Bundespatentgericht, Beschluss vom 13.10.2010, Az. 9 W (pat) 316/05

Die Einsprechende hat gegen das am 24. März 1999 angemeldete Patent mit der Bezeichnung

"Gesteuerter [X.]"

Einspruch eingelegt. Sie verweist zum Stand der Technik auf folgende Druckschriften und Bedienungsanleitungen:

[X.] [X.]; Übersetzung der [X.] Patentschrift [X.] 975 B1

E2 [X.] [X.], dokumentiert durch

[X.]) Betriebsanleitung PM 800 384 [X.] für das [X.]teuergerät [X.] aus dem Juni 1997

[X.]) Betriebsanleitung PM [X.]/B für die Magnetlagerelektronik TCM 180 aus dem August 1998

[X.] Pumping Station Control Unit [X.] 1001, dokumentiert durch Betriebsanleitung PM 800 247 BGB/A aus dem Juni 1993

[X.] Betriebsanleitung „Pumpenbetrieb mit [X.]", PM 800 547 [X.] aus dem Februar 1999

[X.] Betriebsanleitung „[X.] 001“, [X.] aus dem Juni 1997

[X.] „High-vacuum technology: a practical guide", Marsbed [X.], 2

[X.] „Handbuch Vakuumtechnik", [X.], [X.], [X.], 6. Auflage, [X.], 1997, [X.], Seiten 405, 406 und 647

[X.] Antriebselektroniken [X.] 015/035, dokumentiert durch die Betriebsanleitung PM [X.]/D aus dem Oktober 1997.

Zur Begründung ihres Einspruchs führt die Einsprechende aus, dass die mit den nebengeordneten Patentansprüchen 1 und 7 beanspruchten Gegenstände nicht auf einer erfinderischen Tätigkeit beruhten.

Die Einsprechende stellt den Antrag,

das Patent zu widerrufen.

[X.] stellt den Antrag,

das Patent aufrechtzuerhalten.

Nach Auffassung der Patentinhaberin sind sowohl das beanspruchte Verfahren nach Patentanspruch 1 als auch die beanspruchte Vorrichtung nach Patentanspruch 7 patentfähig. Bei der Prüfung der Patentfähigkeit sei der Inhalt der Entgegenhaltungen E2 bis [X.] und [X.] nicht zu berücksichtigen, da es sich bei ihnen um Betriebsanleitungen und nicht um vorveröffentlichte Druckschriften handele.

Der erteilte Patentanspruch 1 lautet:

„Verfahren zur Steuerung eines [X.], welcher zur Erzeugung eines Hochvakuums eine [X.] und eine [X.] umfasst, die folgenden Schritte umfassend:

a) Inbetriebnahme der [X.] (11), um die Gesamtanordnung zu evakuieren und einen vorbestimmten Vordruck aufzubauen;

b) Inbetriebnahme der [X.] (14), um einen vorbestimmten Enddruck aufzubauen;

c) Überwachung des Vordrucks [X.]) am Ausgang der [X.];

d) Schließen eines Ventils (16), welches zwischen der [X.] und der [X.] angeordnet ist, wenn der Vordruck einen unteren Schwellenwert unterschreitet;

e) Abschaltung der [X.] (17), wenn des Ventil geschlossen ist;

f) Wiederinbetriebnahme der [X.] (19), wenn der Vordruck einen oberen Schwellenwert überschreitet;

g) Öffnen des Ventils (21), um den Vordruck am Ausgang der [X.] zu senken;

h) Rückkehr zum Schritt c) und zyklisches Fortsetzen des Verfahrens;

dadurch gekennzeichnet, dass:

i) der Vordruck am Ausgang der [X.] mit einem Drucksensor überwacht wird;

j) nach der Wiederinbetriebnahme der [X.] im Schritt f) und vor dem Öffnen des Ventils im Schritt g) das Totvolumen zwischen [X.] und Ventil erneut evakuiert wird; und

k) das Ventil unbedingt geschlossen wird (33), wenn der Vordruck einen Fehlerschwellenwert überschreitet.“

Der erteilte Patentanspruch 7 lautet:

„[X.] zur Erzeugung eines Vakuums, umfassend:

- eine [X.] (2);

- einer [X.] (1), die für die [X.] einen bestimmten Vordruck bereitstellt

- ein schaltbares Ventil (4) zwischen [X.] und [X.];

- eine Steuereinheit (6), die basierend auf dem Vordruck die [X.] einschaltet und das Ventil öffnet, wenn der Vordruck einen oberen Schwellenwert überschreitet;

dadurch gekennzeichnet, dass

- ein Drucksensor (5) am Ausgang der [X.] angeordnet ist, um den dort anliegenden Vordruck zu bestimmen; und

- zwischen [X.] (1) und [X.] (2) nur das schaltbare Ventil (4) und notwendige Verbindungsleitungen angeordnet sind, um das Totvolumen zwischen den Pumpen möglichst klein zu halten.“

Zum Wortlaut der [X.] bis 6 und 8 bis 12 wird auf die [X.] ([X.]) verwiesen.

