in [X.] Unstreitig wurden [X.] unter der vorgenannten Bezeichnung „[X.]“ mit eingebauten [X.]systemen und [X.]n an Endkunden, jedenfalls an die [X.] in [X.] ([X.]) und die [X.] ([X.]) geliefert, wobei die jeweiligen [X.] sowie die näheren Umstände der Zusammenarbeit und etwaige Geheimhaltungsabreden zwischen den genannten Endkunden und den Lieferanten unter den Parteien streitig sind. Über die Nichtigkeitsklage hinaus bestehen zwischen den Parteien weitere gerichtliche Auseinandersetzungen, die die Beklagte darauf zurückführt, dass ein Geschäftsführer der Klägerin zuvor bei der [X.] von 1996 bis 2001 als Entwicklungsingenieur tätig war und sein dort erworbenes Fachwissen nunmehr für eigene Zwecke verwende.

Die Klägerin macht geltend, der Gegenstand des [X.] sei zum [X.] nicht patentierbar gewesen, da es ihm an Neuheit bzw. erfinderischer Tätigkeit fehle und er außerdem über den Inhalt der Anmeldung in der ursprünglich eingereichten Fassung hinausgehe; ferner wird die Klage darauf gestützt, dass die Lehre des [X.] der Fachwelt durch mehrere offenkundige Vorbenutzungen vor dem [X.] des [X.] offenbar geworden sei.

Zur Begründung ihrer Klage hat die [X.] u. a. auf folgende Dokumente hingewiesen:

A3 Ausschnitt aus der Bedienungsanleitung "Manual E[X.]S®-[X.] 03"

A3’ von der Klägerin mit Bezugszeichen versehene Fassung der [X.]age A3

A4 Ausschnitt aus der Bedienungsanleitung "Manual E[X.]S®-AirCool® Plus 8" -40 System SP92T2-TA1TC8"

A5 Auftragsbestätigung von [X.] GmbH an [X.] GmbH vom 4. Mai 2001

A6 [X.]echnung zur o.g. Auftragsbestätigung von [X.] GmbH an [X.] GmbH vom 6. Juli 2001

[X.] EP 0 341 156 A1

[X.] WO 01/25706 A1

[X.] [X.] 6 091 060 A

[X.] Beschluss des [X.] in der [X.] 23 W (pat) 357/04

A11 beschränkt aufrecht erhaltenes Prioritätspatent: [X.] 102 167 86 C5

[X.] [X.]agenkonvolut bezüglich einer Lieferung des "[X.] an die Firma Melexis N.V.

[X.] Gutachten des [X.]. Peter Anderwald

A15 Technical Service [X.]eports der [X.] Europe

Die Klägerin behauptet, bei den an mehrere Kunden, insbesondere die Firmen [X.], [X.], [X.] und [X.] gelieferten Geräten habe es sich um ein streitpatentgemäßes Standardprodukt der [X.] gehandelt, das vor dem Zeitrang des [X.] mehrfach in den Verkehr gebracht worden sei.

Ferner behauptet die Klägerin, dass das vom [X.]. A… in ihrem Auftrag begutachtete Gerät sich hinsichtlich der streitpatentgemäßen Merkmale zum Zeitpunkt der Untersuchung in einem gegenüber dem Auslieferungszustand unveränderten Zustand befunden habe, so dass diese Merkmale zu dieser Zeit bereits vorhanden gewesen seien.

Die Klägerin ist dazu der Auffassung, dass bereits die Auslieferungen an die genannten Unternehmen die Voraussetzungen einer offenkundigen Vorbenutzung erfüllten. Denn diese Lieferungen seien jeweils ohne Geheimhaltungsvereinbarung erfolgt; eine solche sei auch nicht konkludent vereinbart gewesen, und sie ergebe sich auch nicht aus den Umständen, so dass die Lehre der interessierten Öffentlichkeit vor dem [X.] des [X.] zugänglich gewesen sei. Dazu behauptet die Klägerin, die an die Firmen [X.] und [X.], sowie die Firmen [X.] und [X.] gelieferten und auch streitpatentgemäßen Geräte seien dort nicht in nur bestimmten Mitarbeitern zugänglichen Entwicklungslaboren aufgestellt gewesen, sondern sowohl die dortigen Mitarbeiter sowie auch Mitarbeiter von Fremdfirmen im Produktionsbereich der Unternehmen hätten ohne Weiteres die Möglichkeit gehabt, die Geräte und die enthaltene Technik zur Kenntnis zu nehmen.

Zudem beruhten das Verfahren nach Anspruch 1 und die Vorrichtung nach Anspruch 5 des [X.] gegenüber dem [X.]en Stand der Technik gemäß den Druckschriften [X.], [X.] und [X.] nicht auf einer erfinderischen Tätigkeit. Auch die in den [X.]n genannten Maßnahmen seien aus dem Stand der Technik bekannt bzw. nahegelegt.

Zu dem von ihr weiterhin geltend gemachten [X.] der unzulässigen Erweiterung trägt die Klägerin vor, die im Beschränkungsverfahren in den Anspruch 1 aufgenommenen Merkmale, dass der Teil des Wafer/Hybrid-Aufnahmevorrichtung (10) verlassenden Fluids dadurch temperiert wird, dass er zur Vorkühlung des Fluids in einem Wärmetauscher außerhalb des [X.]aums (1) verwendet wird, bevor er innerhalb des [X.]aums (1) ausströmen gelassen wird, seien in der ursprünglichen Fassung der Anmeldung ([X.]. [X.]) nur in einem bestimmten Zusammenhang beschrieben, nämlich dass der zurückgeführte Fluidanteil in dem Wärmetauscher dieselbe Funktion erfüllt wie die frisch zugeführte trockene Luft. Somit seien diese Merkmale nicht vollständig in den Anspruch aufgenommen worden, so dass sie nunmehr ganz anders verstanden werden könnten, weshalb der Anspruch 1 unzulässig erweitert sei. Das gelte im Hinblick auf das entsprechende Merkmal auch für den Anspruch 5.

Die Klägerin beantragt,

das [X.] Patent 1 495 486 [X.] mit Wirkung für das Hoheitsgebiet der [X.] für nichtig zu erklären.

Die Beklagte beantragt,

die Klage abzuweisen;

hilfsweise

die Klage mit der Maßgabe abzuweisen, dass das Streitpatent die Fassung des [X.] gemäß Schriftsatz vom 30. Dezember 2016 erhält,

weiter hilfsweise,

die Klage mit der Maßgabe abzuweisen, dass das Streitpatent die Fassung des [X.] gemäß dem in der mündlichen Verhandlung vom 6. April 2017 überreichten Anspruchssatz erhält.

Die Beklagte erklärt, dass sie die geltenden Patentansprüche und die Patentansprüche gemäß den [X.] jeweils als geschlossene Anspruchssätze ansieht, die sie jeweils in ihrer Gesamtheit beansprucht.

Die Beklagte tritt der Argumentation der Klägerin in allen wesentlichen Punkten entgegen, insbesondere seien die Gegenstände der unabhängigen Ansprüche 1 und 5 gegenüber dem vorgelegten Stand der Technik neu und beruhten auch auf einer erfinderischen Tätigkeit.

Die Beklagte bestreitet, dass die Voraussetzungen einer offenkundigen Vorbenutzung vorliegen und führt dazu aus, soweit eine Lieferung von Geräten überhaupt belegt sei, habe es sich bei diesen jeweils nicht um [X.], sondern um Vorseriengeräte bzw. Spezialanfertigungen gehandelt, die bei den genannten Firmen, insbesondere [X.] und [X.], erst noch evaluiert und weiterentwickelt worden seien. Dies gehe schon aus den Gerätenummern hervor, die die betreffenden Geräte als [X.] auswiesen, jedenfalls stehe nicht fest, dass diese [X.]/[X.]-Systeme die streitpatentgemäßen Merkmale aufgewiesen hätten.

Weiterhin bestreitet die Beklagte, dass das vom [X.] untersuchte [X.]/[X.]-System seit der Auslieferung an [X.] bis zur Zerlegung unverändert geblieben ist. Zudem bestreitet sie, dass der vom [X.] untersuchte [X.] zu dem an die Fa. [X.] verkauften Gerät gehört.

Die Beklagte behauptet ferner, die Lieferungen an [X.] und [X.] seien im [X.]ahmen einer gemeinsamen Entwicklung erfolgt, so dass hinsichtlich dieser damals noch zu evaluierenden Geräte von einem zumindest konkludenten Geheimhaltungsinteresse der beteiligten Unternehmen auszugehen sei.

Die Beklagte habe zudem seit 1994 eine vertrauliche Geschäftsbeziehung zur Fa. [X.] unterhalten, innerhalb derer zahlreiche spezialangefertigte [X.]/[X.]-Systeme geliefert worden seien, und jeweils stillschweigend die gleiche Vertraulichkeit wie bei vorhergehenden vergleichbaren Projekten vorausgesetzt worden sei.

