Bundespatentgericht, Urteil vom 19.09.2023, Az. 3 Ni 15/22 (EP)

Die Beklagte ist eingetragene Inhaberin des aufgrund der als [X.] veröffentlichten internationalen Anmeldung vom 5. Juli 2005 unter Inanspruchnahme der Priorität aus der [X.] Anmeldung 0451474 vom 8. Juli 2004 auch mit Wirkung für das Hoheitsgebiet der [X.] in [X.] [X.] erteilten [X.] Patents 1 773 512 (Streitpatent) mit der Bezeichnung „[X.] [X.] TRAITEMENT D’UN RECIPIENT COMPORTANT [X.]S PHASES [X.] POMPAGE A VI[X.] ET MACHINE POUR SA MISE EN [X.]“ (in [X.] laut Streitpatentschrift: „[X.] [X.] VAKUUMPUMPPHASEN UND MASCHINE ZU [X.]SSEN A[X.]FÜHRUNG“).

Das beim [X.]en Patent- und Markenamt unter dem Aktenzeichen [X.] 60 2005 021 496.8 geführte Streitpatent betrifft ein Verfahren und eine Maschine zur Behandlung von Behältern aus Kunststoffmaterial, wie etwa Flaschen aus Polyethylenterephthalat (PET), insbesondere ein Verfahren zur Behandlung mindestens eines Behälters im Hinblick auf das Aufbringen eines inneren Sperrüberzugs mittels eines Mikrowellenplasmas, vor allem um hierdurch die Verpackung von sauerstoffempfindlichen Flüssigkeiten in dem Behälter zu ermöglichen. Es umfasst 6 Patentansprüche, von denen Patentanspruch 1 auf ein Verfahren und der nebengeordnete Patentanspruch 2, auf den die Patentansprüche 3 bis 6 zurückbezogen sind, auf eine Vorrichtung gerichtet sind.

Die nebengeordneten Patentansprüche 1 und 2 lauten in der [X.] sowie in [X.] Übersetzung wie folgt:

Mit ihrer Nichtigkeitsklage begehrt die Klägerin, die von der Beklagten wegen behaupteter Patentverletzung gerichtlich in Anspruch genommen wird, die vollständige Nichtigerklärung des Streitpatents wegen  fehlender Patentfähigkeit. Die Beklagte verteidigt ihr Patent jeweils als geschlossene Anspruchssätze sowohl in der erteilten Fassung auch in den Fassungen der [X.] bis 7 laut Schriftsatz vom 9. August 2023. Wegen des Wortlauts der Patentansprüche in den Fassungen der Hilfsanträge wird auf die Anlagen zum vorgenannten Schriftsatz verwiesen.

Die Klägerin hat zur Stützung ihres Vortrags u.a. die folgenden Druckschriften eingereicht (Nummerierung und Kurzzeichen von der Klägerin vergeben):

[X.] EP 1 773 512 [X.] (Streitpatent) mit [X.] Übersetzung der Beschreibung als NK3

[X.] [X.] 43 18 086 A1

[X.] [X.] 197 38 721 A1

[X.] EP 0 667 483 [X.]

[X.] [X.] 5 565 248 A

[X.] [X.] 03/100125 A1

[X.] [X.] 03/100121 A2

Die Klägerin ist der Auffassung, dass die Maschine nach Patentanspruch 2 gegenüber den Druckschriften [X.] sowie [X.] bis [X.] jeweils nicht neu sei, sofern der Verweis auf das Verfahren nach Patentanspruch 1 nicht einschränkend zu verstehen sei. Denn in diesem Fall reiche die Eignung der Gegenstände im vorgenannten Stand der Technik aus, da sie alle Merkmale des Vorrichtungsanspruchs 2 des Streitpatents enthielten. Darüber hinaus beruhten die Gegenstände des Streitpatents gegenüber den Druckschriften [X.], [X.] oder [X.] auch nicht auf einer erfinderischen Tätigkeit, weil der Fachmann durch naheliegende fachübliche Veränderungen der in diesen Druckschriften offenbarten Gegenstände zum erfindungsgemäßen Gegenstand gelange.

Ebenfalls seien die Änderungen in den [X.] aus dem Stand der Technik vorbekannt und könnten eine Schutzfähigkeit des Streitpatents nicht begründen.

Die Klägerin beantragt,

das [X.] Patent 1 773 512 mit Wirkung für das Hoheitsgebiet der [X.] für nichtig zu erklären.

Die Beklagte beantragt,

die Klage abzuweisen,

hilfsweise die Klage mit der Maßgabe abzuweisen, dass das Streitpatent in der angegebenen Reihenfolge eine der Fassungen nach den [X.] 1 bis 7 laut Schriftsatz vom 9. August 2023 erhält.

