Bundespatentgericht, Urteil vom 22.01.2015, Az. 2 Ni 7/12 (EP)

Die Beklagte ist eingetragene Inhaberin des am 19. April 2005 in der [X.] angemeldeten [X.] Patents [X.]P 1 741 130 (Streitpatent) mit der Bezeichnung „Vorrichtung und Verfahren für die Bearbeitung eines Substrats in der Halbleitertechnik sowie System, das eine Vorrichtung für die Bearbeitung eines Substrates umfasst“, für das die Priorität der Anmeldung [X.] 10 2004 019 732 vom 20. April 2004 in Anspruch genommen wird.

unabhängigen Patentansprüche 1, 5, 6 und 8 lauten in der erteilten Fassung wie folgt:

1. Vorrichtung für die Bearbeitung eines Substrats (2, 3) in der Halbleitertechnik, insbesondere eines Wafers oder einer Glasplatte mit einer [X.] (1, 4), in welcher eine Substratprozessierung stattfindet, sowie einem [X.] für den Transport eines einzelnen Substrates von einer [X.]ingangsstation in die [X.] (1, 4) und zu einer Ausgangsstation, dadurch gekennzeichnet, dass eine [X.] vorgesehen ist, die einen Hilfshandhabungsroboter (5) zum Transport eines Substrates (2, 3) von der [X.] (1, 4) in die [X.] umfasst, und dass der [X.] dazu ausgelegt ist, ein Substrat (2, 3) von der [X.]ingangsstation in die [X.] und von der [X.] in die Ausgangsstation zu befördern.

5. System bestehend aus einer Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche sowie einer [X.]ingangsstation und einer Ausgangsstation, die insbesondere als Trocknungseinheit ausgebildet ist.

6. Verfahren zur Bearbeitung eines Substrats (2, 3) in der Halbleitertechnik, bei welchem das Substrat mit einem [X.] von einer [X.]ingangsstation in eine [X.] (1, 4) und nach der Prozessierung in der [X.] (1, 4) in eine Ausgangsstation transportiert wird, dadurch gekennzeichnet, dass nach der Prozessierung des Substrats in der [X.] (1, 4) das prozessierte Substrat in eine [X.] gebracht wird, dass mittels des [X.]s die [X.] (1, 4) mit einem neuen Substrat (3) beladen wird, und dass daran anschließend mit dem [X.] das zuvor prozessierte Substrat (2) aus der [X.] in die Ausgangsstation transportiert wird.

8. Anwendung des Verfahrens nach Anspruch 6 oder 7 für einen Substratbelackungsprozess, bei welchem in der [X.] (1, 4) eine Substratbelackung, insbesondere mittels eines Spinbelackers und in der Ausgangsstation eine Lacktrocknung, insbesondere mittels eines Trocknungsofens stattfindet.

Hinsichtlich des Wortlauts der weiteren, auf Anspruch 1 unmittelbar oder mittelbar rückbezogenen [X.] 2 bis 4 sowie des auf Anspruch 6 rückbezogenen Unteranspruchs 7 wird auf die [X.] Bezug genommen.

Mit ihrer gegen die zum [X.]punkt der Klageerhebung im [X.] als Inhaberin eingetragenen [X.], [X.] gerichteten Nichtigkeitsklage macht die Klägerin den [X.] der fehlenden Patentfähigkeit geltend. Unter Berufung auf die von ihr zum Stand der Technik vorgelegten Unterlagen und Druckschriften

A0 [X.] 741 130 B1

[X.] Produktinformation „auf [X.] 804“

[X.] Angebot über die [X.] 804 von [X.] an die [X.]… [X.] zum [X.] Sales meeting

[X.] Präsentation zum [X.] Sales Meeting

A5 Präsentation zum [X.]… Sales Meeting

A6 weitere Präsentation zum [X.]… Sales meeting über Covered [X.]

[X.] weitere Präsentation zum [X.] über [X.] 804

[X.] Zeichnung der [X.] zum [X.] 802

[X.] [X.]P 0 634 6991 [X.]

[X.]0 Anzahlungsrechnung zu [X.] 804

[X.] Auftragsbestätigung zu [X.] 804

[X.]2 [X.] 37 19 952 [X.] und

[X.]3 Aufnahme der [X.] 804 auf der Messe [X.] in [X.]

sowie unter Benennung mehrerer Zeugen macht sie geltend, dass vor dem [X.] seitens der Fa. [X.] GmbH, [X.], eine Anlage mit der Bezeichnung „[X.] 804“ der Firma [X.]… angeboten und verkauft worden sei gemäß den Anlagen [X.], [X.], [X.]0 und [X.], wobei auch die Produktinformation [X.] vorgelegt worden sei. Die Anlage [X.] 804 weise alle Merkmale der Vorrichtung nach Anspruch 1 des [X.] auf und arbeite entsprechend dem Verfahren nach Anspruch 6 des [X.] - was sich auch aus der Produktinformation [X.], Seite 2 ergebe, so dass diese Vorrichtung und dieses Verfahren nicht neu seien.

Ferner sie die Anlage [X.] 804 bei dem [X.] meeting in [X.], welches in der [X.] vom 15. - 16. April 2004 stattgefunden habe und an dem die Firma [X.] teilgenommen habe, gemäß den Anlagen [X.] und [X.] vorgestellt worden. [X.]ine weitere offenkundige Vorbenutzung habe bei dem vor dem [X.] Sale meeting durchgeführten [X.]… meeting stattgefunden, an dem Kunden teilgenommen hätten und bei dem der Covered [X.] gemäß Anlage 6 und die [X.] 804 gemäß Anlage [X.] vorgestellt worden seien.

Ferner sei die Anlage [X.] 804 auf der Messe [X.] auf einem Stand der [X.] in [X.] ausgestellt gewesen, wobei das Foto gemäß Anlage [X.] am 20.04.2004 auf der Messe aufgenommen worden sei. Die [X.] 804 sei jedoch bereits am 19. April 2004 der Öffentlichkeit zugänglich gewesen, da die Messe vom 19. April bis 21. April gedauert habe und die Messestände alle bereits vor der [X.]röffnung vollständig aufgebaut gewesen seien. Die [X.] 804 sei weiterhin auch auf der Messe Productronica 2003 in [X.] von [X.] ausgestellt worden. Die Besucher des Messestandes seien als References auf S. 19 der Anlage A5 aufgeführt.

Außerdem offenbare die Druckschrift [X.] eine Vorrichtung mit allen Merkmalen des Anspruch 1 des [X.]. Weiterhin beruhe das Verfahren nach Anspruch 6 gegenüber dem Stand der Technik gemäß der Druckschrift [X.] in Kombination mit der Druckschrift [X.]2 nicht auf einer erfinderischen Tätigkeit.