Die Beklagte bestreitet weiter, dass die genannten Geräte der Öffentlichkeit zugänglich gewesen sind, denn sie seien bei den vorgenannten Abnehmerfirmen in reinraumähnlichen Bereichen aufgestellt gewesen, die einer Zugangskontrolle unterlegen hätten. Bei der Fa. [X.] seien die Geräte in einem der Öffentlichkeit nicht zugänglichen Entwicklungslabor evaluiert worden, die dort tätigen Mitarbeiter hätten alle der Geheimhaltung unterlegen. Auch bei der Fa. [X.] habe nur ein eingegrenzter und zur Geheimhaltung verpflichteter Personenkreis Zugang zu dem Entwicklungsbereich, in dem die Geräte aufgestellt waren, gehabt. Den Kunden, insbesondere [X.] sei bewusst gewesen, dass sie mit Vorseriengeräten beliefert wurden, so dass schon im eigenen Interesse ein Geheimhaltungsbedürfnis bestanden habe. Zudem sei die erfindungsgemäße Ausbildung auch nicht von außen erkennbar gewesen, da sich die maßgeblichen Teile im Inneren des [X.]s befänden und zur Wärmeisolierung mit Polyurethanschaum verschäumt seien. Hätte jemand den Aufbau des [X.]s analysieren wollen, so hätte diese Wärmeisolierung zunächst entfernt werden müssen. Hierfür hätte das Gerät außer Betrieb genommen und dann abseits des reinraumähnlichen Betriebsstandorts zerlegt werden müssen, womit es für den Anwender nicht mehr nutzbar gewesen wäre. Zudem hätte eine solche Maßnahme auch zum Erlöschen der Zertifizierung der [X.]age geführt. Den Geräten seien auch keine Bedienungsanleitungen beigefügt gewesen, die Aufschluss über die Ausbildung des [X.]s gegeben hätten. Angesichts dieser Umstände sei die erfindungsgemäße Ausbildung weder den [X.]agenbetreibern noch anderen Personen offenbar geworden. Es liege fern, dass die Endkunden aus bloßer Neugier das Gerät demontierten, da dies wegen des Kältemittels besondere Kenntnisse erfordere und das Gerät anschließend unbrauchbar sei.

Die Beklagte hat auch den Darlegungen der Klägerin zu dem [X.] der unzulässigen Erweiterung sowie der mangelnden Patentfähigkeit gegenüber dem [X.] belegten Stand der Technik widersprochen.

Die Klägerin hat die Einreichung des [X.]I als verspätet gerügt.

Der Senat hat Beweis erhoben durch die Vernehmung von Zeugen und durch Urkunden. Hinsichtlich des Ergebnisses der Beweisaufnahme und der weiteren Einzelheiten wird auf den Akteninhalt und insbesondere auf das Protokoll der mündlichen Verhandlung verwiesen.

Die auf die Nichtigkeitsgründe der mangelnden Patentfähigkeit und der unzulässigen Änderung gegenüber der Anmeldung in der ursprünglich eingereichten Fassung gestützte Klage (Artikel II § 6 Absatz 1 Ziff. 1 und 3 [X.] und Artikel 138 Absatz 1a) und c) EPÜ i. V. m. Artikel 52, 54 und 56 EPÜ) ist zulässig und begründet.

Denn die Lehre des [X.] ist nicht neu, da die interessierte Öffentlichkeit durch vorbehaltlose Lieferung entsprechender [X.]agen an einen unbeschränkten Kreis von [X.] die Möglichkeit hatte, Kenntnis von der streitpatentgemäßen Lehre zu erlangen.

Es bestand kein Grund, den erst in der mündlichen Verhandlung gestellten Hilfsantrag II gemäß § 83 Abs. 4 [X.] als verspätet zurückzuweisen, da nach dem ersten Termin zur mündlichen Verhandlung unabhängig vom Hilfsantrag II noch weitere Termine zur Fortsetzung der mündlichen Verhandlung erforderlich waren und die Berücksichtigung dieses [X.] das Verfahren deshalb nicht verzögert hat.

1. Das Patent betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Konditionierung von Halbleiterwafern und/oder Hybriden.

Bei der Fertigung von integrierten Schaltungen und Halbleiterbauelementen werden die auf den Wafern hergestellten Chips bzw. Bauelemente nach Abschluss der halbleitertechnologischen Prozesse umfangreichen Testmessungen unterzogen, bei denen sowohl ihre Funktionsfähigkeit als auch die Einhaltung der vorgegeben elektrischen Spezifikationen überprüft wird. Diese Testmessungen erfolgen in der Regel bei unterschiedlichen Temperaturen, um sicherzustellen, dass die einwandfreie Funktion der jeweiligen Schaltungen auch bei wechselnder Umgebungstemperatur gewährleistet ist. Als Messanlagen werden [X.] verwendet, bei denen der jeweilige Wafer mit seiner Rückseite auf einen [X.] ([X.]) aufgelegt wird, auf dem er bspw. mittels Unterdruck gehalten wird. Der [X.] ist schrittweise in x- und y-Richtung verfahrbar, so dass die in der Oberseite des Wafers erzeugten Schaltungen chipweise mit Hilfe von Messnadeln kontaktiert werden können, die an einer sogenannten Probercard über dem [X.] angebracht sind. Über diese Messnadeln werden die Chips auf dem jeweiligen Wafer im Rahmen der Testmessungen rechnergesteuert mit den entsprechenden Spannungen beaufschlagt und die entsprechenden elektrischen Messdaten für den jeweiligen Chip erfasst.

Je nach späterem Einsatzbereich der integrierten Schaltungen bzw. der Bauelemente werden die Testmessungen in unterschiedlichen Temperaturbereichen durchgeführt, wobei Temperaturen zwischen -200°C und +400°C möglich sind. Um den Wafer auf diese Temperaturen zu bringen, wird der [X.] entsprechend der jeweils vorgegebenen Soll-Temperatur gekühlt und/oder beheizt. Beim Kühlen auf Temperaturen unter 0°C muss dafür gesorgt werden, dass die Luftfeuchtigkeit aus der Umgebungsluft des [X.]s nicht zur Vereisung der Oberfläche des Wafers führt.

Bei der anhand der [X.]. 5 des [X.] als Stand der Technik beschriebenen Vorrichtung ist der [X.] in einem durch einen Behälter gebildeten Raum angeordnet, der so weit geschlossen ist, dass in ihm ein leichter Überdruck gegenüber der Außenumgebung erzeugt werden kann, der ein Eindringen von feuchter Umgebungsluft in den Behälter verhindert. Dabei sind in dem Behälter Ausströmelemente vorgesehen, über die getrocknete Luft oder ein ähnliches Fluid wie z. B. Stickstoff in den Behälter geführt werden kann. Bei der aus der [X.] 5 885 353 A bekannten Vorrichtung wird die trockene Luft, die zur Konditionierung der Atmosphäre in dem Behälter über die Ausströmelemente in den Behälter geleitet wird, auf Raumtemperatur gehalten, so dass lediglich die Oberfläche des [X.]s auf der gewünschten Messtemperatur ist. Die über die Ausströmelemente in den Behälter geführte trockene Luft verlässt diesen durch Ritzen bzw. Spalte im Behälter oder eine separate Auslassleitung.

Zum Heizen des [X.]s ist in diesem üblicherweise eine Heizeinrichtung integriert, die von außen mit elektrischem Strom zum Heizen versorgt werden kann. Die Heizeinrichtung wird über einen [X.] angesteuert, der in einem außerhalb des Behälters als separate Einheit vorgesehenen [X.] angeordnet ist und die Temperatur des [X.]s regelt. Dabei ist der [X.] gleichzeitig oder alternativ mit Luft zur Kühlung durchspülbar. Hierzu wird dem [X.] von außen getrocknete Luft zugeführt, die mittels eines ebenfalls in dem [X.] angeordneten Wärmetauschers auf eine vorbestimmte Temperatur temperiert wird, wozu der Wärmetauscher mit Kühlaggregaten verbunden ist. Diese Luft wird über eine Versorgungsleitung in den Behälter zum [X.] geführt, in dem Kühlschlangen bzw. Kühlrohre angeordnet sind. Nachdem die temperierte Luft diese durchquert hat, verlässt sie den [X.] und wird über eine entsprechende Leitung aus dem Behälter heraus an die Atmosphäre geleitet.

Bei dieser bekannten Vorrichtung zum Konditionieren von Halbleiterwafern tritt ein relativ hoher Verbrauch an getrockneter Luft auf, da die zum Konditionieren der Atmosphäre im Behälter und zum Temperieren des [X.]s verwendete Luft an die Atmosphäre abgegeben wird. Zudem bewirkt bei entsprechenden Temperaturen ein Ausfall des [X.] ein sofortiges Vereisen des getesteten Wafers.

Dem Streitpatent liegt daher als technisches Problem die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Konditionierung von Halbleiterwafern und/oder Hybriden anzugeben, welche eine effizientere Konditionierung ermöglichen, vgl. insoweit die Abschnitte [0003] bis [0016] des [X.].