Auf die Terminsladung des Senats zur mündlichen Verhandlung am 15. September 2010 hat die Einsprechende mit Schriftsatz vom 12. August 2010 erklärt, dass sie nicht beabsichtige, an der für den 15. September 2010 festgesetzten mündlichen Verhandlung teilzunehmen. Es werde Entscheidung nach Aktenlage beantragt. Daraufhin hat der Senat den Termin der mündlichen Verhandlung aufgehoben.

Wegen der Einzelheiten des Vorbringens der Beteiligten wird auf den Inhalt der Akten verwiesen.

Im Erteilungsverfahren vor dem [X.] wurde zum Stand der Technik noch die

[X.] [X.] 5 039 280

berücksichtigt.

Die Zuständigkeit des [X.] ist durch [X.] § 147 Abs. 3 Satz 1 in den vom 1. Januar 2002 bis zum 30. Juni 2006 geltenden Fassungen begründet.

Der Einspruch ist unstreitig zulässig. In der Sache hat der Einspruch keinen Erfolg.

1. [X.] betrifft ein Verfahren zur Steuerung eines [X.], welcher zur Erzeugung eines Hochvakuums eine [X.] und eine [X.] umfasst. Außerdem betrifft das Streitpatent einen [X.] zur Erzeugung eines Vakuums.

Nach der Beschreibungseinleitung des [X.] sind in der Technik sogenannte Pumpstände bekannt, die eine oder mehrere Pumpen und die zugehörige Steuerungstechnik umfassen. Die jeweils einzusetzende Pumpe wird unter anderem anhand der gewünschten Druckanforderungen, der Fördermenge und des zu pumpenden Mediums bestimmt (Absatz [0002] der [X.]).

In der Vakuumtechnik ist es bekannt, dass zur Erzeugung eines Hochvakuums (oder eines [X.]) in einer gegebenen Gesamtanordnung eine [X.] mit einer [X.] kombiniert wird. Die bekannten [X.]n sind in der Lage, ein Hoch- bzw. Ultra-Hochvakuum innerhalb eines Rezipienten zu erzeugen. Für den Betrieb dieser [X.]n ist es aber erforderlich, dass die Ausgangsseite nicht unmittelbar an den Atmosphärendruck gekoppelt ist, sondern einem wesentlich geringeren Vordruck unterliegt. Dieser Vordruck wird von der [X.] erzeugt (Absatz [0003] der [X.]).

Bei derartigen Anordnungen nach dem Stand der Technik ist es erforderlich, dass die [X.] während der gesamten Betriebszeit des [X.] arbeitet, um den Vordruck kontinuierlich an dem Ausgang der [X.] bereitzustellen. Dies hat zur Folge, dass die [X.] einen erheblichen Energiebetrag verbraucht, obwohl nur sehr geringe Mengen des [X.] aus dem Evakuierungsvolumen abzusaugen sind (Absatz [0004] der [X.]).

Ein weiteres Problem bei bekannten Pumpständen zur Erzeugung eines Hochvakuums besteht darin, dass bei einem fehlerbedingten Ausfall der [X.] der Druck im Evakuierungsraum ansteigen kann, ohne dass rechtzeitig Maßnahmen zur Aufrechterhaltung des Vakuums eingeleitet werden können (Absatz [0005] der [X.]).

Aus der [X.] 5 039 280 ist nach der weiteren Beschreibungseinleitung des [X.] ein [X.] bekannt, der eine Reihenschaltung aus einer Hochvakuum- und einer [X.] zur Erzeugung eines Hochvakuums innerhalb eines Rezipienten umfasst. Zwischen dem druckseitigen Ausgang der [X.] und der [X.] sind ein Ventil und ein passiver Tank als [X.] angeordnet. Ein Zu- bzw. Abschalten der [X.] erfolgt bei Erreichen eines jeweils charakteristischen Wertes für die Stromaufnahme der Antriebsmotoren beider Pumpen (Absatz [0006] der [X.]).

Mit dem Streitpatent soll ein Verfahren zur Steuerung eines [X.] angegeben werden, durch welches die vorstehend angeführten Nachteile vermieden werden. Außerdem soll ein [X.] bereitgestellt werden, der dieses Verfahren realisieren kann. Insbesondere soll die notwendige Betriebszeit der [X.] reduziert werden, um einerseits Energie einzusparen und andererseits die Lebensdauer der [X.] zu erhöhen (Absatz [0007] der [X.]).