Die Gegenstände der [X.] seien aus der Druckschrift [X.] bekannt bzw. für den Fachmann durch diese nahegelegt.

Die Anwendung des Verfahrens nach Anspruch 7 entspreche der Arbeitsweise der [X.] 804, so dass diese Anwendung im Hinblick auf die Arbeitsweise der [X.] 804 nicht neu sei. Außerdem beruhe der Gegenstand des Anspruchs 8 auch nicht auf einer erfinderischen Tätigkeit gegenüber dem Stand der Technik gemäß der Druckschrift [X.].

Die Klägerin beantragt sinngemäß,

das [X.] Patent [X.]P 1 741 130 mit Wirkung für das Hoheitsgebiet die [X.] für nichtig zu erklären.

Die Beklagte beantragt,

die Klage abzuweisen;

hilfsweise beantragt sie, dem Streitpatent eine der Fassungen der Hilfsanträge 1 und 2, vorgelegt in der mündlichen Verhandlung zu geben.

Hilfsantrag 1

Hilfsantrags 1 lauten (mit markierten Änderungen gegenüber den Patentansprüchen 1 und 6 in der erteilten Fassung):

ausschließlich von der [X.] (1, 4) in die [X.] umfasst, und dass der [X.] dazu ausgelegt ist, ein Substrat (2, 3) von der [X.]ingangsstation in die [X.] und von der [X.] in die Ausgangsstation zu befördern.

6. Verfahren zur Bearbeitung eines Substrats (2, 3) in der Halbleitertechnik, bei welchem das Substrat (2, 3) mit einem [X.] von einer [X.]ingangsstation in eine [X.] (1, 4) und nach der Prozessierung in der [X.] (1, 4) in eine Ausgangsstation transportiert wird, dadurch gekennzeichnet, dass nach der Prozessierung des Substrats in der [X.] (1, 4) das prozessierte Substrat mit einem Hilfshandhabungsroboter in eine [X.] gebracht wird, wobei der Hilfshandhabungsroboter nur diese Bewegung lediglich das [X.] zwischen [X.] und [X.] ausführt, dass mittels des [X.]s die [X.] (1, 4) mit einem neuen Substrat (3) beladen wird, und dass daran anschließend mit dem [X.] das zuvor prozessierte Substrat (2) aus der [X.] in die Ausgangsstation transportiert wird.

Hilfsantrag 1 entsprechen den erteilten Ansprüchen 2 bis 5 sowie 7 und 8.

Hilfsantrag 2 unterscheidet sich gegenüber der Fassung nach Hilfsantrag lediglich dadurch, dass die Ansprüche 6 bis 8 gestrichen wurden.

Die Beklagte tritt den Ausführungen der Klägerin in allen Punkten entgegen. Sie macht geltend, die Lehre des [X.] sei der Fachwelt nicht bzw. nicht vor dem [X.] des [X.] durch die geltend gemachten Vorbenutzungen offenbar geworden und verweist hierzu auf die Dokumente

B1 Rechnung 2004/1028 an die Fa. [X.]… zur [X.] 3010/1 über ein Gerät „[X.] 804+ inkl. Covered [X.] system und 2 Stk. Wafer Booster Option

B2 Foto eines Geräts „[X.] 804“ auf der „[X.] 2004“ am 22. April 2004, 9:09 Uhr

B3 Kopie eines Timetable der Firma [X.] zur [X.] 2004, aus der die Ausstellungstage hervorgehen

B4 Foto des Messestandes der Fa. [X.] auf der [X.] 2004 am 19. April 2004, 18:37 Uhr.

Außerdem könne auch der druckschriftliche Stand der Technik gemäß den Anlagen [X.] und [X.]2 die Patentfähigkeit der Gegenstände des [X.] nicht in Frage stellen. Das Streitpatent sei daher patentfähig; jedenfalls in einer der Fassungen der Hilfsanträge.

Nach [X.]röffnung des Insolvenzverfahrens über das Vermögen der [X.] durch Beschluss des Amtsgerichts - Insolvenzgericht - [X.] vom 27. Dezember 2012 ([X.].: …) wurde das Streitpatent auf die Beklagte übertragen. Mit Schriftsatz vom 1. Juli 2013 ([X.]. 125 d.A.) wurde die Aufnahme des Verfahrens erklärt sowie die Übernahme des Verfahrens durch die Beklagte als Rechtsnachfolgerin angezeigt. Dazu erklärte die Klägerin mit Schriftsatz vom 25. Juli 2013 ([X.]. 128 a) ihr [X.]inverständnis.

Wegen der weiteren [X.]inzelheiten des Vorbringens der Beteiligten wird auf den Akteninhalt verwiesen.

Die Klage ist zulässig. Die Beklagte hat das Verfahren auf [X.]seite von der [X.], [X.], gegen welche die Klage als zum Zeitpunkt der Klageerhe-bung im [X.] eingetragene Inhaberin die Klage zur richten war (§ 81 Abs. 1 Satz 2 [X.]), wirksam übernommen, nachdem das Streitpatent nach Eröffnung des Insolvenzverfahrens über das Vermögen der [X.] auf die Beklagte übertragen worden ist, diese nach Aufnahme des nach § 99 Abs. 1 [X.] i. V. m. § 240 ZPO unterbrochenen Verfahrens durch die Insolvenzverwalterin und mit deren Zustimmung in das Verfahren eingetreten ist (Schriftsatz vom 1.07.2013, [X.]. 125 d.A.) und die Klägerin der Übernahme des Verfahrens durch die Beklagte mit Schriftsatz vom 25. Juli 2013 ([X.]. 128 a d.A.) zugestimmt hat (§ 99 Abs. 1 [X.] i. V. m. § 265 Abs. 2 Satz 2 ZPO).

Hilfsantrag 1 hinausgeht. [X.] erweist sich in der erteilten Fassung als nicht patentfähig. Die mit Hilfsantrag 1 verteidigte Fassung der Patentansprüche ist dagegen zulässig und wird dem Fachmann durch den Stand der Technik weder offenbart noch nahegelegt. In dieser Fassung ist das Streitpatent somit patentfähig und die Klage daher insoweit unbegründet.

neuen Hilfsanträge 1 und 2 waren nicht als verspätet zurückzuweisen.