Gemäß dem (mit einer Merkmalsgliederung versehenen) Anspruch 1 des [X.] wird die Aufgabe hinsichtlich des Verfahrens durch folgende Maßnahmen gelöst:

M1.1 Verfahren zur Konditionierung von Halbleiterwafern und/oder Hybriden mit den Schritten:

[X.] Bereitstellen eines zumindest teilweise geschlossenen Raums (1) mit einer darin befindlichen Wafer/[X.] (10) zur Aufnahme eines Halbleiterwafers und/oder Hybrids; und

M1.3 Leiten eines trockenen Fluids durch die Wafer/[X.] (10) zum Temperieren der Wafer/[X.] (10);

M1.4 wobei zumindest ein Teil des die Wafer/[X.] (10) verlassenden Fluids zum Konditionieren der Atmosphäre innerhalb des Raums (1) verwendet wird;

[X.] wobei der Raum (1) durch einen Behälter (5) im Wesentlichen geschlossen ist;

M1.6 wobei der Teil des die Wafer/Hybrid-Aufnahmevorrichtung (10) verlassenden Fluids zunächst temperiert wird und dann innerhalb des Raums (1) ausströmen gelassen wird; und

M1.7 wobei der Teil des die Wafer/Hybrid-Aufnahmevorrichtung (10) verlassenden Fluids dadurch temperiert wird, dass er zur Vorkühlung des Fluids in einem Wärmetauscher außerhalb des Raums (1) verwendet wird, bevor er innerhalb des Raums (1) ausströmen gelassen wird.

Der (mit einer Merkmalsgliederung versehene) nebengeordnete Anspruch 5 gibt hinsichtlich der Vorrichtung folgende Lösung an:

M5.1 Vorrichtung zur Konditionierung von Halbleiterwafern und/oder Hybriden mit:

M5.2 einem zumindest teilweise geschlossenen Raum (1), wobei der Raum (1) durch einen Behälter (5) im Wesentlichen geschlossen ist, mit einer darin befindlichen Wafer/[X.] (10) zur Aufnahme eines Halbleiterwafers und/oder [X.]; und

M5.3 einer Leitungseinrichtung ([X.], r3, r4, r5, i3, [X.]) zum Leiten eines trockenen Fluids durch die Wafer/[X.] (10)

[X.] zum Temperieren der Wafer/[X.] (10) und

[X.] zum Leiten zumindest eines Teiles des die Wafer/[X.] (10) verlassenden Fluids in den Raum (1) zum Konditionieren der Atmosphäre in dem Raum (1);

M5.4 wobei die Leitungseinrichtung ([X.], r3, r4, r5, i3, [X.]) aufweist:

M5.5 eine erste Leitung ([X.]), über die das Fluid von außerhalb des Raums (1) in die Wafer/[X.] (10) leitbar ist;

M5.6 eine zweite Leitung (r3), über die das Fluid aus der Wafer/[X.] (10) nach außerhalb des Raums (1) leitbar ist; und

[X.] eine dritte Leitung (r4), über die das Fluid von außerhalb des Raums (1) in den Raum (1) rückführbar ist;

M5.8 wobei zwischen der zweiten und dritten Leitung (r3, r4) eine [X.] (70; 70, 80“) vorgesehen ist;

[X.] wobei die [X.] (70; 70, 80") einen Wärmetauscher (95) aufweist, dem zumindest ein Teil des den Raum (1) verlassenden Fluids zuleitbar ist;

M5.10 wobei der Wärmetauscher (95) zum Vorkühlen des zugeführten Fluids dient;

M5.11 wobei die Leitungseinrichtung ([X.], r3, r4, r5, i3, [X.]) derart gestaltet ist, dass der den Wärmetauscher (95) verlassende Teil zumindest teilweise zum Konditionieren der Atmosphäre in den Raum rückführbar ist.

Die effizientere Konditionierung wird gemäß diesen Ansprüchen dadurch erreicht, dass zumindest ein Teil des die Wafer/[X.] verlassenden Fluids zum Konditionieren der Atmosphäre innerhalb des von dem Behälter gebildeten Raums genutzt wird. Dabei wird dieser Teil des Fluids in einem Wärmetauscher außerhalb des Raums zur Vorkühlung des frisch zugeführten Fluids verwendet, bevor er innerhalb des von dem Behälter gebildeten Raums ausströmen gelassen wird. Im Anspruch 5 ist dementsprechend eine Vorrichtung angegeben, bei der das Fluid über entsprechende Leitungseinrichtungen von der Wafer/[X.] zum Vorkühlen des zugeführten Fluids zu einem Wärmetauscher und von diesem zumindest teilweise zum Konditionieren der Atmosphäre in den Raum geführt wird.

Mit den beiden [X.] 1 und 2 verteidigt die Patentinhaberin ihr Patent mit Anspruchssätzen, bei denen der Vorrichtungsanspruch 5 gegenüber dem des Patents gemäß der [X.] verändert wurde, indem das Merkmal 5.9 richtiggestellt, im Merkmal 5.10 eine Zusatzangabe ergänzt und ein Merkmal 5.12. an den [X.] angefügt wurde. Der Anspruch 5 nach Hilfsantrag 1 lautet bei Korrektur eines Schreibfehlers im letzten Merkmal („Wärmetauscher“ statt „Wärmerauscher“) bei Beibehaltung der Merkmalsgliederung:

M5.1 Vorrichtung zur Konditionierung von Halbleiterwafern und/oder Hybriden mit:

M5.2 einem zumindest teilweise geschlossenen Raum (1), wobei der Raum (1) durch einen Behälter (5) im Wesentlichen geschlossen ist, mit einer darin befindlichen Wafer/[X.] (10) zur Aufnahme eines Halbleiterwafers und/oder [X.]; und

M5.3 einer Leitungseinrichtung ([X.], r3, r4, r5, i3, [X.]) zum Leiten eines trockenen Fluids durch die Wafer/[X.] (10)

[X.] zum Temperieren der Wafer/[X.] (10) und

[X.] zum Leiten zumindest eines Teiles des die Wafer/[X.] (10) verlassenden Fluids in den Raum (1) zum Konditionieren der Atmosphäre in dem Raum (1);

M5.4 wobei die Leitungseinrichtung ([X.], r3, r4, r5, i3, [X.]) aufweist:

M5.5 eine erste Leitung ([X.]), über die das Fluid von außerhalb des Raums (1) in die Wafer/[X.] (10) leitbar ist;

M5.6 eine zweite Leitung (r3), über die das Fluid aus der Wafer/[X.] (10) nach außerhalb des Raums (1) leitbar ist; und

[X.] eine dritte Leitung (r4), über die das Fluid von außerhalb des Raums (1) in den Raum (1) rückführbar ist;

M5.8 wobei zwischen der zweiten und dritten Leitung (r3, r4) eine [X.] (70; 70, 80“) vorgesehen ist;

[X.]‘ wobei die [X.] (70; 70, 80") einen Wärmetauscher aufweist, dem zumindest ein Teil des die Wafer/Hybridaufnahme-einrichtung (10) verlassenden Fluids zuleitbar ist;

M5.10‘ wobei der Wärmetauscher (95) zum Vorkühlen des zugeführten Fluids unter Verwendung des zugeleiteten Teils des die Wafer/Hybridaufnahmeeinrichtung (10) verlassenden Fluids dient;

M5.11 wobei die Leitungseinrichtung ([X.], r3, r4, r5, i3, [X.]) derart gestaltet ist, dass der den Wärmetauscher (95) verlassende Teil zumindest teilweise zum Konditionieren der Atmosphäre in den Raum rückführbar ist;

[X.] wobei der Teil des die Wafer/Hybrid-Aufnahmevorrichtung (10) verlassenden Fluids durch die Verwendung in dem Wärmetauscher temperierbar ist, bevor er in den Raum (1) rückführbar ist.“

Im Anspruch 5 nach Hilfsantrag 2 wird in den Merkmalen 5.9 und 5.11 des Anspruchs 1 nach Hilfsantrag 1 ergänzt, über welche Leitungen der jeweilige Teil des Fluids geleitet wird, so dass dieser Anspruch lautet:

M5.1 Vorrichtung zur Konditionierung von Halbleiterwafern und/oder Hybriden mit:

M5.2 einem zumindest teilweise geschlossenen Raum (1), wobei der Raum (1) durch einen Behälter (5) im Wesentlichen geschlossen ist, mit einer darin befindlichen Wafer/[X.] (10) zur Aufnahme eines Halbleiterwafers und/oder [X.]; und

M5.3 einer Leitungseinrichtung ([X.], r3, r4, r5, i3, [X.]) zum Leiten eines trockenen Fluids durch die Wafer/[X.] (10)

[X.] zum Temperieren der Wafer/[X.] (10) und

[X.] zum Leiten zumindest eines Teiles des die Wafer/[X.] (10) verlassenden Fluids in den Raum (1) zum Konditionieren der Atmosphäre in dem Raum (1);

M5.4 wobei die Leitungseinrichtung ([X.], r3, r4, r5, i3, [X.]) aufweist:

M5.5 eine erste Leitung ([X.]), über die das Fluid von außerhalb des Raums (1) in die Wafer/[X.] (10) leitbar ist;

M5.6 eine zweite Leitung (r3), über die das Fluid aus der Wafer/[X.] (10) nach außerhalb des Raums (1) leitbar ist; und

[X.] eine dritte Leitung (r4), über die das Fluid von außerhalb des Raums (1) in den Raum (1) rückführbar ist;

M5.8 wobei zwischen der zweiten und dritten Leitung (r3, r4) eine [X.] (70; 70, 80“) vorgesehen ist;