Die Beklagte hält den Gegenstand des Streitpatents bereits in der erteilten Fassung, zumindest aber in einer der Fassungen nach den [X.] für schutzfähig. Der erteilte [X.] erfülle die Erfordernisse der Neuheit und erfinderischen Tätigkeit. Die Maschinen in den Lehren der [X.], [X.], [X.] und [X.] seien nicht derart beschrieben, dass sie geeignet wären, das [X.], aus dem Stand der Technik unbekannte Verfahren durchzuführen. Im Falle der vermeintlich mangelnden erfinderischen Tätigkeit beruhe die Argumentation der [X.] auf einer rückschauenden Betrachtungsweise, die das fachmännische Handeln zum prioritätsbegründenden Zeitpunkt unberücksichtigt lasse. Auch mangele es dem Vortrag der [X.] an Nachweisen für die vorgebrachten Behauptungen.

Auf jeden Fall wiesen zumindest die Gegenstände der Hilfsanträge die erforderliche erfinderische Tätigkeit gegenüber dem vorgebrachten Stand der Technik auf.

Die zulässige Klage ist unbegründet, da der klägerseits geltend gemacht [X.] fehlender Patentfähigkeit (Artikel II § 6 Absatz 1 Nr. 1 IntPatÜG,

Art. 138 Abs. 1 Buchst. a) EPÜ i.V.m. Art. 52, 54, 56 EPÜ) nicht besteht. Bei dieser Sachlage kommt es auf die Schutzfähigkeit der gestellten Hilfsanträge nicht mehr an.

1. Wie das [X.]/[X.] erläutert, muss zur Erzeugung einer Barriereschicht auf der Innenseite von Behältern mittels eines Mikrowellenplasmas im Behälter ein Unterdruck eingestellt werden. Das [X.] sei deshalb über eine interne Vakuumleitung an einen Vakuumpumpkreislauf angeschlossen und der Behälter sei im Inneren einer hermetisch verschlossenen Behandlungskammer angeordnet ([X.]/[X.] [0002-0003]). Die Druckschrift [X.] sehe die Behandlung von Kunststoffbehältern mit Hilfe einer Anlage vor, die eine innere und eine äußere Vakuumleitung umfasse ([X.]/[X.] [0003]). Zudem sei es aus dem Stand der Technik bekannt, dass vor dem Aufbringen der Beschichtung ein Unterdruck im [X.]n und im umgebenden Hohlraum durch gleichzeitiges Pumpen in den Hohlraum und in den Behälter bis zum Erreichen des externen [X.] im Hohlraum erzeugt werde, woraufhin eine Verschlussvorrichtung den Hohlraum hermetisch abdichte, damit der Druck im [X.]n auf den internen Endwert sinken könne, der niedriger sei als der externe Endwert ([X.]/[X.] [0007-0008]). Dabei trete aber das Problem auf, dass bei gleichzeitigem Pumpen in den Hohlraum und in den Behälter die Geschwindigkeit, mit der der Druck in jedem der beiden Elemente abnehme, nur schwierig zu kontrollieren sei. Es bestehe die Gefahr eines Zusammenfallens des Behälters, wenn die Druckdifferenz durch unterschiedlich schnellen Druckaufbau des Vakuums im Behälter und im Hohlraum größer sei als die mechanische Widerstandsfähigkeit des Behälters gegen Zusammendrücken. In diesem Fall drohe ein Zusammenfallen des Behälters, was zu Ausschuss und gegebenenfalls zum Stillstand der Behandlungsmaschine führe ([X.]/[X.] [0009-0012]). Zwar gebe es denkbare Abhilfemöglichkeiten, die aber mit Nachteilen verbunden seien. So könne die mechanische Festigkeit des Behälters erhöht werden, bspw. durch eine höhere Wanddicke, die aber mit einer nachteiligen Gewichts- und Kostenerhöhung des Behälters verbunden sei ([X.]/[X.] [0013-0014]). Auch könne eine andere Behälterform gewählt werden, dies sei aber mit einer technischen Einschränkung verbunden, insbesondere weil die äußere Form des Behälters dann nicht mehr frei wählbar sei ([X.]/[X.] [0015-0016]).

2. Laut [X.] ziele die Erfindung insbesondere darauf ab, die vorgenannten Nachteile auf einfache und kostengünstige Weise auszuräumen ([X.]/[X.] [0017]). Daher ist die objektive Aufgabe des [X.]s darin zu sehen, die mit dem Evakuieren von Hohlraum und Behälter verbundene mechanische Belastung des Behälters zu minimieren.