Zwar fällt die Verteidigung mit einer geänderten Fassung des Patents ausdrücklich unter die Präklusionsvorschrift des § 83 Abs. 4 Satz 1 [X.], [X.]n sie wie hier von der [X.] erst nach Ablauf der nach § 83 Abs. 2 Satz 1 [X.] gesetzten Frist vorgebracht wird. Eine Zurückweisung als verspätet kommt jedoch hier nicht in Betracht, da die geänderten Anträge der [X.] ohne weiteres in die mündliche Verhandlung einbezogen werden konnten.

ausschließlich zum Transport eines Substrates von der [X.] in die [X.]“ - wie in Anspruch 1 nach Hilfsantrag gemäß Schriftsatz vom 19.12.2014 beschrieben -, sondern allenfalls - was von der [X.] auch erkennbar gemeint war - einen „Hilfshandhabungsroboter zum Transport eines Substrates ausschließlich von der [X.] in die [X.]“ offenbaren. Dementsprechend war auch Anspruch 6 nach Hilfsantrag 1 in der mit Schriftsatz vom 19. Dezember 2014 vorgelegten Fassung dahingehend (geringfügig) zu ändern, dass der Hilfshandhabungsroboter nicht nur diese (Transport)Bewegung, sondern - wie die Beklagte es in ihrem in der mündlichen Verhandlung vorgelegten Hilfsantrag 1 bezeichnet hat - das „[X.] zwischen [X.] und [X.] ausführt“.

1. [X.] betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Bearbeitung eines Substrates in der Halbleitertechnik nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 bzw. 6 sowie ein System, das eine Vorrichtung für die Bearbeitung eines Substrats umfasst.

In der Halbleitertechnik spielen Prozesszeiten für die Bearbeitung von Substraten, z. B. Wafern oder Glasplatten (letztere bspw. bei der Herstellung von Flüssigkristallbildschirmen) vor dem Hintergrund des zunehmenden Preisdrucks eine bedeutende Rolle. Dementsprechend ist in modernen Halbleiterfabrikationen ein Großteil der Prozesse insbesondere unter Einsatz von Handhabungsrobotern automatisiert, um rationell fertigen zu können.

Ein Beispiel hierfür ist die Beschichtung von Substraten mit einem flüssigen Medium, wie beispielsweise [X.]. Bei einem solchen Belackungsvorgang wird in einem automatisierten Ablauf ein zu beschichtendes Substrat von einem [X.] (single handling roboter) aufgenommen und in eine [X.] zum [X.]inbelacken des Substrats verbracht. In dieser wird das Substrat auf einer Unterlage abgelegt und an dieser angesaugt, von oben die Flüssigkeit (also bspw. der Lack) auf das Substrat aufgetropft und dieses dann in eine hohe Umdrehungszahl versetzt, so dass der Lack beim [X.] eine gleichmäßig dünne Schicht auf dem Substrat bildet. Danach wird das Substrat vom [X.] wieder aufgenommen und in eine Trocknungseinheit transportiert, in welcher das aufgebrachte Medium für eine Weiterprozessierung getrocknet wird.

Da bei einem solchen Prozess die Substrate jeweils aufeinanderfolgend transportiert und prozessiert werden, addieren sich bei der Prozessierung einer ganzen Charge von Substraten die Transport- und Prozesszeiten für die einzelnen Substrate, so dass die Behandlung der Charge insgesamt beachtliche Zeit in Anspruch nehmen kann, wobei ein Großteil dieser Dauer auf die Zeiten für den Substrattransport entfällt.

2. Dem Streitpatent liegt als technisches Problem die Aufgabe zugrunde, den Prozessablauf für die Bearbeitung eines Substrats, das während des Prozesses mit einem Handhabungssystem befördert wird, weiter zu optimieren, vgl. im Streitpatent insoweit die Abschnitte [0001] bis [0007].

dem [X.]“ statt „mit dein [X.]):

Anspruch 1:

[X.] „Vorrichtung für die Bearbeitung eines Substrats (2, 3) in der Halbleitertechnik, insbesondere eines Wafers oder einer Glasplatte

[X.] mit einer [X.] (1, 4), in welcher eine Substratprozessierung stattfindet sowie

[X.] einem [X.] für den Transport eines einzelnen Substrates von einer [X.] in die [X.] (1, 4) und zu einer Ausgangsstation,

dadurch gekennzeichnet , dass

M4 eine [X.] vorgesehen ist,

M5 die einen Hilfshandhabungsroboter (5) zum Transport eines Substrates (2, 3) von der [X.] (1, 4) in die [X.] umfasst,

[X.] und dass der [X.] dazu ausgelegt ist, ein Substrat (2, 3) von der [X.] in die [X.] und von der [X.] in die Ausgangsstation zu befördern.“

Anspruch 5:

„System bestehend aus einer Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche sowie einer [X.] und einer Ausgangsstation, die insbesondere als Trocknungseinheit ausgebildet ist.“

Anspruch 6:

M7 „Verfahren zur Bearbeitung eines Substrats (2, 3) in der Halbleitertechnik,

M8 bei welchem das Substrat mit einem [X.] von einer [X.] in eine [X.] (1, 4) und nach der Prozessierung in der [X.] (1, 4) in eine Ausgangsstation transportiert wird,

dadurch gekennzeichnet,

M9 dass nach der Prozessierung des Substrats in der [X.] (1, 4) das prozessierte Substrat in eine [X.] gebracht wird,

[X.]0 dass mittels des [X.]s die [X.] (1, 4) mit einem neuen Substrat (3) beladen wird,

[X.]1 und dass daran anschließend mit dem [X.] das zuvor prozessierte Substrat (2) aus der [X.] in die Ausgangsstation transportiert wird.“

Anspruch 8:

„An[X.]dung des Verfahrens nach Anspruch 6 oder 7 für einen Substratbelackungsprozess, bei welchem in der [X.] (1, 4) eine Substratbelackung, insbesondere mittels eines [X.]inbelackers und in der Ausgangsstation eine Lacktrocknung, insbesondere mittels eines Trocknungsofens stattfindet.“

3. [X.] geht von einer Vorrichtung für die Bearbeitung eines Substrats in der Halbleitertechnik, insbesondere eines Wafers oder einer Glasplatte aus, die eine [X.], in welcher eine Substratprozessierung stattfindet, sowie einen [X.] für den Transport eines einzelnen Substrats von einer [X.] in die [X.] und zu einer Ausgangsstation aufweist. Der wesentliche Aspekt des Streitpatents liegt darin, dass eine [X.] vorgesehen ist, die einen Hilfshandhabungsroboter zum Transport eines Substrates von der [X.] in die [X.] umfasst, und dass der [X.] dazu ausgelegt ist, ein Substrat von der [X.] in die [X.] und von der [X.] in die Ausgangsstation zu befördern.