[X.]‘‘ wobei die [X.] (70; 70, 80") einen Wärmetauscher aufweist, dem zumindest ein Teil des die Wafer/Hybridaufnahmeeinrichtung (10) über die zweite Leitung (r3) verlassenden Fluids zuleitbar ist, welcher den Wärmetauscher (95) über die dritte Leitung (r4) verlässt;

M5.10 wobei der Wärmetauscher (95) zum Vorkühlen des zugeführten Fluids unter Verwendung des zugeleiteten Teils des die Wafer/Hybridaufnahmeeinrichtung (10) verlassenden Fluids dient;

M5.11‘‘ wobei die Leitungseinrichtung ([X.], r3, r4, r5, i3, [X.]) derart gestaltet ist, dass der den Wärmetauscher (95) verlassende Teil über die dritte Leitung (r4) zum Konditionieren der Atmosphäre in den Raum rückführbar ist;

[X.] wobei der Teil des die Wafer/Hybrid-Aufnahmevorrichtung (10) verlassenden Fluids durch die Verwendung in dem Wärmetauscher temperierbar ist, bevor er in den Raum (1) rückführbar ist.“

2. Als Fachmann ist vorliegend ein mit der Weiterentwicklung von [X.] für die [X.] befasster berufserfahrener Ingenieur der Fachrichtung Elektrotechnik oder ein Physiker mit Hochschul- oder Fachhochschulabschluss anzusehen, der sich im Rahmen seiner Berufstätigkeit Spezialkenntnisse im Aufbau und in der Konzeption von [X.] einschließlich der zugehörigen Kühlanlagen erworben hat.

3. Die Ansprüche 1 und 5 des [X.] sind nicht unzulässig erweitert.

Der Anspruch 1 bezieht sich auf das Ausführungsbeispiel gemäß der [X.]. 3 der ursprünglichen [X.] Anmeldung [X.] 102 16 786 [X.] bzw. der Nachanmeldung [X.][X.] ([X.]) bzw. des ursprünglich erteilten Patents EP 1 495 486 [X.]. Übereinstimmend wird in diesen Dokumenten dargelegt, dass bei dieser Ausführungsform ein Teil der aus dem [X.] zurückgeführten trockenen Luft durch den Wärmetauscher „95“ geleitet wird, „wo sie genau wie die frisch über die Leitungen [X.], i1 zugeführte trockene Luft zur Abkühlung beiträgt“. Den Beschreibungsunterlagen der genannten Dokumente zufolge besteht der besondere Vorteil dieser Ausführungsform darin, dass eine Restkälte der getrockneten Luft, welche vom [X.] zurückfließt, zur Abkühlung des Wärmetauschers genutzt werden kann und dass die zurückfließende Luft gleichzeitig erwärmt in den Behälter „5“ zurückgeführt werden kann, vgl. in der [X.] 102 16 786 [X.] die Abschnitte [0053] und [0055], in der [X.] die [X.], [X.]Abs. und die S. 13, 2. Abs. und im ursprünglich erteilten Patent gemäß der EP 1 495 486 [X.] die Abschnitte [0048] und [0050].

Zwar ist hier nur die Rede davon, dass die zurückfließende Luft zur Abkühlung des Wärmetauschers beiträgt bzw. genutzt wird und dass die zurückfließende Luft gleichzeitig erwärmt, d. h. temperiert wird. Alle drei Dokumente enthalten jedoch übereinstimmend in der Beschreibungseinleitung eine weitere Textpassage, in der im Zusammenhang mit der effektiven Nutzung darauf hingewiesen wird, dass die der Erfindung zugrundeliegende Idee darin besteht, dass zumindest ein Teil des die Wafer/Hybridaufnahmeeinrichtung verlassenden Gases zum Konditionieren der Atmosphäre innerhalb des Raums verwendet wird, wobei es vorteilhaft ist, wenn ein Teil [X.] zunächst temperiert und dann innerhalb des Raums ausströmen gelassen wird. Hierzu wird der Teil z. B. außerhalb eines Behälters temperiert und dann dem Behälter wieder zugeführt. Ein besonderer Vorteil dieses Beispiels liegt dabei darin, dass durch eine entsprechende Rückführung der Luft vom [X.] nach außerhalb des Behälters eine höhere Kühleffizienz ermöglicht wird. Mit anderen Worten kann die rückgeführte gekühlte Luft zusätzlich zur Vorkühlung der eingespeisten trockenen Luft verwendet werden und nicht nur zur Kühlung der Wafer/[X.], vgl. in der [X.] 102 16 786 [X.] die Abschnitte [0018] und [0019], in der [X.], [X.]Abs. bis S. 6, 2. Abs. und in der EP 1 495 486 [X.] wiederum die Abschnitte [0018] und [0019].

Diese Textpassagen offenbaren somit, dass die rückgeführte gekühlte Luft zur Vorkühlung der eingespeisten Luft verwendet wird, wobei aus dem dargelegten Zusammenhang (nämlich der effektiveren Nutzung der Luft) folgt, dass diese Textabschnitte sich auf das oben genannte Ausführungsbeispiel gemäß der [X.]. 3 beziehen, in dem angegeben wird, dass die in Rede stehenden Luftströme durch den Wärmetauscher „95“ geleitet werden.

Somit ist das von der [X.] als unzulässig angesehene Merkmal M1.7 des Anspruchs 1 für den Fachmann in den ursprünglichen Unterlagen und dem ursprünglichen Patent offenbart. Der Anspruch 1 des [X.] ist mithin zulässig.

In gleicher Weise gilt dies auch für das von der [X.] als unzulässige Zwischenverallgemeinerung angesehene Merkmal M5.11 des Anspruchs 5. Denn die Angabe, dass „die Leitungseinrichtung ([X.], r3, r4, r5, i3, [X.]) derart gestaltet ist, dass der den Wärmetauscher (95) verlassende Teil zumindest teilweise zum Konditionieren der Atmosphäre in den Raum rückführbar ist“, ergibt sich ebenfalls aus den ursprünglichen Beschreibungsunterlagen und denen des ursprünglichen Patents, vgl. in der [X.] 102 16 786 [X.] die Abschnitte [0051] bis [0056], in der [X.][X.] [X.], 3. Abs. bis S. 13, 3. Abs. und im ursprünglichen Patent gemäß der EP 1 495 486 [X.] die Abschnitte [0046] bis [0051], jeweils i. V. m. [X.]. 3. Dabei ergibt sich für den Fachmann im Zusammenhang mit den oben bereits im Hinblick auf den Anspruch 1 gewürdigten Textpassagen dieser Dokumente, dass die Rückführung und Temperierung der den [X.] verlassenden Luft bereits für sich genommen, d. h. auch ohne die in den [X.]n 12, 13 und 16 genannten Merkmale erfindungs-wesentlich ist, so dass die entsprechende Ausbildung auch ohne Einbeziehung der in diesen [X.]n genannten Merkmale beansprucht werden kann. Insofern liegt keine unzulässige Zwischenverallgemeinerung vor.

Somit ist auch der Anspruch 5 des [X.] nicht unzulässig erweitert.

4. Auch die mit den [X.] 1 und 2 vorgelegten umformulierten Ansprüche 5 sind nicht unzulässig erweitert.

Mit der Angabe im Merkmal [X.]‘, dass die [X.] einen Wärmetauscher aufweist, dem zumindest ein Teil des die Wafer/Hybridaufnahme-einrichtung verlassenden Fluids zuleitbar ist, korrigiert die Patentinhaberin bei Gelegenheit der Einschränkung die unzutreffende Angabe im Anspruch 5 des [X.], dass die [X.] einen Wärmetauscher aufweist, dem zumindest ein Teil des den Raum verlassenden Fluids zuleitbar ist, im Sinne der zugehörigen Beschreibung des [X.]. Denn gemäß der Beschreibung zur [X.]ur 3 wird bei der erfindungsgemäßen Ausbildung der [X.]age „ein Teil der über die Leitung r3 zurückgeführten trockenen Luft [...] durch den Wärmetauscher 95 geleitet“, wobei die rückgeführte Luft der [X.]ur 3 zufolge die Luft aus dem [X.] ist. Dementsprechend heißt es im Abs. [0048] des [X.]: „Der besondere Vorteil bei dieser Ausführungsform ist, dass eine „Restkälte“ der getrockneten Luft, welche vom [X.] 10 zurückfließt, zur Abkühlung des Wärmetauschers genutzt werden kann und gleichzeitig erwärmt in den Behälter 5 zurückgeführt werden kann.“ Angesichts dieser Angaben hat der Fachmann bereits bei der Lektüre des [X.] die Angabe im Anspruch 5, dass die [X.] einen Wärmetauscher aufweist, dem zumindest ein Teil des den Raum verlassenden Fluids zuleitbar ist, als unzutreffend erkannt und gedanklich im oben aufgezeigten Sinn korrigiert, so dass auch die verbale Richtigstellung dieser Angabe im Anspruch 5 der Hilfsanträge zulässig ist.