3. Diese Aufgabe soll mit dem Verfahren nach Patentanspruch 1 und einer Maschine nach Patentanspruch 2 gelöst werden. Die Merkmale dieser Ansprüche lassen sich in Übereinstimmung mit den Parteien dabei wie folgt gliedern:

Patentanspruch 1:

Patentanspruch 2:

4. Ein Teil der Begriffe bedarf der Auslegung. Der zuständige Fachmann, ein Diplom-Ingenieur aus dem Bereich Prozesstechnik und Anlagenbau mit Erfahrung auf dem Gebiet der Verfahrenstechnik bei Plasmabeschichtungsanlagen und der Versorgung dieser Anlagen mit Vakuum, wird sie wie folgt verstehen:

4.1 Der in Patentanspruch 1 nicht näher ausgestalteten Behandlungsstufe [X.] zur Aufbringung eines [X.] in dem Behälter durch ein Mikrowellenplasma geht eine drei Verfahrensschritte umfassende Vorstufe [X.] nach den Merkmalen 1.10 bis 1.12 voraus.

Im Einzelnen ist bei der externen [X.] nach [X.]ur 1 der [X.] der den Behälter 12 umgebende Hohlraum 18 mit dem [X.] 50 verbunden, bei der internen [X.] nach [X.]ur 2 nur das [X.], erkennbar an den die Pumprichtung angebenden Pfeilen in der externen Leitung 20 oder der Pumpleitung 50 – die [X.] nach Merkmal 1.11 ist nicht gezeigt.

[X.]uren 1 und 2 der [X.]

Zur Behandlung mindestens eines Behälters 12 nach Merkmal 1.1 befindet sich dieser im Inneren einer hermetisch verschlossenen Behandlungskammer 16, die außen am Behälter 12 einen Hohlraum 18 begrenzt (1.2) und über die externe Vakuumleitung 20 an einen Vakuumpumpkreislauf 50 angeschlossen ist. Ebenso ist das Innere des Behälters 12 über eine interne Vakuumleitung 34 an diesen Kreislauf 50 angeschlossen (1.3, 1.4). Merkmal 1.5 sieht zur internen Vakuumleitung 34 vor, dass diese während der Vorstufe [X.] durch den [X.] 50 eine Druckabsenkung im Inneren des [X.] 18 bis zu dem externen Endwert ([X.]) hervorruft. Zusammen mit diesem erfolgt nach Merkmal 1.6 dann auch eine Verringerung des Druckes im Inneren des Behälters 12 bis zum internen Endwert ([X.]), der unter dem Wert für [X.] liege ([X.]ur 2). Der Vorstufe [X.] folgt die Behandlungsstufe [X.] (1.7), bei welcher [X.] und [X.] aufrechterhalten werden (1.8). Bei der externen [X.] [X.] ist die interne Vakuumleitung 34 geschlossen und die externe Vakuumleitung 20 offen, so dass der [X.] 50 die Verringerung des Druckes im Hohlraum 18 bis zu einem Zwischenwert ermöglicht, der höher ist als [X.] (1.10). Der Phase [X.] schließt sich die [X.] [X.] an, bei der die externe Vakuumleitung 20 und zugleich die interne Vakuumleitung 34 offen sind, wonach der [X.] 50 den Druck im Hohlraum 18 und im Inneren des Behälters 12 herabsetzt, bis der Druck im Hohlraum 18 [X.] erreicht hat (1.11). Zuletzt ist bei der internen [X.] [X.] die externe Vakuumleitung 20 geschlossen und die interne Vakuumleitung 34 offen, mit der Folge, dass der [X.] 50 nur im Inneren des Behälters 12 eine Verringerung des Druckes hervorruft, bis hin zu [X.] (1.12).

Wie sich aus den Angaben im [X.] ergibt, besteht der einzige Unterschied des beanspruchten Verfahrens zum Stand der Technik ([X.]/[X.] [0007-0008]) in der externen [X.] nach Merkmal 1.10, der sich die bekannten Evakuierungsschritte nach den Merkmalen 1.11 und 1.12 anschließen.

Dem Merkmal 1.10 kommt daher die für die Erfindung maßgebliche Bedeutung zu, verlangt es doch ein gleichzeitiges Schließen der internen Vakuumleitung 34 und Öffnen der externen Vakuumleitung 20, die „im Verlauf“ dieser [X.] stattfinden und damit einem zeitlich vorgegebenen Rahmen unterliegen.