Diese Aufgabe wird durch das im Patentanspruch 1 angegebene Verfahren zur Steuerung eines [X.] sowie den im Patentanspruch 7 angegebenen [X.] zur Erzeugung eines Vakuums gelöst.

Das erfindungsgemäße Verfahren bietet nach der Beschreibung des [X.] den Vorteil, dass die [X.] nach der Bereitstellung des für den Betrieb der [X.] benötigten Vordrucks abgeschaltet werden kann. Während des Betriebs wird die [X.] nur dann aktiviert, wenn der am Ausgang der [X.] erforderliche Vordruck einen oberen Schwellenwert überschreitet. Durch die abhängige Steuerung des zwischen der [X.] und der [X.] angeordneten Ventils ist außerdem ein Anstieg des Vordrucks aufgrund von Undichtigkeiten im Bereich der [X.] ausgeschlossen. Durch die deutlich kürzeren Betriebszeiten der [X.] wird auch die Geräuschemission der Anlage stark verringert (Absatz [0009] der [X.]).

Mit dem in Patentanspruch 7 angegebenen [X.] kann dieses vorstehend beschriebene Verfahren vorteilhaft durchgeführt werden (Absatz [0012] der [X.]).

2. Das Verfahren nach Patentanspruch 1 ist patentfähig.

a) Bei der Prüfung der Patentfähigkeit des beanspruchten Verfahrens sind unstreitig die [X.] ([X.]) und das Handbuch Vakuumtechnik ([X.]) sowie die [X.] 50 39 280 ([X.]) als relevanter Stand der Technik zu berücksichtigen.

Entgegen der Auffassung der Patentinhaberin hat auch das Buch „High-Vacuum Technology“ ([X.]) als vorveröffentlichter Stand der Technik zu gelten, da die vorgelegten Kopien eine [X.] aufweisen, die die [X.] als allgemein zugängliches Buch dokumentiert, und da als Jahr der [X.] das Jahr 1997 angegeben ist, so dass die [X.] vor dem Anmeldetag des [X.] erfolgte (Blatt 2 der vorgelegten Kopie).

Die weiter vorgelegten Betriebsanleitungen sind hier jedoch nicht als Stand der Technik zu berücksichtigen, da die [X.] der Betriebsanleitungen vor dem Anmeldetag des [X.] von der [X.] nicht glaubhaft gemacht wurde. Denn die Einsprechende gibt lediglich in der Aufzählung der entgegengehaltenen Dokumente ein Datum an; es fehlt jedoch jede Ausführung, woraus sie dieses Datum abgeleitet hat. Außerdem fehlt jeder Vortrag, dass und auf welche Weise diese Betriebsanleitungen ab diesem Datum tatsächlich für die Öffentlichkeit zugänglich waren.

Die von der [X.] angeführten Betriebsanleitungen [X.], [X.], [X.] bis [X.] und [X.] betreffen ganz bestimmte Teile von bestimmten Vakuumpumpen. Erfahrungsgemäß werden solche Betriebsanleitungen nicht unmittelbar nach ihrem Druck für jedermann bereit gehalten, sondern sie werden in der Regel zusammen mit der jeweiligen Vakuumpumpe ausgeliefert. Die Betriebsanleitungen werden daher erst zusammen mit dem Verkauf der jeweiligen Vakuumpumpe der Öffentlichkeit zugänglich. Zu einem derartigen Verkauf macht die Einsprechende keinerlei Angaben. Der bloße Hinweis auf ein mögliches Druckdatum reicht daher auch zusammen mit der Vorlage von Kopien dieser Betriebsanleitungen nicht aus, den Zeitpunkt ihrer öffentlichen Zugänglichkeit vor dem Anmeldetag des [X.] glaubhaft zu machen.

Im Übrigen sprechen auch weitere Tatsachen offensichtlich dagegen, dass die Betriebsanleitungen am von der [X.] angegebenen Datum der Öffentlichkeit zugänglich waren. So weisen einige Betriebsanleitungen eine Vielzahl von Zahlenkombinationen auf, die möglicherweise als Druckdatum angesehen werden könnten. Beispielsweise wird auf die Betriebsanleitung [X.] ([X.]) hingewiesen, bei der auf der ersten Seite die Zahlenkombination „(9706)“, auf der vorletzten Seite die Zahlenkombination „(9606)“ und die Angabe „Herbst I/9606“ und auf der letzten Seite die Zahlenkombination „0397“ angegeben ist. Ob eine [X.] dieser Betriebsanleitung im Juni 1997 erfolgt ist, wie die Einsprechende meint, lässt sich somit aus diesen Zahlenkombinationen nicht ableiten. Noch nicht einmal ein bestimmtes Druckdatum ist ihnen zu entnehmen.