Aus der vorangehend zitierten Textstelle ergibt sich auch die [X.] im Merkmal M5.10‘ der Ansprüche 5 der Hilfsanträge 1 und 2, wonach der Wärmetauscher zum Vorkühlen des zugeführten Fluids unter Verwendung des zugeleiteten Teils des die Wafer/Hybridaufnahmeeinrichtung (10) verlassenden Fluids dient. In gleicher Weise offenbart die oben zitierte Textpassage im Streitpatent auch das an die Ansprüche 5 nach den [X.] 1 und 2 angefügte Merkmal [X.], dass der Teil des die Wafer/Hybrid-Aufnahmevorrichtung verlassenden Fluids durch die Verwendung in dem Wärmetauscher temperierbar ist, bevor er in den Raum rückführbar ist.

Die Ergänzungen im Merkmal [X.]‘‘ des Anspruchs 5 nach Hilfsantrag 2, dass die [X.] einen Wärmetauscher aufweist, dem zumindest ein Teil des die Wafer/Hybridaufnahmeeinrichtung über die zweite Leitung (r3) verlassenden Fluids zuleitbar ist, welcher den Wärmetauscher über die dritte Leitung (r4) verlässt, und dass die Leitungseinrichtung ([X.], r3, r4, r5, i3, [X.]) derart gestaltet ist, dass der den Wärmetauscher (95) verlassende Teil über die dritte Leitung (r4) zum Konditionieren der Atmosphäre in den Raum rückführbar ist, gehen auf den Abs. [0046] i. V. m. [X.]. 3 des [X.] zurück. Die von der [X.] hinsichtlich der Zulässigkeit der Angabe „welcher den Wärmetauscher über die dritte Leitung verlässt“ vorgetragenen Bedenken, dass die trockene Luft den Wärmetauscher über die Leitung „[X.]“ und somit nicht über die dritte Leitung „r3“ verlässt, teilt der Senat nicht. Denn die Leitung „[X.]“ ist nur bei derjenigen Ausbildung der [X.]age vorgesehen, bei der zusätzlich zum Wärmetauscher „95“ und parallel zu diesem noch eine Heizeinrichtung „105“ zum Temperieren eines Teils der rückgeführten Luft vorgesehen ist. Diese Ausbildung stellt gemäß dem Streitpatent aber eine Weiterbildung der Vorrichtung nach Anspruch 5 dar, denn die Heizeinrichtung „105“ wird erst in dem auf den Anspruch 5 rückbezogenen Unteranspruch 9 des [X.] genannt. Angesichts dessen ist dem Fachmann eindeutig offenbart, dass bei der Ausbildung nach Anspruch 5 des [X.] das Fluid den Wärmetauscher über die dritte Leitung verlässt und über diese Leitung zum Konditionieren der Atmosphäre in den Raum rückführbar ist. Mithin ist der Anspruch 5 nach Hilfsantrag 2 nicht unzulässig erweitert.

5. Das Verfahren nach dem Anspruch 1 des [X.] sowie nach den identischen Ansprüchen 1 der Hilfsanträge 1 und 2 ist nicht neu, denn die Fachwelt hatte die Möglichkeit, angesichts einer vorbehaltlosen Lieferung entsprechender [X.]agen an einen unbeschränkten Kreis von [X.] Kenntnis von der Lehre dieser Ansprüche zu erlangen (vgl. dazu [X.], [X.], 10. Auflage, § 59, Rdn. 115 und 116 m. w. N.).

Dies steht nach dem Ergebnis der Beweisaufnahme, insbesondere der Vernehmung der Zeugen sowie nach den vorgelegten Unterlagen zur Überzeugung des Senates fest. Denn die Beklagte hat vor dem Prioritätszeitpunkt, nämlich bereits im Jahr 2000 mindestens eine die Merkmale des [X.] aufweisende Vorrichtung, aus der auch das Verfahren erkennbar war, jedenfalls an die Firma [X.] in V… ausgeliefert, die dort im Produktionsbereich aufgestellt wurde.

5.1 Aus dem von der Klägerin vorgelegten [X.]gutachten des in [X.] allgemein beeideten und gerichtlich zertifizierten Sachverständigen [X.]. A…, datiert mit 15. Mai 2007 ([X.]. [X.]4), ergibt sich, dass dieser im Auftrag der Klägerin bei der vorgenannten Firma am 17. und 18. Januar 2007 ein [X.]/[X.]-System besichtigt und hinsichtlich Aufbau und Funktion untersucht hat, wobei diese [X.]age zumindest teilweise demontiert wurde. Die Ergebnisse seiner Untersuchung hat der [X.] nicht nur textlich, sondern zusätzlich mit zahlreichen Lichtbildern festgehalten, die der Senat selbst insbesondere im Hinblick auf die Fluidleitungsführung zum und im [X.] würdigen konnte.

Gemäß den Ergebnissen seiner Untersuchung, die von der [X.], soweit es insbesondere die tatsächlichen Feststellungen zu den zum Zeitpunkt der Untersuchung vorhandenen – und auch großteils abgebildeten – technischen Merkmalen betrifft, nicht in Abrede gestellt wurden und deshalb vom Senat als unstreitiger [X.]vortrag des Klägerin gewertet werden konnten, weist die zunächst in den der [X.] dienenden Produktionsräumen der Firma [X.] untersuchte [X.]age einen [X.] vom Typ [X.] mit der Seriennummer [X.] der [X.], hergestellt im Juni 2000, auf, dessen Schlitten die Seriennummer [X.] hat (vgl. im Dokument [X.]4 die [X.] und das [X.] des [X.]s gemäß Bild 2-4). Im [X.] ist ein [X.] vom Typ T[X.]TC8 mit der Seriennummer 400001516 angeordnet. Die [X.]age umfasst außerdem eine Steuereinheit der [X.] ([X.]) mit der Typenbezeichnung [X.] mit der Seriennummer 400001516 und einen [X.] vom Typ [X.] 03-10, der laut [X.] ebenfalls von der [X.] ([X.]) hergestellt wurde und gleichfalls die Seriennummer 400001516 hat (vgl. S. 9 bis 12 und die Bilder 2-5 bis 2-11).

Soweit die Beklagte bestritten hat, dass der untersuchte [X.] zum ursprünglich ausgelieferten [X.]/[X.]-System gehört, weil die Seriennummer des [X.]s im [X.]gutachten ([X.]. 14, Bild 2-11) nicht zu erkennen sei, vermag der Senat dem nicht zu folgen. Unabhängig davon, ob dieses Bestreiten überhaupt beachtlich ist, zeigt ein anderes Lichtbild ([X.]. 14, S. 24) ein Schild mit der Angabe „[X.] 03“. Dazu hat der Zeuge [X.]… in seiner Aussage detailliert und nachvoll- ziehbar geschildert, dass sämtliche von der [X.] an die Beklagte gelieferten [X.] vom Typ 03 eine identische von Isolationsmaterial umschäumte Leitungsführung hatten. Der Zeuge hat dazu weiterhin überzeugend ausgesagt, dass nach der Verwirklichung der Leitungsführung, insbesondere der Luftrückführung beim Luft-Luftwärmetauscher im [X.] zu Beginn der Entwicklung des Typs „[X.]“ keine konstruktiven Veränderungen mehr vorgenommen wurden, sondern nur mit anderen Maßnahmen experimentiert wurde. Diese Aussage wird gestützt durch die Bekundungen des [X.], der bei der [X.] zwar erst ab dem Jahr 2002 mit den entsprechenden Geräten befasst war, aber gleichwohl bestätigen konnte, dass sowohl die neu hergestellten Geräte als auch die älteren Rückläufer, die z. B. zur Reparatur zurückkamen, insoweit identisch konstruiert waren.

Anhaltspunkte, die gegen die Glaubwürdigkeit der Zeugen sprechen, sind nicht ersichtlich, insbesondere war keine Voreingenommenheit zugunsten einer [X.] festzustellen. Beide Aussagen sind detailliert und die Zeugen konnten anschaulich die aufgetretenen Probleme bei der Entwicklung schildern, sowie auf Nachfragen ergänzend antworten. Schließlich konnte auch der Zeuge D… bestätigen, dass der Aufbau der [X.] bei allen Typen grundsätzlich identisch war. Diese Aussagen überzeugen vor allem deshalb, weil die Mitarbeiter der [X.] unmittelbar am Bau der Wärmetauscher beteiligt waren, während die übrigen Zeugen lediglich einen fertigmontierten, bereits mit Isolierung versehenen [X.] wahrgenommen haben und deshalb insoweit keine Zweifel an der Überzeugung des Senates wecken konnten.

Die Lichtbilder zeigen u. a., dass der untersuchte [X.] eine Abdeckung bzw. einen Deckel aufweist, die bzw. der geöffnet werden kann, wobei sich der [X.] in dem durch die Abdeckung gebildeten Innenraum des [X.]s befindet (vgl. S. 13 und 14 sowie die Bilder 2-12 und 2-13, [X.]. [X.]4).