4.2 Der Patentanspruch 2 richtet sich auf eine Maschine zur Ausführung des mit Patentanspruch 1 beanspruchten Verfahrens, welche nicht zwingend für eine Mikrowellenplasmabehandlung geeignet sein muss (s. auch Titel [X.]), und welche nach Merkmal 2.1 mindestens eine [X.] 14 für mindestens einen Behälter 12 hat, jede [X.] 14 eine Behandlungskammer 16 aufweist, die um den darin liegenden Behälter 12 herum einen luftdicht an die externe Vakuumleitung 20 angeschlossenen Hohlraum 18 bildet (2.2) und weiter eine interne Vakuumleitung 34 aufweist, die luftdicht an das Behälterinnere 12 angeschlossen ist (2.3). Externe und interne [X.] 20 und 34 sind an einen [X.] 50 mit gemeinsamem Vakuum angeschlossen und stehen jeweils mittels erster und zweiter gesteuerter Verschlussvorrichtung 52 und 56 mit dem [X.] 50 in Verbindung (2.4-2.6). Die Merkmale 2.7 und 2.8 verlangen den direkten [X.] der externen Vakuumleitung 20 an den [X.] 50, ohne über die interne Vakuumleitung 34 zu verlaufen; dabei ist die erste Verschlussvorrichtung 56 derart gesteuert, dass sie unabhängig von dem Pumpen in den Behälter 12 ein Pumpen in dem Hohlraum 18 ermöglicht.

Das zu dem Merkmal 1.10 korrespondierende Vorrichtungsmerkmal 2.8 verlangt die Steuerung einer Verschlussvorrichtung 56 und im Zusammenhang mit der Eignung der Vorrichtung für das Verfahren nach Patentanspruch 1 auch die dazu notwendige zeitliche Ansteuerung. Somit kann dahinstehen, ob die Maschine nach Merkmal 2.1 des Patentanspruchs 2 des [X.]s zwingend die Ausführung des Verfahrens nach Patentanspruch 1 voraussetzt oder nur, wie die Klägerin geltend gemacht hat, die grundsätzliche Eignung zur Durchführung eines solchen Verfahrens aufweisen muss. In jedem Fall muss die Maschine die körperlichen Eigenschaften nach Merkmal 2.8 aufweisen.

In der erteilten Fassung sind die Gegenstände des [X.]s gegenüber dem geltend gemachten Stand der Technik neu und beruhen diesem gegenüber auch auf einer erfinderischen Tätigkeit. Die von der Klägerin mit [X.] benannte Druckschrift [X.] B1 scheidet dabei als berücksichtigungsfähiger Stand der Technik deshalb aus, weil sie lediglich die für die erteilten Patentansprüche unwesentliche Ausgestaltung eines nockengesteuerten Ventils betrifft.

1. Die Neuheit des Verfahrens nach Patentanspruch 1 wurde von der Klägerin nicht bestritten und ist schon deshalb gegeben, weil der zusätzliche Verfahrensschritt nach Merkmal 1.10 im Stand der Technik – was auch die Klägerin nicht in Abrede gestellt hat – nicht beschrieben ist.

2. Entgegen der Auffassung der Klägerin ist die Maschine nach Patentanspruch 2 gegenüber dem geltend gemachten Stand der Technik nach [X.] sowie [X.] bis [X.] ebenfalls neu. Denn unabhängig davon, ob die Gegenstände dieser Druckschriften die Durchführung des Verfahrens nach den streitpatentgemäßen Merkmalen 1.10 bis 1.12 vorsehen, fehlt es jedenfalls an einer unmittelbaren und eindeutigen Offenbarung des Merkmals 2.8 in diesen Entgegenhaltungen.

Wie bereits ausgeführt wurde, ist, der Vorgabe des [X.]s folgend, das Ventil 56 in den [X.]uren 1 und 2 der [X.] im Sinne des Merkmals 2.8 vollständig zu schließen und das Ventil 52 zu öffnen, so dass ein Zusammenspiel der Ventile für diesen und, entsprechend angepasst, auch die nachfolgenden Verfahrensschritte gewährleistet ist. Dieses (gesteuerte bzw. geregelte) Zusammenspiel unterscheidet sich von unabhängig und beliebig gesteuerten Verschlussvorrichtungen, bei denen ein ggf. geschlossener Zustand von Ventil 56 im Hinblick auf die Steuerung des Ventils 52 keine Rolle spielt.

Der Klägerin hat geltend gemacht, ihrer Auffassung nach offenbare bspw. das Dokument [X.] in [X.]ur 1 und der Passage in [X.]alte 1, Zeile 68, bis [X.]alte 2, Zeile 11, eine Vorrichtung mit [X.] und Hohlkörper. Beide Räume würden über zwei Saugleitungen mit zwei über die Ansteuerung 40 ansteuerbaren Ventilen, vorzugsweise Regelventile, ausgepumpt, was dieser Vorrichtung die grundsätzliche Eignung verleihe, das Verfahren nach Patentanspruch 1 des [X.]s auszuführen. Auch [X.] beschreibe eine solche Vorrichtung mit entsprechenden Ventilen 71 und 73 und der Steuerung 79 ([X.] [X.]. [X.] und [X.]. 7 Z. 16-25). Zwar verhielten sich die beiden Dokumente nicht zu den jeweiligen Zeitpunkten der Ventilstellung, das Merkmal 2.8 setze aber ein ohne Fachwissen mitzulesendes Zusammenwirken voraus, da Ventile stets und nicht anders vorstellbar vollständig schließbar seien.