Durch diese Ausgestaltungsmaßnahmen wird es möglich, den Durchsatz des Gerätes durch die [X.] zu erhöhen. Denn sobald ein fertig prozessiertes Substrat in der [X.] liegt, kann die [X.] mit dem [X.] schon wieder mit einem neuen Substrat beladen werden, das dann in der [X.] bearbeitet werden kann, während der [X.] das zuvor prozessierte Substrat in die Ausgangsstation bringt. Nach Ablegen des Substrats in der Ausgangsstation kann der [X.] sofort wieder ein neues Substrat für das Verbringen in die [X.] aufnehmen und dieses dort ablegen, nachdem der Hilfshandhabungsroboter die [X.] frei gemacht hat. Dieses wird dann in einem neuen Zyklus entsprechend prozessiert, während das zuvor bearbeitete Substrat mittels des [X.] in die Ausgangsstation transportiert wird. Durch dieses Parallelisieren von einzelnen Prozessschritten ist eine nicht unerhebliche Zeitersparnis im Prozessablauf möglich, wobei nach wie vor nur ein [X.] erforderlich ist, der Substrate von der [X.] in die Ausgangsstation befördern kann.

Der Hilfshandhabungsroboter muss lediglich ein [X.] zwischen [X.] und [X.] ausführen können, womit dieser im Vergleich zum [X.] deutlich einfacher ausgeführt werden kann. Damit ist die erfindungsgemäße Vorrichtung mit der damit gewonnenen Zeitersparnis durch Parallelisierung auch im Hinblick auf die hierfür erforderlichen geringen Investitionen attraktiv, vgl. im Streitpatent die Abschnitte [0011] und [0012].

Diese Vorteile ergeben sich insbesondere, [X.]n es sich bei der Vorrichtung um eine [X.] handelt. In diesem Fall ist die [X.] vorzugsweise in Form einer [X.]in-Belackungseinheit ausgebildet. Ein Komplettsystem umfasst vorzugsweise die soeben erläuterte Vorrichtung sowie eine [X.] und eine Ausgangsstation, die insbesondere als Trocknungseinheit ausgebildet ist.

Trotz Einsatz eines Single-Handling-Roboters für den Substrattransport von der [X.] in eine Ausgangsstation (Trocknungseinheit) lassen sich in diesem Fall die Prozesszeiten um 10 bis 40 % herabsetzen, vgl. Abschnitt [0013] des Streitpatents.

Fachmann ist ein Diplom-Ingenieur der Elektrotechnik oder der Verfahrenstechnik mit Hochschul- oder Fachhochschulabschluss anzusehen, der mit der Entwicklung von Anlagen zur Prozessierung von Substraten der Halbleitertechnik betraut und in einem Betrieb zur Herstellung solcher Anlagen tätig ist sowie über mehrere Jahre Berufserfahrung in dieser [X.]arte verfügt.

1. [X.] erweist sich in der erteilten Fassung nicht als patentfähig, denn die Druckschrift [X.] steht der Vorrichtung nach Anspruch 1 des Streitpatents neuheitsschädlich entgegen.

Die Druckschrift [X.] offenbart in den Worten des erteilten Anspruchs 1 eine Vorrichtung für die Bearbeitung eines Substrats in der Halbleitertechnik, in der in einer [X.] eine Substratprozessierung stattfindet (Merkmale [X.] und [X.]). Im vorliegenden Fall besteht die [X.], in der eine Substratprozessierung stattfindet, aus einem Belackungsteil 

In den Worten des Anspruchs 1 umfasst die Vorrichtung nach der Druckschrift [X.] weiterhin einen Einzelsubstrathandhandhabungsroboter für den Transport eines einzelnen Substrates von einer [X.] in die [X.] und zu einer Ausgangsstation, nämlich einen Roboter für den Transport jeweils eines einzelnen Wafers von einer [X.] in die [X.] und zu einer Ausgangsstation (Merkmale [X.] und [X.]). Denn zum Transport der einzelnen Wafer sind zwei [X.] 

Mit der [X.] 

Damit weist die Vorrichtung nach der Druckschrift [X.] alle Merkmale der Vorrichtung nach dem erteilten Anspruch 1 auf; diese ist somit nicht neu.

Die von der [X.] vorgetragenen Argumente konnten nicht zu einer anderen Beurteilung führen. Zum Einen lässt sich aus dem [X.] im Gegensatz zur Auffassung der [X.] nicht herleiten, dass mit dem Begriff „[X.]“ nur eine einzige Prozesseinrichtung gemeint ist. Vielmehr bezeichnet die Angabe „[X.] (1, 4), in welcher eine Substratprozessierung stattfindet“ im Merkmal [X.] ganz allgemein jegliche Arten von [X.]en, in denen eine Substratprozessierung durchgeführt wird, darunter auch solche, in denen - wie in der Halbleitertechnik üblich - mehrere Prozesseinrichtungen hintereinander angeordnet sind, die jeweils eine Substratprozessierung durchführen und somit in ihrer Gesamtheit eine [X.] bilden.

In ähnlicher Weise gilt dies im Hinblick auf den Begriff „[X.]“. Denn dieser bezeichnet lediglich die Eigenschaft des Handhabungsroboters, dass er jeweils einzelne Substrate handhabt (und nicht bspw. ganze Chargen von Wafern auf einmal). Insofern stellt der in der Druckschrift [X.] offenbarte [X.] 

2. Mit dem Anspruch 1 fallen wegen der Antragsbindung sowohl die weiteren selbständigen Ansprüche 5, 6 und 8 als auch die [X.] 2 bis 4 und 7, vgl. [X.], 862 – Informationsübermittlungsverfahren II“.

3. Mit den Patentansprüchen nach dem 1. Hilfsantrag hat das Patent hingegen Bestand.

ausschließlich von der [X.] in die [X.] umfasst“ bzw. „dass nach der Prozessierung des Substrats in der [X.] (1, 4) das prozessierte Substrat mit einem Hilfshandhabungsroboter in eine [X.] gebracht wird, wobei der Hilfshandhabungsroboter lediglich das [X.] zwischen [X.] und [X.] ausführt“, sind zulässig. Sie beschränken den Schutzumfang des Patents und sind in der Patentschrift in [X.]. 2, Zeilen 33 bis 35 bzw. in den ursprünglichen Unterlagen im Abschnitt [0011] der zugehörigen Offenlegungsschrift offenbart.

Die übrigen Ansprüche dieses Anspruchssatzes sind gegenüber denen des erteilten Anspruchssatzes unverändert und ebenfalls zulässig.