Der [X.] ist über mehrere Leitungen („[X.], [X.], [X.]“) mit dem Prober verbunden. Durch Abklemmen der einzelnen Leitungen der noch an die örtlichen Versorgungsleitungen der Firma [X.] angeschlossenen [X.]age und Handproben an den Leitungen wurde vom [X.]gutachter festgestellt, dass die erste Leitung („[X.]“) Kühlluft vom [X.] zum Prober führt, während über die zweite Leitung („[X.]“) [X.] vom Prober zum [X.] läuft und die dritte Leitung („[X.]“) Luft mit Raumtemperatur vom [X.] zum Prober führt, vgl. S. 14 und 15 und das Bild 2-14. Dabei sind die vom [X.] kommenden Leitungen („[X.], [X.]“) mit dem [X.] verbunden und führen Luftströme über den Prober zum [X.], während die dritte Leitung („[X.]“) vom [X.] in den [X.] führt, wo sich drei Diffusoren befinden, die Luft in den [X.] austreten lassen (vgl. S. 16 bis 18 sowie die Bilder 2-15 bis 2-19).

Zur Untersuchung des [X.]s wurde dieser laut Privatgutachten in einem Raum außerhalb der Mess-Räumlichkeiten der Firma [X.] geöffnet und partiell de- montiert. Der [X.] wurde nach dem Inhalt des Gutachtens von der Firma [X.] hergestellt und hat – wie auf den Lichtbildern zu erken- nen – die Typenbezeichnung Chille[X.]3 sowie die Seriennummer 44102/00. Außer Steuereinheiten sind in dem [X.] Kompressoren und Wärmetauscher untergebracht, wobei die Wärmetauscher und die zugehörigen Leitungsverbindungen zur Wärmeisolation von einem Isolationsmaterial umschäumt sind (vgl. die S. 23 bis 25 sowie 29 und 30 und die Bilder 2-27 bis 2-30 und 2-33).

Nach dem Entfernen des [X.] wurde die Leitungsführung in dem [X.] wie im Folgenden beschrieben aufgenommen:

Von einem Lufteingang zugeführte Luft durchläuft nacheinander einen ersten und einen zweiten Wärmetauscher und wird dann als Kühlluft über einen [X.] am [X.] und über eine erste Leitung ([X.] bzw. „[X.]“) zum [X.] geführt. Über eine zweite Leitung ([X.] bzw. „[X.]“) wird kalte Luft vom [X.] zurückgeführt und zum ersten Wärmetauscher geführt, den sie durchströmt, um danach über eine dritte Leitung („Luft-Diffusor“ bzw. „[X.]“) in den Innenraum des den [X.] umgebenden Behälters geführt zu werden (vgl. S. 33 und 34 sowie Bild 2-40 i. V. m. S. 25 und Bild 2-30).

Mit den Worten des Anspruchs 5 handelt es sich bei der im [X.]gutachten beschriebenen Vorrichtung nach der Wertung des Senates somit um eine

Vorrichtung zur Konditionierung von Halbleiterwafern und/oder Hybriden ([X.] mit [X.] und [X.] ; siehe Bild 2-1) mit:

einem zumindest teilweise geschlossenen Raum, wobei der Raum durch einen Behälter im Wesentlichen geschlossen ist (mit einem Deckel versehener Behälter des [X.]s), mit einer darin befindlichen Wafer/[X.] ([X.]) zur Aufnahme eines Halbleiterwafers und/oder [X.]; (siehe Bild 2-13) und

einer Leitungseinrichtung zum Leiten eines trockenen Fluids durch die Wafer/[X.] zum Temperieren der Wafer/[X.] (erste Leitung in Form der Kühlluftleitung „[X.]“ ; siehe Bilder 2-40 und 2-16) und

zum Leiten zumindest eines Teiles des die Wafer/[X.] verlassenden Fluids in den Raum zum Konditionieren der Atmosphäre in dem Raum (dritte Leitung „Luft Diffusor“ bzw. „[X.]“ ; siehe Bilder 2-18, 2-19 und vgl. S. 17: „Die dritte Leitung ([X.]) vom [X.] führt in den [X.], wo sich drei Diffusoren befinden, diese lassen die Luft in den [X.] austreten.“),

wobei die Leitungseinrichtung aufweist:

eine erste Leitung (Kühlluftleitung „[X.]“), über die das Fluid von außerhalb des Raums ([X.]) in die Wafer/[X.] ([X.]) leitbar ist; (siehe Bild 2-40);

eine zweite Leitung ([X.]leitung „[X.]“), über die das Fluid aus der Wafer/[X.] ([X.]) nach außerhalb des Raums ([X.]) leitbar ist; (siehe Bild 2-40); und eine dritte Leitung (Luft Diffusor „[X.]“), über die das Fluid von außerhalb des Raums ([X.]) in den Raum (Behälter im [X.] mit Diffusoren) rückführbar ist; (siehe Bild 2-40);

wobei zwischen der zweiten und dritten Leitung („[X.]“, „[X.]“) eine [X.] (Wärmetauscher 1) vorgesehen ist; (siehe Bild 2-37 und 2-40);

wobei die [X.] einen Wärmetauscher (Wärmetauscher 1) aufweist, dem (über die [X.]leitung „[X.]“) zumindest ein Teil des den Raum verlassenden Fluids zuleitbar ist; vgl. S. 34: „Die [X.] des [X.]s geht wieder in den [X.] und wird wiederum über einen Wärmetauscher erwärmt und über die Diffusorleitung zum Prober zurückgebracht. Hier wird die Luft über die Diffusoren in den Innenraum des Probers abgegeben.“;

wobei der Wärmetauscher (Wärmetauscher 1) zum Vorkühlen des zugeführten Fluids dient (dies ergibt sich daraus, dass die [X.] vom [X.] den Wärmetauscher 1 durchströmt, der in der Gegenrichtung von der von außen frisch zugeführten Luft durchströmt wird, vgl. Bild 2-40; vgl. S. 34: „[X.], welche von der zentralen Luftversorgung des Werkes kommt, wird über zwei Wärmetauscher gekühlt);

wobei die Leitungseinrichtung derart gestaltet ist, dass der den Wärmetauscher (Wärmetauscher 1) verlassende Teil zumindest teilweise zum Konditionieren der Atmosphäre in den Raum rückführbar ist (über die dritte Leitung [X.] wird die den Wärmetauscher verlassende Luft zu den Diffusoren in dem den [X.] enthaltenden Behälter geführt, vgl. S. 34 und Bild 2-40).

Somit weist die vom [X.]gutachten beschriebene Vorrichtung alle Merkmale M5.1 bis M5.11 der Vorrichtung nach Anspruch 5 des [X.] auf.

5.2 Wie sich aus den vorangehenden Darlegungen zum Aufbau der Vorrichtung unmittelbar ergibt, werden bei dieser Vorrichtung die Halbleiterwafer oder Hybride durch ein Verfahren mit den im erteilten Anspruch 1 angegebenen Schritten konditioniert.

5.3 Wie sich aus den obigen Darlegungen zum Aufbau der untersuchten Vorrichtung weiterhin ergibt, weist diese auch die im Anspruch 5 nach dem Hilfsantrag 1 veränderten bzw. zusätzlich angegebenen Merkmale 5.9‘, 5.10‘ und 5.12

[X.]‘ wobei die [X.] einen Wärmetauscher aufweist, dem zumindest ein Teil des die Wafer/Hybridaufnahmeeinrichtung verlassenden Fluids zuleitbar ist (gemäß Bild 2-40 wird dem –Wärmetauscher 1 das gesamte die Wafer/Hybridaufnahmeeinrichtung verlassende Fluid zugeleitet);

M5.10‘ wobei der Wärmetauscher zum Vorkühlen des zugeführten Fluids unter Verwendung des zugeleiteten Teils des die Wafer/Hybridaufnahme-einrichtung verlassenden Fluids dient;

[X.] wobei der Teil des die Wafer/Hybrid-Aufnahmevorrichtung verlassenden Fluids durch die Verwendung in dem Wärmetauscher temperierbar ist, bevor er in den Raum (1) rückführbar ist (siehe Bild 2-40 und vgl. die bereits zitierten Absätze auf S. 34).

und die im Anspruch 5 nach dem Hilfsantrag 2 zusätzlich veränderten Merkmale [X.]‘‘ und M5.11‘‘

[X.]‘‘ wobei die [X.] einen Wärmetauscher aufweist, dem zumindest ein Teil des die Wafer/Hybridaufnahmeeinrichtung über die zweite Leitung ([X.]) verlassenden Fluids zuleitbar ist, welcher den Wärmetauscher über die dritte Leitung ([X.]) verlässt;

M5.11‘‘ wobei die Leitungseinrichtung derart gestaltet ist, dass der den Wärmetauscher verlassende Teil über die dritte Leitung zum Konditionieren der Atmosphäre in den Raum rückführbar ist (siehe Bild 2-40);

auf.

5.4 Die vom [X.]gutachter untersuchte [X.]age wurde nach dem Ergebnis der weiteren Beweisaufnahme vor dem Prioritätszeitpunkt ausgeliefert und während der Aufstellzeit bei der Firma [X.] – jedenfalls, was die für das Streitpatent relevanten Merkmale betrifft – nicht verändert, sondern entspricht dem Zustand, in dem die [X.]age übergeben wurde.