Diese Auffassung vermag dem streitpatengemäßen Gegenstand aber die Neuheit nicht zu nehmen. Denn ohne dass es darauf ankäme, ob die Druckschriften [X.] und [X.] das vollständige Schließen des die Vakuumleitung ins [X.] betreffenden Ventils (nachf. „[X.]“) jeweils ausdrücklich offenbaren, lassen die dort geschilderten Verfahren und Vorrichtungen gerade nicht unmittelbar und eindeutig erkennen, ob sich ein dem „[X.] 56“ der [X.]/[X.] entsprechendes Ventil für das beanspruchte Zusammenspiel mit dem streitpatentgemäßen, nachfolgend als „Kammerventil“ bezeichneten Ventil mit Bezugszeichen 52 eignet. Wie die Klägerin zutreffend ausführt, verfügt [X.] auch über getrennte Saugleitungen für die beiden Räume entsprechend dem [X.]. Allerdings lässt [X.] auch umgekehrte Druckunterschiede zwischen Behälter 1 und [X.] 10 zu und empfiehlt lediglich einen höheren Druck außerhalb des Behälters 1. Zu einer speziellen Steuerung des „[X.]s 13“ und des „[X.] 12“ finden sich keine Angaben ([X.] [X.]. 1 i.V.m. [X.]. 4 Z. 48-60, [X.]. 5 Z. 5-10, Anspr. 21). Dies trifft auch auf die Vorrichtung der [X.] zu, mit ebenfalls getrennten Leitungen mit „[X.] 73“ und „Kammerventil 71“, die über eine Steuerungseinheit 79 kontrollierbar sind. [X.] und [X.] informieren daher nicht über ein Zusammenspiel gemäß Merkmal 2.8.

Dasselbe gilt für die Druckschriften [X.] und [X.] Nach der Lehre der [X.] werden der dort als Tank bezeichnete Behälter 12 und die [X.] 10 simultan über das „[X.] 24“ in der Saugleitung 22 und das „Kammerventil 20“ in der Saugleitung 18 ausgepumpt. Dabei ist nur von einem geregelten Schließen des „[X.] 20“ die Rede ([X.] [X.]. 1 i.V.m. [X.]. 4 Z. 41-47). Damit vergleichbar lehrt das Dokument [X.], in welcher sowohl das „[X.] 38“ als auch das „Kammerventil 32“ als verschließbar beschrieben sind, ebenfalls lediglich das gemeinsame Evakuieren der beiden Räume; im [X.] wird das „Kammerventil 32“ geschlossen, der Behälter weiter evakuiert und zuletzt das „[X.] 38“ geschlossen ([X.] [X.]. 5 i.V.m. [X.]. 13 Z. 14-34). [X.] und [X.] lassen gleichermaßen kein Zusammenspiel nach Merkmal 2.8 erkennen.

Nach der gebotenen Auslegung liegt somit auch die Neuheit der erfindungsgemäßen Vorrichtung nach Patentanspruch 2 vor. Damit können die klägerseitig schriftsätzlich geltend gemachten Plausibilitätserwägungen zur Eignung der Verwirklichung von Merkmal 2.8 bei diesen bekannten Vorrichtungen dahinstehen.

3. Soweit die Klägerin die streitpatentgemäßen Lehren als erfindungsschädlich vorweggenommen erachtet, scheitert dies schon daran, dass sich für die von ihr ausgehend von [X.], [X.] und [X.] angestellten und als fachüblich angegebenen Überlegungen im Stand der Technik keine zur erfindungsgemäßen Lösung führende Anregung bzw. ein Hinweis findet.

Wie auch die Klägerin im Ansatz zutreffend ausführt, rät im Hinblick auf die objektive Aufgabe der streitpatentgemäßen Erfindung, soweit zur Verformung der Behälter Stellung genommen wird, stets davon ab, große Druckunterschiede zwischen [X.]m und [X.] im Zuge des Evakuierens aufkommen zu lassen ([X.] Anspr. 13, [X.] [X.]. 5 Z. 1-5, [X.] [X.]. 13 Z. 21-26, [X.] S. 8 le. Abs., [X.] S. 17 Z. 14-19).