3.2 Die in den Ansprüchen 1 und 6 nach dem 1. Hilfsantrag gegebene Lehre ist außerdem neu und beruht auch auf einer erfinderischen Tätigkeit des Fachmanns.

ausschließlich von der [X.] in die [X.] bzw. zum [X.] lediglich zwischen [X.] und [X.].

Die außerdem von der Klägerin genannte Druckschrift [X.] offenbart eine Einrichtung zur Behandlung von Wafern, die mehrere Behandlungsplätze aufweist, so dass parallel zueinander stets mehrere Wafer prozessiert werden können. Um den Durchsatz der Anlage an den der Fertigungslinie anzupassen, wird in zyklischer Vertauschung jeweils einer der Behandlungsplätze mit einem Wafer beschickt, während in den übrigen [X.] Wafer prozessiert werden. Die [X.] und -Handhabungsvorrichtung der Anlage ist dement-sprechend so ausgebildet, dass sie unmittelbar aufeinanderfolgend einen fertiggestellten Wafer aus einer [X.] entnehmen und einen noch unbehandelten Wafer in diese einbringen kann und diese Vorgänge an allen [X.]en wiederholen kann. Die Wafer-Handhabungsvorrichtung 

3.3 Rein vorsorglich wird darauf hingewiesen, dass auch der von der Klägerin eingereichte Prospekt gemäß der Druckschrift [X.] die Patentfähigkeit der Gegenstände des Streitpatents nicht in Frage stellen könnte.

Dieser Prospekt wurde von der Klägerin als Beleg für die offenkundige Vorbenutzung durch die Firma [X.] vorgelegt, könnte jedoch unabhängig davon ange-sichts seines Charakters als Prospekt auch für sich genommen als der Öffentlichkeit zugängliches Dokument angesehen werden. Selbst [X.]n dabei man angesichts des auf S. 2 dieses Dokuments seitlich aufgedruckten Datums „[X.]: [X.] 804 112003“ unterstellt, dass dieser Prospekt der Öffentlichkeit vor dem für das Streitpatent maßgeblichen Zeitrang zugänglich war (was weder behauptet noch nachgewiesen worden ist), kann dieser jedoch die Patentfähigkeit der Gegenstände des Streitpatents mangels einer geeigneten Offenbarung nicht in Frage stellen.

Denn die Druckschrift zeigt zwar eine Vorrichtung für die Bearbeitung eines Substrats in der Halbleitertechnik in Form eines [X.] vom Typ „[X.] 804“, das eine Eingangs- und eine Ausgangsstation, eine [X.] und einen Einzelwafer-Handhabungsroboter aufweist

3.4 Der Gegenstand des Streitpatents ist der Öffentlichkeit auch nicht vor dem [X.] durch Benutzung oder mündliche Beschreibung zugänglich gemacht worden.

Auch [X.]n das tatsächliche Vorbringen der Klägerin zu den [X.] oder [X.] in Zusammenhang mit Angebot und Verkauf bzw. der Präsentation und Ausstellung einer Anlage mit der Bezeichnung „[X.] 804“ sowie der Inhalt der dazu vorgelegten Anlagen [X.] bis [X.] sowie [X.]0, [X.] und [X.]3 als wahr unterstellt wird - so dass es insoweit auch keiner weiteren Aufklärung bzw. einer Beweisaufnahme durch Vernehmung der seitens der Klägerin benannten Zeugen bedarf - , führt dies nicht dazu, die Patentfähigkeit des Streitpatents in Zweifel zu ziehen.

Zur Darlegung einer offenkundigen Vorbenutzung bedarf es konkreter Angaben darüber, was wo, wann, wie und durch [X.] geschehen ist, sowie der Darlegung der öffentlichen Zugänglichkeit des [X.] mit der Möglichkeit der Nachbenutzung durch andere, insbesondere Sachkundige (vgl. [X.], [X.], 10. Aufl., § 3 Rdnr. 70).

Daran fehlt es vorliegend. Weder dem Vortrag der Klägerin zu den geltend gemachten [X.] oder [X.] noch den zum Beleg vorgelegten Dokumenten und Unterlagen gemäß den Anlagen [X.] bis [X.] sowie [X.]0, [X.] und [X.]3 lassen sich Hinweise darauf entnehmen, dass die unter der Bezeichnung „[X.] 804“ vertriebenen bzw. präsentierten Anlagen überhaupt von der streitpatentgemäßen Lehre der Ansprüche 1 und 6 hinsichtlich der [X.] und des [X.] Gebrauch gemacht haben

3.4.1 So enthält das in Zusammenhang mit der Lieferung einer „[X.] 804“ an die Firma [X.] von der Klägerin als Anlage [X.] vorgelegte Angebot „3010/1“ der Firma [X.] an die [X.] GmbH vom 15. April 2003 über eine „[X.] 804+ Microsystem“ („Automatic [X.]in Coating System with Hotplates for wafers up to 8‘‘ or substrates up to 6‘‘ to 6‘‘“) keinerlei weitere Angaben, aus denen der Aufbau und die Funktionsweise der Anlage und/oder des [X.] erkennbar wäre. Es enthält auch keine Angaben darüber, dass dem Angebotsschreiben weitere Unterlagen als Anlagen beigefügt waren.

Soweit die Klägerin zum Aufbau des vertragsgegenständlichen Geräts „[X.] 804“ auf die als Anlage [X.] vorgelegte Produktinformation verweist, enthält auch dieser Prospekt keine technischen Informationen, welche Aufschluss darüber geben könnten, ob dieses Angebot eine Anlage zum Prozessieren von Substraten entsprechend der Lehre des Streitpatents zum Gegenstand hatte. Dieser Prospekt, der - wie oben schon erwähnt - am Rand der letzten Seite die aufgedruckte Angabe „Product info: [X.] 804 112003“ trägt, enthält im Wesentlichen ein Übersichtsfoto, eine verkleinerte zeichnerische Darstellung [X.] mit den Behandlungsanlagen, Zeichnungen bzw. Darstellungen einzelner Bestandteile des Geräts und stichwortartig zusammengefasste Informationen zu den Charakteristika des Geräts. Mangels entsprechender Erläuterungen ergeben sich hieraus aber keine Informationen über den genauen technischen Aufbau des Geräts und das Zusammenwirken seiner Bestandteile im Sinne der Lehre des Streitpatents. Insbesondere lässt dieses Dokument weder die Existenz einer [X.] und eines [X.] erkennen, noch kann ihm die Arbeitsweise solcher Einrichtungen entnommen werden.