Für die Lieferung und Aufstellung der [X.]age bei der Firma [X.] im Jahr 2000, mithin vor dem Zeitrang des [X.], spricht in erster Linie die eigene Angabe der [X.], dass auf Druck der Fa. [X.] die betreffende [X.]age am 24. Oktober 2000 ausgeliefert wurde (vgl. [X.] v. 7.10.2015, S. 22 unter Hinweis auf [X.]. [X.]6). Daran muss sich die Beklagte festhalten lassen. Die Richtigkeit dieses Auslieferungszeitpunktes wird zudem gestützt durch das Abnahmeprotokoll vom 2. November 2000 (sog. „Technical Service Report“, [X.]. [X.]5), in dem ein Mitarbeiter der Firma [X.], eine Erklärung unterschrieben hat, dass eine [X.]age ERS „Air cool chuck“ mit der Seriennummer [X.] und der Maschinennummer [X.] dort installiert wurde. Diese Seriennummern entsprechen denen, die auch vom [X.]gutachter genannt werden.

Der Zeuge [X.] konnte den Auslieferungszeitpunkt zwar nur ungenau mit „Winter 2000“ angeben, er hat jedoch auf Vorhalt überzeugend bestätigt, dass er selbst den „Technical Service Report“ vom 12. September 2001 ([X.]. A 15 S. 2) unterschrieben hat, so dass die [X.]age mithin schon einige Zeit vor diesem Zeitpunkt bei [X.] aufgestellt worden war. Diese Aussage des Zeugen [X.] wird gestützt durch die Bekundung des [X.], der ebenfalls eine [X.] lung und Inbetriebnahme bei [X.] im Zeitraum 2000-2001 bestätigen konnte. Beide Zeugen konnten anschaulich und nachvollziehbar schildern, dass die Unterstützung der Techniker des Lieferanten [X.] bzw. [X.]… bei Inbetriebnahme er [X.]agen in ihren Aufgabenbereich bei [X.] fielen. Ebenso überzeugend konnten beide Zeugen übereinstimmend ausschließen, dass an den [X.]agen in ihrem Zuständigkeitsbereich zwischen der Aufstellung und der Untersuchung durch den [X.]gutachter relevante technische Veränderungen seitens des Kunden vorgenommen wurden. Soweit die Beklagte eingewandt hat, solche Veränderungen hätten während eines gleichzeitigen Urlaubs beider Zeugen vorgenommen werden können, handelt es sich um bloße Mutmaßungen.

[X.] hat ferner nachvollziehbar ausgesagt, dass die Mitarbeiter der Firma [X.] bis auf Änderungen an der [X.] keine Veränderungen an dem Gerät vornehmen durften, da ansonsten die Zertifizierung der [X.]age in Frage gestellt gewesen wäre. So sei auch der zur [X.]age gehörende [X.] nicht von den Mitarbeitern der Firma [X.] gewartet worden. Bei Störungen am [X.] sei jeweils die Vertriebsfirma angerufen und mit der Reparatur beauftragt worden.

Der Zeuge [X.] hat gleichfalls plausibel ausgesagt, dass am [X.] oder am Kühlungssystem der [X.]age von [X.]-Mitarbeitern keinerlei Veränderungen vorgenommen wurden. Abgesehen davon, dass schon wegen der Zertifizierung der [X.]age Veränderungen an der [X.]age auszuschließen seien, hätten die [X.]-Mitarbeiter auch gar nicht gewusst, wie diese Apparaturen aufgebaut seien und wie sie funktionierten.

Diese detaillierten, anschaulichen und in sich stimmigen sowie in den wesentlichen Punkten übereinstimmenden Angaben der Zeugen decken sich auch mit der Darstellung der [X.], dass jegliche Änderungen am System voraussetzen, dass die [X.]age außer Betrieb genommen und demontiert wird, was u.a. ein Entfernen der Isolation voraussetzt. Naturgemäß hätten derartige Arbeiten nach Außerbetriebnahme des in der Produktion eingesetzten [X.]-/[X.]-[X.] von mit der [X.]age vertrauten Fachkräften (der [X.]) außerhalb des reinraumähnlichen Betriebsortes durchgeführt werden müssen, was aber nach übereinstimmender Aussage der Zeugen nicht geschehen ist und deshalb überzeugend gegen nachträglich vorgenommene Änderungen an der [X.]age vor der Zerlegung durch den [X.]gutachter spricht. Dass die Zeugen sich teilweise nur auf Vorhalt erinnern konnten, spricht angesichts des längere Zeit zurückliegenden Geschehens nicht gegen ihre Überzeugungskraft. Auch der Umstand, dass die Mitarbeiter der Fa. [X.] eine große Zahl von unterschiedlichen Geräten zu be- treuen haben, spricht im Ergebnis nicht gegen die Zuverlässigkeit ihrer Erinnerung, da es sich um eine [X.]age handelte, mit der erstmals luftgekühlt derart tiefe Temperaturen erreicht wurden, und die mit solchen neuartigen Geräten zusammenhängenden Umstände erfahrungsgemäß besser im Gedächtnis haften bleiben.

5.5 Die Lieferung des [X.]/[X.]-[X.] an die Firma [X.] erfolgte nicht unter einer ausdrücklichen Geheimhaltung. Eine entsprechende schriftliche oder mündliche Vereinbarung hat die Beklagte nicht substantiiert vorgetragen und ist auch sonst nicht ersichtlich.

Ohne besondere Absprache kann eine Geheimhaltungspflicht allerdings auch aus den Umständen wie der besonderen Art der Beziehung unter Beteiligten herzuleiten sein (vgl. [X.], EPÜ, 2. Aufl., Art. 54 Rn. 101 ff. m. w. N.). Dies gilt etwa bei gewerblicher Entwicklungs- und Erprobungstätigkeit, bei der alle Beteiligten von einem Interesse der Rechtsinhaber an der Geheimhaltung der dabei entstandenen Kenntnisse ausgehen müssen. In eine solche Entwicklung eingeschaltete Unternehmen sind daher in der Regel auch ohne ausdrückliche Absprache zur Geheimhaltung verpflichtet. Das gleiche gilt für die Anpassung eines komplexen Geräts an die Bedürfnisse des Kunden; hier sind die Angestellten des Kunden, denen das Gerät vor seiner Anpassung gezeigt wird, in der Regel zur Geheimhaltung verpflichtet ([X.] a. a. O. Rn. 109 f. m. w. N.).

Die Voraussetzungen für eine derartige stillschweigende [X.] liegen nach dem Ergebnis der Beweisaufnahme nicht vor. Die an die Firma  [X.] in V… gelieferte [X.]age wurde [X.] nämlich nicht im Rahmen ei- nes Evaluierungsprojektes bzw. gemeinsamen Entwicklungsprojektes von [X.] mit der [X.] bzw. [X.]/[X.]… geliefert, für das zumindest implizit Vertraulichkeit gegolten hätte, sondern wurde ihr wie beliebigen [X.] angeboten und verkauft.

Gegen eine solche Zusammenarbeit im Rahmen eines Entwicklungs- oder Evaluierungsprojekts spricht schon das der Lieferung der [X.]age vorausgegangene Verhalten von [X.] gegenüber [X.], insbesondere die Faxschreiben vom 17. August 2000 und 20. Oktober 2000 ([X.]. [X.]6). Darin drückt [X.] mit deutlichen Worten Unmut über die Verzögerung des Liefertermins aus und setzt die Lieferantin, die [X.], in Verzug. Des Weiteren hat sich [X.] eine Wandlung des Kaufvertrages vorbehalten. Abgesehen davon, dass seitens [X.] ausdrücklich von einem Kaufvertrag die Rede ist, dürfte eine derartige Vorgehensweise unter Partnern eines gemeinsamen Entwicklungsprojekts, bei dem unvorhersehbare Verzögerungen nicht ausgeschlossen werden können, unüblich sein und somit im Ergebnis gegen eine solche Form der Zusammenarbeit sprechen.

Zudem haben die [X.] und [X.], wie bereits ausgeführt, überein stimmend, widerspruchsfrei und nachvollziehbar bekundet, dass das [X.]/[X.]-System bei [X.] stets in der Produktion eingesetzt war und nicht in einem Entwicklungslabor. Soweit Ingenieure von [X.] an dem System gearbeitet haben, handelte es sich nach Aussage der Zeugen um die Entwicklung von eigenen Programmen zum Test von Halbleitern etc., aber nicht um eine Fortentwicklung des gelieferten [X.]-/[X.]-[X.].

Ferner hat die weitere Beweisaufnahme ergeben, dass weder ein eigenes wirtschaftliches Interesse von [X.] vorlag, Vertraulichkeit einzuhalten noch anderweitig eine stillschweigende Geheimhaltung zu erwarten war. Vielmehr wurden [X.]/[X.]-Systeme wie die an die Firma [X.] gelieferte [X.]age vor dem Prioritätsdatum des [X.] auch weiteren Kunden angeboten oder geliefert, so dass [X.] somit nach Auffassung des Senats als beliebiger Dritter anzusehen ist, für den weder im Rahmen einer gemeinsamen Entwicklungszusammenarbeit noch aufgrund anderer Umstände implizit Vertraulichkeit gegolten hätte.