Den weiteren Ausführungen der Klägerin kann aber nicht gefolgt werden. So stoße der Fachmann nach ihrem Dafürhalten bei der üblichen Herangehensweise unter Einsatz von in [X.], [X.] und [X.] beschriebenen realen Maschinen zwangsläufig auf Probleme, gerade dann, wenn im Vergleich zur umgebenden [X.] Behälter mit deutlich unterschiedlichem Volumen behandelt würden. So müsste bei den in Frage stehenden Maschinen zur Beschichtung von Behältern unterschiedlicher Größe die Kammergröße mit Blick auf die größten zu beschichtenden Behälter ausgelegt werden, wobei Anpassungen der Kammergeometrie wirtschaftlich und technisch nicht marktgerecht seien. Für den Fachmann sei es sowohl offensichtlich als auch am geschilderten Problem orientiert und frei von Rückschau, bei einem großen Volumenunterschied zwischen äußerer Kammer und [X.]m das größere Volumen früher abzupumpen und damit Merkmal 1.10 zu verwirklichen.

Dem steht bereits entgegen, dass der Stand der Technik feststellt, dass sich dieses Problem dadurch beheben lässt, dass Behälter und [X.] mit derselben Vakuumquelle gleichzeitig evakuiert werden, bevor der Druck im Behälter ggf. weiter gesenkt wird ([X.] Anspr. 13 i.V.m. [X.]. 4 Z. 41-47 und [X.]. 1 [X.]. 14 mit verzweigten Leitungen 18 und 22; [X.] [X.]. 13 Z. 14-32 und [X.]. 5 mit verzweigten Leitungen zu den Ventilen 32 und 38; [X.] S. 8 le. Abs., [X.]. Abs. und [X.]. 14 mit Primärvakuumventil 60 und verzweigten Leitungen 55 ins Behälterinnere und in die [X.]n; [X.] Abs. [X.] und [X.]. 1A und 1B mit den [X.], 64 und 66 und verzweigten Leitungen 41 ins Behälterinnere und in die [X.]n).

Mithin erweist sich das von der Klägerin als Anlass zur Änderung des Verfahrens aufgeworfene Problem als entweder aus dem Stand der Technik nicht bekannt oder als unerkannt. In diesem Zusammenhang scheint der ausdrückliche Hinweis der [X.] auf diese gemeinsame Unterdruckversorgung darauf hinzudeuten ([X.] S. 8 le. Abs.), dass im Fall von stark unterschiedlichen Volumina des [X.]n und der [X.] ein Druckausgleich über die gemeinsame Unterdruckversorgung und deren Leitungssystem nicht auszuschließen ist. Diese gemeinsame Unterdruckversorgung ist auch in den Lehren der [X.], [X.], [X.] und [X.] verwirklicht (s. a.a.O.).

3.1 Im Einzelnen ist hierzu Folgendes auszuführen: [X.] unterweist den Fachmann zur Vermeidung deformierter Behälter 5 bei der Plasmabehandlung dahingehend, sowohl den Innenraum des Behälters 5 als auch den Innenraum der Plasmakammer 17 mindestens zeitweilig an eine gemeinsame Unterdruckversorgung anzuschließen ([X.] S. 8 le. Abs., Anspr. 52 und [X.]. 14) und zur Erzeugung eines im Innenraum des Behälters 5 relativ zur Plasmakammer 17 niedrigeren Unterdruckes mindestens zeitweilig ausschließlich den Innenraum des Behälters 5 mit der Unterdruckquelle zu verbinden ([X.] S. 9 Abs. 2). Zu [X.]ur 14 wird ausgeführt, dass der Unterdruck über Vakuumventile 60 und 61 zugeführt wird und ein [X.] zur Aufrechterhaltung des Vakuums synchron zur Zuführung des [X.] angeordnet ist, um den Übertritt von abgesaugtem [X.] in die [X.] zu vermeiden. Die wahlweise auch gemeinsame Zuführung von Unterdruck zum Innenraum des Behälters 5 und/oder in den Innenraum der Plasmakammer 17 erfolgt mittels [X.] mit [X.]. Insbesondere kann das jeweilige Versorgungsvakuum über die Ventile 60, 61, 62 jeweils unmittelbar dem Innenraum des Behälters 5 zugeführt und über das [X.] gesteuert eine bedarfsabhängige Zuschaltung des Innenraumes der Plasmakammer 17 vorgenommen werden ([X.] S. 20 Abs. 3-4). Zur Evakuierung von Behälter 5 und Plasmakammer 17 wird nach dem Einsetzvorgang die Kammerwandung 18 der Plasmakammer 7 in ihre abgedichtete Positionierung abgesenkt und zunächst gleichzeitig eine ausreichende Evakuierung sowohl der Kavität 4 (= Innenraum der Plasmakammer 17, vgl. [X.]. 11) als auch des Innenraums des Behälters 5 durchgeführt. Danach wird eine [X.] in den Innenraum des Behälters 5 eingefahren und durch Verschiebung des [X.] (vgl. [X.]. 4) eine Abschottung des Innenraumes des Behälters 5 gegenüber dem Innenraum der Kavität 4 durchgeführt. Auch kann die [X.] synchron zur beginnenden Evakuierung des Innenraumes der Kavität in den Behälter 5 hinein verfahren werden und der Druck im Innenraum des Behälters 5 anschließend noch weiter abgesenkt werden. Die Positionierbewegung der [X.] kann wenigstens teilweise bereits parallel zur Positionierung der Kammerwandung 18 durchgeführt werden. Laut [X.] erfolgt die Betätigung der Ventile 59 vorzugsweise über eine programmierbare elektronische Steuerung, wobei nach dem Schließen der Plasmakammer 17 das [X.] 60 geöffnet und der Innenraum des Behälters 5 und der Plasmakammer 17 gleichzeitig evakuiert und nach dem Schließen des Ventils 60 und Öffnen des [X.] 61 beide zu einem niedrigeren Druckniveau gebracht werden ([X.] S 23 le. Abs). Nach ausreichender Evakuierung des den Behälter 5 umgebenden Innenraumes der Plasmakammer 17 schließt das [X.] und nur der Innenraum des Behälters 5 wird weiter evakuiert.