Dies gilt auch in Bezug auf die als Anlage [X.] vorgelegte technische Zeichnung. Denn abgesehen davon, dass Anlage [X.] ein Gerät vom Typ „[X.] 802“ und somit schon einen anderen Gerätetyp zeigt als eine „[X.] 804“, für die die Vorbenutzung geltend gemacht worden ist, ergeben sich auch aus dieser Zeichnung mangels geeigneter Erläuterungen keine Informationen zum Aufbau und zur Arbeitsweise des Gerätes, insbesondere nicht zur Ausrüstung mit einer [X.] und einem Hilfshandhabungsroboter sowie deren Arbeitsweise gemäß der Lehre des Streitpatents. Im Übrigen ist auch unklar, ob und ggfs. wann diese typischerweise nur für firmeninterne Zwecke gedachten Zeichnungen der Öffentlichkeit zugänglich gemacht worden sind.

Die Anlage [X.]0 gibt die „Anzahlungsrechnung Nr. 3010“ der Firma [X.] vom 22. September 2003 an die [X.] GmbH wieder, mit der die [X.] zur Zahlung eines Betrages von 87.000 Euro aufgefordert wurde. Diese Anlage enthält jedoch keinerlei technische Informationen, so dass sie lediglich belegt, dass die Firma … im Zeitraum September 2003 eine „[X.] 804“ mit Zubehör bei der Firma [X.] bestellt hat.

Konnte die Fachwelt aber den vorgelegten Dokumenten die Einzelheiten des Aufbaus des Geräts und damit die Lehre des Streitpatents nicht entnehmen und fehlt es darüber hinaus auch an Vortrag der Klägerin, welche Rolle die Anlagen [X.] und [X.] beim Verkauf der Anlage an die Firma [X.] gespielt haben, bspw. ob die in Rede stehenden Merkmale anhand der Anlagen [X.] und [X.] bei den Verkaufsgesprächen mit der Firma [X.] erläutert worden sind, bieten sich für den Senat keine Anhaltspunkte dafür, dass die Öffentlichkeit und damit die Fachwelt zum Prioritätszeitpunkt des Streitpatents im Zusammenhang mit dem Verkauf einer “[X.] 804“ an die Firma [X.] Kenntnis von der in den Ansprüchen unter Schutz gestellten Lehre erlangen konnte.

Insoweit ist auch noch zu beachten, dass die Firma [X.] zu der „Anzahlungsrech-nung Nr. 3010“ am selben Tag eine „Auftragsbestätigung Nr. 3010/1“ entsprechend der Anlage [X.]1 erstellt hat, in der der Firma [X.] als Liefertermin für die bestellte „[X.] 804“ der 18. Februar 2004 und als Termin für die Inbetriebnahme bei [X.] der Zeitraum bis zum 25. Februar 2004 genannt wird.

Gemäß der Anlage [X.] der [X.] (Rechnung 2004/1028 vom 30. Juni 2004 zur Auftrags Nr. 3010/1) hat die Firma [X.] der Firma [X.] den bei Lieferung des Geräts zu zahlenden zweiten Teilbetrag jedoch erst am 15. Juni 2004 und den bei Installation zu zahlenden dritten und letzten Teilbetrag erst am 30. Juni 2004 in Rechnung gestellt. Die Lieferung des Geräts ist somit offensichtlich erst Mitte Juni 2004 und damit nach dem [X.] des Streitpatents (20. April 2004) erfolgt, was ebenfalls gegen eine Vorbenutzung durch den Betrieb des Geräts bei der Firma [X.] spricht.

3.4.2 Die seitens der Klägerin vorgelegten Unterlagen enthalten auch keinen Hinweis darauf, dass der Fachwelt die in den Ansprüchen 1 und 6 des Streitpatents gegebene Lehre im Rahmen des „[X.]“ bzw. im Rahmen des „[X.]“ offenbar geworden ist.

Wie schon der Name „sales meeting“ angibt, hat es sich bei diesen Veranstaltungen offensichtlich um Treffen von mit dem Vertrieb der Produkte der Firma [X.] beschäftigten Personen gehandelt. Dies spiegelt sich auch in den Themen der Treffen wieder, die sich - jedenfalls bei dem „[X.]“ - mit der Absatzsituation und möglichen Verkäufen an eventuelle Interessenten (Anlage [X.]) oder der Vorstellung der von der Firma [X.] als Vertriebspartner und Importeur  [X.] vertretenen Firmen und deren Produktkatalogen (Anlage [X.]) beschäftigen. Abgesehen davon, dass die entsprechenden Präsentationen so gut wie keine technischen Einzelheiten über die vertriebenen Geräte und insbesondere keine Angaben zu Ausrüstung und Betriebsweise von Anlagen zum Prozessieren von Substraten entsprechend der Lehre des Streitpatents enthalten, bleibt auch die Frage offen, ob die Präsentationen des „[X.]“ sich an einen Personenkreis außerhalb der Vertriebspartner der Firma [X.], d. h. an beliebige Dritte gewandt haben.

Nach den Angaben der Klägerin entstammen die weiteren Anlagen [X.] bis [X.] Präsentationen, die während des „[X.]“ in [X.] gehalten [X.], dessen Datum von der Klägerin nicht angegeben werden konnte, das aber - so die Klägerin - schon angesichts der Nummerierung zeitlich vor dem oben genannten „[X.]“ stattgefunden haben soll.

Das „1st sales meeting“ muss jedoch nicht zwangsläufig vor dem „2nd meeting“ stattgefunden haben, bspw. [X.]n die „sales meetings“ für verschiedene Vertriebsregionen getrennt organisiert und dementsprechend unterschiedlich durchgezählt werden. Offensichtlich handelt es sich jedenfalls bei dem „[X.] mee-ting“ um ein solches regionales meeting (vgl. „[X.]“ auf dem Titelblatt der Anlage [X.]).