[X.]…, der im fraglichen Zeitraum u. a. mit dem Vertrieb von ERS-[X.]n befasst war, konnte in diesem Zusammenhang bestätigen, dass die Firma [X.], für die er tätig war, in den Jahren 2000/2001 [X.] mit [X.]-[X.]s der [X.] auch anderen Unternehmen angeboten hat, wobei es jeweils um Systeme ging, bei denen eine Kühlung bis zu -55°C bzw. -40°C möglich war. Er konnte detailliert und nachvollziehbar schildern, dass es dabei zu keiner Zeit Einschränkungen bezüglich der möglichen Kunden gab, so dass er die Geräte in der fraglichen Zeit u. a. [X.], [X.] und [X.] angeboten hatte. Diese Aussage des Zeugen wird außerdem bestätigt durch entsprechende Belege für Verkäufe von [X.]/[X.]-Systemen u. a. an [X.] und [X.].

Aus der Auftragsbestätigung der [X.] vom 4. Mai 2001 ([X.]. [X.]) und der zugehörigen Rechnung vom 6. Juli 2001 ([X.]. [X.]) geht u. a. hervor, dass [X.] im Frühjahr 2001 ein System „Aircool SP92T + T[X.]TC8 + [X.] 03-10 -40°C up to +200°C“ bestellt hat und dass dieses System am 6. Juli 2001 von [X.]-Europe der Fa. [X.] in Rechnung gestellt wurde. Gemäß diesen Bezeichnungen sind [X.], [X.] und Steuereinheit dieses von der Firma [X.] bestellten [X.] alle vom selben Typ wie bei der an die Firma [X.] gelieferten [X.]age.

Auch das Schreiben des Geschäftsführers der [X.] vom 12. März 2001 ([X.]agenkonvolut [X.]3) bezieht sich auf die Lieferung eines -40°C [X.]-[X.] an die Firma [X.] in [X.] und gibt an, dass man in dieser Angelegenheit „von der Anfrage bis zur Auslieferung unseres [X.]“ ausschließlich mit der Firma M… korrespondiert und verhandelt habe. Wie aus der dem [X.]agenkonvolut beigefügten Auftragsbestätigung zu dem unter dem Geschäftszeichen [X.]. 070900-GGO-01-PROBI geführten Vorgang hervorgeht, handelt es bei sich diesem Vorgang um ein ERS-[X.] System für 8‘‘-Wafer für den Temperaturbereich von -55°C bis +200°C, das als „close loop dew point controlled chuck system“ bezeichnet wird. Wie aus der Bezeichnung „[X.]“ und der Temperaturangabe -55°C hervorgeht, hat es sich dabei ebenfalls um ein [X.]-System der oben angegebenen Ausbildung gehandelt.

Diese Unterlagen ([X.]. [X.], [X.], und das [X.]agenkonvolut [X.]3) bestätigen die Aussage des [X.], dass das in Rede stehende [X.]-[X.]-System ohne irgendwelche Beschränkungen beliebigen [X.] angeboten und verkauft worden ist. Wenngleich der Zeuge und die Beklagte seinerzeit unterschiedlicher Auffassung über Provisionsansprüche waren, spricht dies nicht gegen die Überzeugungskraft der Zeugenaussage. Vielmehr machen es diese Umstände plausibel, dass sich der Zeuge auch nach längerer Zeit noch an diese Geschäfte erinnern konnte.

5.6 Angesichts dieser vorbehaltlosen Lieferung an Dritte bestand die nicht entfernt liegende Möglichkeit, dass die Öffentlichkeit, nämlich andere Sachverständige vor dem [X.] des [X.] ausreichende Kenntnis von der streitpatentgemäßen Lehre erlangen konnten, womit eine offenkundige Vorbenutzung gegeben ist (vgl. dazu [X.], 372-375 – „[X.]“). Denn bereits mit der Veräußerung eines Gegenstandes an einen einzelnen Kunden können die darin verkörperten technischen Informationen allgemein zugänglich gemacht werden (vgl. dazu [X.] EPÜ 2. Aufl., Art. 54, Rdnr. 77 m. w. N.).

Dabei kann dahingestellt bleiben, inwieweit der Fachmann bereits beim bestimmungsgemäßen Betrieb der [X.]age die streitpatentgemäße Lehre erkennen konnte, da er dabei aus den [X.]vorgaben für die drei Luft-Verbindungsleitungen zwischen [X.] und [X.] und den unterschiedlichen Temperaturen der Luft – die er bspw. mit einer einfachen Handprobe erfassen konnte (vgl. [X.]. [X.]4 S.15) – deren jeweilige Funktion in dem geschlossenen Kreislauf (Zuführung kalter Luft aus dem [X.] zum [X.], Rückführung kühler Luft vom [X.] zum [X.] und Rückleitung erwärmter Luft in den anzuschließenden Leitungen) erkennen konnte.

Es kann auch dahingestellt bleiben, ob die [X.]agen entgegen üblicher Vorgehensweise bei solchen in der [X.] eingesetzten Geräten tatsächlich ohne Betriebsanleitungen ausgeliefert wurden, aus denen der prinzipielle Aufbau und die für einen ordnungsgemäßen Betrieb notwendige Luftführung erkennbar war.

Denn mit der Lieferung der [X.]age an Dritte hatte ein unbegrenzter Personenkreis, etwa andere Sachverständige, nämlich bspw. Mitbewerber auf dem Gebiet der [X.] Gelegenheit, die [X.]age und insbesondere den [X.] auf ihren bzw. seinen Aufbau zu untersuchen. [X.]ass für derartige Untersuchungen bestand für diese Fachkreise schon deswegen, weil mit der von der [X.] bzw. [X.]-EU/ [X.]-JP angebotenen [X.]age mit dem [X.]-[X.]-System die Wafer bei den [X.] an den Chips bis auf -40°C gekühlt werden konnten, was ein Alleinstellungsmerkmal dieser [X.]age darstellte, und weil bspw. für die Qualifikation von Chips für den Automobilbereich hoher Bedarf an entsprechenden [X.]n bestand. Angesichts dessen ist von einem erheblichen Interesse anderer Sachverständiger wie bspw. der Mitbewerber auszugehen, den Aufbau dieser [X.]age zu untersuchen, um zu ermitteln, durch welche Maßnahmen der für den Chip genannte Temperaturbereich erreicht wird.

Der Offenkundigkeit der Lehre steht dabei nicht entgegen, dass für das Ermitteln des Aufbaus der [X.]age eine teilweise Demontage und insbesondere ein Entfernen des thermischen Isolationsschaums im [X.] erforderlich waren. Denn mit einem Kauf der [X.]age hatten die vorgenannten Sachverständigen wie bspw. Mitbewerber die Möglichkeit, die [X.]age ohne jegliche Einschränkungen (d. h. insbesondere ohne Rücksichtnahme auf den [X.]agenbetrieb und die [X.] eines Reinraums) zu untersuchen, denn es genügt für die öffentliche Zugänglichkeit bereits die bloße Möglichkeit, die Informationen aufzunehmen und zu verstehen. Nicht erforderlich ist hingegen, dass dies auch tatsächlich geschieht, wie vorliegend bspw. durch den Sachverständigen mit dem Gerät der Firma  [X.]. Dabei erforderte die Untersuchung auch keinen größeren Aufwand, denn sie besteht lediglich im Nachvollziehen des apparativen Aufbaus und der Leitungsführung der [X.]age, wie der Bericht des Sachverständigen zeigt. Allein diese Maßnahmen reichten aus, unmittelbaren Aufschluss über die Ausbildung der [X.]age zu erlangen (vgl. dazu [X.] 1986, 372-375, [X.]. 20, 24 und 26 – „[X.]“ m. w. N.; [X.] EPÜ, 2. Aufl., Art. 54 Rdnr. 86ff. m. w. N.).

Angesichts der vorangehend im Einzelnen dargelegten Umstände konnten die eingangs genannten Gegenargumente der [X.] nicht überzeugen. Hinsichtlich des Arguments, bereits die Seriennummern der gelieferten Geräte wiesen diese als Vorseriengeräte aus, wird ergänzend zu den obigen Ausführungen auf die nachvollziehbare, detaillierte Aussage des [X.] verwiesen, derzufolge es sich auch bei der „[X.] um fertig konfektionierte Geräte und nicht um eine Vorserie oder Experimentalserie gehandelt hat.

Die Gegenstände der Ansprüche 1 und 5 des Anspruchssatzes nach dem Hauptantrag und die der Ansprüche 1 und 5 der Anspruchssätze nach den [X.] 1 und 2 sind somit offenkundig vorbenutzt und damit nicht neu ([X.] § 3 Satz 2).

5.7 Die [X.] 2 bis 4 und 6 bis 10 des [X.] nach dem Hauptantrag sowie der Anspruchssätze nach den [X.] 1 und 2 fallen schon wegen der Antragsbindung mit dem Anspruch 1 bzw. dem Anspruch 5 (vgl. [X.] 2007, 862, Leitsatz i. V. m. Abschnitt [22] – „Informationsübermittlungsverfahren II“). Die Patentinhaberin hat für diese Ansprüche im Übrigen auch keinen eigenständigen erfinderischen Gehalt geltend gemacht, und auch dem Senat ist ein solcher nicht ersichtlich.

Bei dieser Sachlage war das Patent für nichtig zu erklären.

Die Kostenentscheidung beruht auf § 84 Abs. 2 [X.] i. V. m. § 91 Abs. 1 Satz 1 ZPO. Die Entscheidung über die vorläufige Vollstreckbarkeit folgt aus § 99 Abs. 1 [X.], § 709 Satz 1 und 2 ZPO.