[X.] offenbart folglich die Behandlung eines Behälters 5 im Hinblick auf das Aufbringen eines inneren [X.]errüberzuges mittels Mikrowellenplasma (1.1) mit einem im Inneren der hermetisch verschlossenen Plasmakammer 17 angeordneten Behälter 5, welcher außen am Behälter 5 einen Hohlraum 4 durch die Seitenwände 18 begrenzt (1.2). Über die von [X.] beherrschte Leitung besteht [X.] an einen Vakuumpumpkreislauf, wie sich aus der Evakuierung der Plasmakammer 17 bei geöffnetem [X.] ergibt. (1.3). Auch das Innere des Behälters 5 ist an eine innere Vakuumleitung angeschlossen, die z.B. vom Behälterinneren bis zu Ventil 61 verläuft, und auch diese innere Vakuumleitung ist an den [X.] angeschlossen, wie sich aus der Evakuierung des Behälters 5 bei geöffnetem Ventil 61 ergibt (1.4). Gemäß den Merkmalen 1.5 bis 1.7 und 1.11 und 1.12 wird die gemeinsame Druckabsenkung in Plasmakammer und Behälter sowie im [X.] im Behälter vollzogen. Ebenso ist das [X.] synchron zur Zuführung des [X.] zur Aufrechterhaltung des Vakuums im Behälter 5 geöffnet, während die Kavität 4 in der Plasmakammer 7 bei geschlossenem [X.] auf dem eingestellten Unterdruck verbleibt (1.8).

Wie ausgeführt, gibt [X.] keine externe [X.] nach Merkmal 1.9/1.10 an und auf Seite 8, letzter Absatz bereits eine Lösung für die mechanische Belastung vor. Auch schweigt [X.] zu als problematisch vorgetragenen Volumenunterschieden von Gefäß und umgebendem Hohlraum. Daher vermag [X.] die erfinderische Tätigkeit der streitpatentgemäßen Gegenstände nicht in Frage zu stellen.