Zudem ist auch nicht zu erkennen, welcher Personenkreis bei diesem „1st sales meeting“ anwesend war, d. h. ob überhaupt auch Personen anwesend waren, die als Öffentlichkeit anzusehen sind. Die Bezeichnung „sales meeting“ deutet eher auf einen Kreis von eigenen Firmenangehörigen bzw. Vertriebsbeauftragten hin, die nicht der Öffentlichkeit, d.h. beliebigen Dritten zuzurechnen sind. Die von der Klägerin in diesem Zusammenhang als Beleg für die Anwesenheit von Kunden angeführte Tagesordnung „Sales Meeting Agenda“ in der Anlage 5 enthält als Tagesordnungspunkt 8 die Angabe „Expectation to [X.] / Erwartungen an [X.]“, wobei als Verantwortliche für diesen Tagesordnungspunkt „[X.]“ (zu deutsch etwa „Beauftragte“, „Vertreter“, also wohl mit dem Vertrieb beauftragte Personen) benannt werden, die auch für den Tagesordnungspunkt 4 „Company Presentation, Representatives / Firmenvor-stellung, Representatives“ als Verantwortliche genannt werden. Demzufolge muss es sich bei „Representatives“ wohl um der Firma [X.] zumindest nahestehende Personen handeln. Bei den beim Tagesordnungspunkt 2 „Mutual Introduction / Persönliches gegenseitiges Vorstellen“ als Verantwortlichen genannten „Participants / Teilnehmer“ dürfte es sich um die Gesamtheit der Teilnehmer, d. h. [X.] und Herren der Firma [X.] und die Vertreter der Vertriebspartner handeln, wie sich aus den Tagesordnungspunkten 8 (Expectation to [X.] / Erwar-tungen an [X.]) und 9 ([X.] ([X.], eg) / Anforderungen von [X.] an Vertretungen ([X.] etc.)) ergeben dürfte.

Damit ist offen, ob bei diesem Treffen beliebige Dritte anwesend waren. Im Gegenteil deutet die Tagesordnung eher daraufhin, dass bei diesem meeting nur Firmenangehörige oder in einem Dienstleistungsverhältnis mit der Firma [X.] ste-hende Personen anwesend waren und keine Dritten.

Vor allem jedoch geben die Anlagen 5 bis 7 auch keine Hinweise, dass die bei diesem Treffen gezeigten Präsentationen dem Fachmann die in den kennzeichnenden Teilen der Ansprüche 1 und 6 gegebene Lehre offenbart haben:

Anlage 5 zeigt auf einem der [X.]ätter zwei Fotos mit Gesamtansichten des Geräts „[X.]“ sowie die schon in der Anlage 1 gezeigte zeichnerische Querschnittsansicht durch [X.] der Behandlungsanlagen. Außerdem sind stichwortartig einige Gerätecharakteristika aufgezählt, jedoch enthalten die Unterlagen keine Angaben zur genauen Ausbildung der „[X.]“-Geräte oder anderer Geräte zum Prozessieren von Substraten, die die im Streitpatent gegebene Lehre offenbar machen könnten.

Die Anlage [X.] zeigt Einzelheiten der Covered Chuck technology und nennt deren Vorteile für die Belackungstechnik. Anhand von Querschnittsdarstellungen wird die Ausbildung und die prinzipielle Funktion dieses chucks erläutert, bei dem das Substrat während des [X.] mit einem Deckel abgedeckt wird. Dabei ist jedoch nicht zu erkennen, welchen Bezug diese Ausbildung zu der im Streitpatent gegebenen Lehre hinsichtlich des Vorsehens einer [X.] und des Handlings des Substrats hat.

Die Anlage [X.] widmet sich Einzelheiten des Geräts „[X.] 804“ und enthält neben der Aufzählung der Geräteeigenschaften („[X.]“) die oben schon erwähnte Querschnittsansicht durch die [X.], in der die Bestandteile „I/O Stations universal design for multi cassette design“, „Central 3 axis robot“, „2 spinner modules for spin coating/Dominus coating and/or spray developing“, „8 hotplates configurable into plug-and-play Stack slots, Hotplate, coolplate and HMDS plates“ sowie „Touch screen“ mit Pfeilen bezeichnet sind, sowie eine Reihe von Detailansichten, nämlich Aufnahmen der Eingangs- und Ausgangsstation („I/O station“), der [X.] („Coater Module“ mit einem sog. „Booster arm“), der „[X.] plate stacks“, des „Booster devices “ mit einem „Booster arm for increase of the throughput“ und des „Handling“, das einen „central 3 axis robot genmark“, ein „Robot paddel“ und ein „Individual designed vacuum or lowcontact design“ aufweist. Der Angabe „booster arm for increase of the throughput“ dürfte sich zwar entnehmen lassen, dass das Gerät offensichtlich Möglichkeiten zur Erhöhung des [X.] aufweist, jedoch ist aus den gezeigten Detailansichten für den Fachmann nicht erkennbar, wie diese Möglichkeiten technisch realisiert sind und wie sie in den Betriebsauflauf bei der Prozessierung von Wafern eingehen, da in diesen Unterlagen keine entsprechenden Erläuterungen zum Aufbau und zur Funktionsweise des „booster arms“ gegeben werden und die entsprechenden Erkenntnisse sich für den Fachmann auch nicht aus sich selbst heraus beim Betrachten der Darstellungen ergeben. Insofern geben diese Unterlagen keine Hinweise, die dem Fachmann die Lehre der Ansprüche 1 und 6 hinsichtlich der [X.] und des [X.] offenbar werden lassen.

3.4.3 Ebenso [X.]ig stützt der Vortrag der Klägerin, das Gerät „[X.] 804“ sei auf der Messe [X.] 2004 ausgestellt worden, eine offenkundige Vorbenutzung vor dem für den Zeitrang des Streitpatents maßgeblichen Tag.

Wie die Beklagte mit der Anlage [X.] belegt hat und im Übrigen eine eigene Recherche des Senats im [X.] zur Dauer der [X.] Europa 2004 in [X.] bestätigt haben, hat die [X.] Europa 2004 in [X.] vom 20. April 2004 bis 22. April 2004 stattgefunden, d.h. der erste Öffnungstag war mit dem [X.] des Streitpatents (20. April 2004) identisch. Die Beklagte hat außerdem angegeben, dass das auf der Messe gezeigte Gerät am Vorabend der Ausstellung (d. h. dem 19. April 2004) verhüllt worden sei, wie es das Foto gemäß der Anlage [X.] zeigt. Derartige Maßnahmen sind nach der allgemeinen Erfahrung bei solchen Ausstellungen durchaus üblich, um Ausstellungsobjekte vor unerwünschter Einsichtnahme durch Konkurrenzfirmen zu schützen. Damit ist das Gerät offensichtlich nicht bereits am Vorabend der Messe der Öffentlichkeit zugänglich gewesen. Insofern kann diese Messe schon aus diesem Grund nicht für eine Vorbenutzung in Betracht kommen.

Abgesehen davon fehlt es auch in diesem Zusammenhang an Vortrag der Klägerin zur genauen Ausbildung der präsentierten „[X.]“-Geräte oder anderer Geräte zum Prozessieren von Substraten, die die im Streitpatent gegebene Lehre offenbar machen könnten. Darüber hinaus kann auch nicht davon ausgegangen werden, dass eine reine Inaugenscheinnahme des außer Betrieb stehenden Geräts - etwas anderes dürfte vor Messebeginn wohl kaum möglich sein - dem Fachmann die Lehre des Streitpatents hinsichtlich [X.] und Hilfshandhabungsroboter und hinsichtlich des Betriebes beim Prozessieren von Wafern vermittelt hätte, denn die Existenz und insbesondere die Funktion einer [X.] und eines [X.] wird sich dem Fachmann erst aus dem Betrieb der Anlage erschließen, d. h. durch Betrachten des [X.] beim Wafertransport.