3.2 Einen vergleichbaren Informationsgehalt bietet die etwas später angemeldete und überwiegend auf dieselben Erfinder wie die der [X.] zurückgehende [X.]. Auch nach deren Lehre sind die Innenräume 22 und 24 der Behälter 25 und 27 und deren Umgebung über separate Versorgungskanäle zu evakuieren, um der Deformation zu begegnen ([X.] S. 17 Z. 7-19, [X.]. 1A), was durch die Abdichtung des Innenraums der Behälter von den umgebenden Kammern ermöglicht wird, die unterschiedliche Atmosphären und/oder Drücke zulassen ([X.] S. 9 Z. 24 – [X.]) und durch das Sockelelement 33 der [X.]ur 1A mit separaten Versorgungskanälen zur Evakuierung und/oder Belüftung und/oder Zuführung von [X.] für den Innenraum und die Umgebung der Behälter ([X.] S. 10 Z. 13-18). Zu [X.]ur 1A ist dargelegt, dass am [X.] 35 für die Evakuierung der Behälterinnenräume 22, 24 Pumpeinrichtungen 63, 65, 67 mit [X.], 64 und 66 angeschlossen sind und die [X.] mit Ventil 62 auch für die Abfuhr von [X.] als Prozessvakuumventil dient. Die Ventile 64 und 66 sind Sekundär- und [X.]e, welche sequentiell zum Abpumpen der [X.] bzw. der Innenräume der Behälter geöffnet und geschlossen werden, zur Evakuierung in mehreren Druckstufen. Die Pumpen 65 und 67 dienen der Evakuierung auf den zur Beschichtung erforderlichen Restgasdruck und können unterschiedliche Enddrücke erreichen sowie zur Evakuierung und der Abfuhr von [X.] nacheinander zu- und abgeschaltet werden ([X.] S. 26 Z. 23 – [X.] 8). Für eine Innenbeschichtung der Behälter kann deren Innenraum bis zu einem Basisdruck < 0,1 mbar und die Umgebung der Behälter auf einen festen Außendruck zwischen 1 und 100 mbar abgepumpt werden ([X.] Anspr. 39-42). Der [X.] 41 ist über eine [X.] mit als Kammervakuumventil dienendem [X.] mit dem [X.] 35 verbunden, wonach auch Umgebungen der Behälter in den [X.] 15, 17 evakuiert werden. Dazu wird beim Abpumpen mittels [X.] die [X.] geöffnet, so dass die Pumpe 65 und 67 über diese Leitung mit den [X.] und 45 verbunden werden. Nach Abschluss der Evakuierung werden die Ventile 73, 66, 64 geschlossen und [X.] strömt nach Öffnen des Ventils 60 über die Lanzen 55, 57 in die Innenräume der Behälter und wird nach Öffnen des [X.] durch die Pumpe 63 kontinuierlich abgepumpt ([X.] S. 28 Z. 7-20). Wie [X.] offenbart auch [X.] die Behandlung eines Behälters 25, 27 mittels eines Mikrowellenplasmas zum Aufbringen eines [X.] (1.1), wobei die Behälter im Inneren der hermetisch verschlossenen Beschichtungskammer 15, 17 angeordnet sind, die außen am Behälter einen Hohlraum begrenzt (1.2). Über die von [X.] beherrschte Leitung besteht [X.] an einen Vakuumpumpkreislauf 65, wie sich aus der beschriebenen Möglichkeit der Evakuierung der Beschichtungskammer 15, 17 bei geöffnetem [X.] ergibt (1.3). Das Innere 22, 24 der Behälter 25, 27 ist an eine innere Vakuumleitung 37, 39 angeschlossen, die vom Behälterinneren 22, 24 zum Ventil 64 verläuft, und auch diese innere Vakuumleitung 37, 39 ist an den [X.] 65 angeschlossen, wie sich wiederum aus der beschriebenen Möglichkeit der Evakuierung des Behälters 25, 27 bei geöffnetem Ventil 64 ergibt (1.4). Analog zur Phase [X.] erfolgt bei geöffneten [X.] und 73 eine Druckabsenkung im Inneren der Beschichtungskammer und im Behälter und nachfolgend bei geschlossenem [X.] und geöffnetem Ventil 64 eine weitere Druckabsenkung im Behälterinneren. Zur Beschichtung ist das [X.] synchron zur Zuführung des [X.] zur Aufrechterhaltung des Vakuums im Behälter geöffnet, während die Beschichtungskammer aufgrund des Schließens von [X.] auf dem eingestellten Unterdruck verbleibt (1.5-1.8, 1.11, 1.12).

Weder [X.] noch [X.] geben Hinweise auf eine externe [X.] nach Merkmal 1.9/1.10. Daher liegt auch hinsichtlich der Druckschrift [X.] eine erfinderische Tätigkeit bei den streitpatentgemäßen Gegenständen aus denselben Gründen wie bei [X.] vor.

3.3 Auch die bereits zur Neuheit diskutierte [X.] stellt die erfinderische Tätigkeit nicht in Frage, da sie Merkmal 1.9/1.10 gleichermaßen nicht offenbart oder anregt, was den Bestand des [X.]s damit auch nicht in Frage stellen kann.

In Summe lässt sich zu der Frage, welchen Anlass der Fachmann gehabt haben könnte, für ein nicht erkanntes Problem eine Lösung zu finden, aus dem Stand der Technik kein Hinweis für den zusätzlichen Verfahrensschritt 1.10 finden. Dieses Vorgehen wird vielmehr an keiner Stelle im Stand der Technik beschrieben oder als fachübliches Mittel aufgezeigt.

Die Kostenentscheidung beruht auf § 84 Abs. 2 [X.] i. V. m. § 91 Abs. 1 ZPO, die Entscheidung über die vorläufige Vollstreckbarkeit auf § 99 Abs. 1 [X.] i. V. m. § 709 ZPO.