3.4.4 Schließlich ist auch eine offenkundige Vorbenutzung durch Ausstellung des Geräts „[X.] 804“ auf der [X.] 2003 nicht hinreichend belegt.

Auch insoweit kann nicht davon ausgegangen werden, dass dem Fachmann bei der Inaugenscheinnahme des Geräts auf einer Messe die Lehre des Streitpatents offenbar geworden ist. Wie sich aus den vorangehenden Darlegungen ergibt, wären hierzu entweder entsprechende Erläuterungen zum Aufbau des Geräts, zur Funktion der einzelnen Bestandteile sowie zum Betriebsablauf bei der Prozessierung von Wafern oder aber eine Beobachtung des Betriebsablaufs über eine längere Zeitspanne, nämlich die Prozessierung mehrerer Wafer not[X.]dig.

Unabhängig davon erscheint auch zweifelhaft, ob der Fachmann bei einem [X.]ick auf das [X.] während der Messe die Lehre des Streitpatents überhaupt hätte erkennen können. Zum einen waren möglicherweise bei einem [X.]ick durch die (wegen der Lichtempfindlichkeit des [X.]s) getönten Scheiben nicht alle für die Lehre des Streitpatents wesentlichen Einzelheiten erkennbar. Vor allem aber müsste in diesem Zusammenhang angegeben werden, ob das Gerät auf der Messe überhaupt im Betrieb gezeigt worden ist, was den [X.] an eine Stromversorgung sowie an entsprechende Medien zum Betrieb des Geräts (Stickstoff, [X.] usw.) erfordert hätte. Davon ist auf dem Foto des auf der [X.] 2003 gezeigten Geräts gemäß Anlage [X.]3 aber nichts zu sehen. Dies rechtfertigt die Zweifel an der Annahme, dass am Messestand der Betriebsablauf, d. h die Prozessierung aufeinanderfolgender Wafer nachverfolgt werden konnte, so dass neben dem Aufbau des Geräts auch die Funktion der Einzelteile sowie deren funktionales Zusammenwirken für Dritte nicht erkennbar waren.

Im Übrigen liegen auch keine konkreten Angaben dazu vor, welchem Personenkreis das Gerät mit welchen Erläuterungen ggfs. auf der [X.] vorgestellt wurde. Auf S. 19 der Anlage [X.], auf die die Klägerin hierzu hingewiesen hat, sind lediglich „References“ genannt, d. h. Namen von Firmen, die bis dahin Kunden der Firma [X.] waren. Ob und ggfs. welche Mitarbeiter dieser Firmen tatsächlich auf der Messe das Gerät in Augenschein genommen haben und welche technische Lehre ihnen vermittelt wurde, bleibt offen.

3.4.5 Lassen sich somit aber weder dem Vortrag der Klägerin noch den Anlagen [X.] bis [X.] sowie [X.]0, [X.] und [X.]3 Hinweise darauf entnehmen, dass die Öffentlichkeit und damit die Fachwelt zum Prioritätszeitpunkt des Streitpatents im Zusammenhang mit den geltend gemachten [X.] oder [X.] Kenntnis von der in den Ansprüchen unter Schutz gestellten Lehre erlangen konnte, geht dies zu Lasten der Klägerin, welche für behauptete, die Patentfähigkeit der streitpatentgemäßen Lehre in Frage stellende [X.] bzw. [X.] darlegungs- und beweispflichtig ist. Dieser Darlegungs- und Beweispflicht ist die Klägerin nicht nachgekommen.

Der Senat hat der Klägerin seine Bedenken hinsichtlich der geltend gemachten offenkundigen Vorbenutzungen im [X.] vom 27. Oktober 2014 im Einzelnen dargelegt und erläutert. Die Klägerin hat diesen Darlegungen weder widersprochen noch ihren Sachvortrag durch entsprechende weitere Ausführungen ergänzt. Sie hat insbesondere auch nicht weiter substantiiert zur genauen Ausbildung der präsentierten „[X.]“-Geräte oder anderer Geräte zum Prozessieren von Substraten, die die im Streitpatent gegebene Lehre offenbar machen könnten, vorgetragen. Mangels hinreichender Substantiierung ist der Vortrag der Klägerin damit aber auch keiner Beweisaufnahme z. B. durch Vernehmung der - ohnehin ausdrücklich nur für die Verkaufs- und Präsentationsvorgänge - benannten Zeugen zugänglich, da dies einen unzulässigen Beweisermittlungsantrag (Ausforschungsbeweis) darstellen würde, der darauf gerichtet ist, nach derzeit noch nicht bekannten, zur Darlegung einer Vorbenutzungshandlung jedoch erforderlichen Tatsachen durch Vernehmung der Zeugen zu suchen. Insoweit sind auch keine weiteren Amtsermittlungen seitens des Senats veranlasst. Es ist nicht Sinn des Untersuchungsgrundsatzes, einen unzureichenden Sachvortrag durch Amtsermittlung zu ergänzen bzw. zu vervollständigen. Die Amtsermittlungspflicht endet vielmehr, wo eine die Darlegungslast tragende Partei ihrer Mitwirkungspflicht nicht genügt, indem sie den Sachverhalt nicht detailliert vorträgt. Dementsprechend verneint die Rechtsprechung eine Pflicht zu weiteren Ermittlungen von Amts wegen, [X.]n es um die genaueren Umstände einer offenkundigen Vorbenutzung geht (vgl. [X.] – Moufang, [X.], 9. Aufl., § 59 Rdnr. 208; Einleitung Rd. 33, 34).

4. Bei dieser Sachlage hat das Patent mit dem Anspruchssatz nach dem 1. Hilfsantrag Bestand. Der 2. Hilfsantrag kommt somit nicht zum Tragen.

Die Kostenentscheidung beruht auf § 84 Abs. 2 [X.] i. V. m. § 92 Abs. 1 Satz 1 Nr. 1 ZPO, die Entscheidung über die vorläufige Vollstreckbarkeit auf § 99 Abs. 1 [X.] i. V. m. § 709 ZPO.

Gegen dieses Urteil kann das Rechtsmittel der Berufung gemäß § 110 [X.] eingelegt werden.