Außerdem ist für den Senat nicht erkennbar, dass diese Betriebsanleitungen als Ganzes an dem jeweils behaupteten Datum gedruckt wurden. Denn den Kopien ist an Hand der Lochungspunkte zu entnehmen, dass die Betriebsanleitungen lediglich als Folge von losen Blättern abgeheftet waren.

Da die Einsprechende Entscheidung der Sache nach Aktenlage beantragt hat, konnten diese offenen Punkte vom Senat nicht geklärt werden. Dies geht zu Lasten der [X.]. Für die von ihr angeführten Betriebsanleitungen ist daher nicht glaubhaft gemacht, dass sie vor dem Anmeldetag des [X.] der Öffentlichkeit zugänglich waren, so dass sie bei der Prüfung des [X.] nicht als Stand der Technik zu berücksichtigen sind.

b) Zwischen den Parteien ist unstreitig, dass das Verfahren zur Steuerung eines [X.] mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 neu ist. Das beanspruchte Verfahren ist offensichtlich gewerblich anwendbar und wird dem zuständigen Fachmann auch nicht durch den im Verfahren befindlichen und zu berücksichtigenden Stand der Technik nahe gelegt. Als zuständiger Fachmann ist ein Diplom-Ingenieur der Fachrichtung Maschinenbau anzusehen, der über Erfahrung in der Entwicklung und Konstruktion von Pumpständen und deren Steuerung verfügt.

Die Einsprechende hat in der Begründung des Einspruchs ausgeführt, dass sich das beanspruchte Verfahren für den zuständigen Fachmann durch eine Weiterbildung des aus der [X.] ([X.]) bekannten Verfahrens ergebe, zu der er durch die Lehre der Betriebsanleitung [X.] ([X.]) angeregt werde.

Wie unter Punkt 2.a ausgeführt wurde, ist diese Betriebsanleitung jedoch nicht als vorveröffentlichter Stand der Technik zu berücksichtigen, so dass der Argumentation der [X.] nicht gefolgt werden kann.

Die vom Senat im Wege der Amtsermittlung vorgenommene Überprüfung nach Aktenlage hat ergeben, dass der im Verfahren befindliche zu berücksichtigende Stand der Technik dem Fachmann das Verfahren nach Patentanspruch 1 nicht nahe legen kann.

Aus der [X.] ([X.]), die inhaltlich der bereits im Erteilungsverfahren berücksichtigten [X.] [X.] 5 039 280 ([X.]) entspricht, ist unstreitig ein Verfahren mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Patentanspruchs 1 bekannt. Das bekannte Verfahren dient zur Steuerung eines [X.], welcher zur Erzeugung eines Hochvakuums eine [X.] ([X.]) 1 und eine [X.] (Primärpumpe) 4 umfasst (Seite 2, Zeilen 12 bis 17 mit Figur 1 der [X.]). Beim bekannten Verfahren wird zunächst die [X.] 4 in Betrieb genommen, um die Gesamtanordnung zu evakuieren und einen bestimmten Vordruck aufzubauen (Seite 2, Zeilen 25 bis 28 der [X.] - Verfahrensschritt a des Patentanspruchs 1 des [X.]). Anschließend wird die [X.] 1 in Betrieb genommen, um einen vorbestimmten Enddruck aufzubauen (Seite 2, Zeilen 28 bis 30 der [X.] - Verfahrensschritt b). Der Vordruck am Ausgang der [X.] 1 wird überwacht (Seite 3, Zeilen 9 bis 16 der [X.] - Verfahrensschritt c). Wenn der Vordruck einen unteren Schwellenwert unterschreitet, wird ein zwischen der [X.] 4 und der [X.] 1 angeordnetes Ventil (Trennventil) 11 geschlossen und die [X.] abgeschaltet (Seite 3, Zeilen 17 bis 20 der [X.] - Verfahrensschritte d, e). Wenn der Vordruck einen oberen Schwellenwert überschreitet, wird die [X.] 4 wieder in Betrieb genommen und das Ventil 11 geöffnet, um den Vordruck am Ausgang der [X.] zu senken (Seite 3, Zeilen 20 bis 25 der [X.] - Verfahrensschritte f, g). Dass dieses Verfahren zyklisch fortgesetzt wird, ist der Figur 2 der [X.] unmittelbar zu entnehmen (Verfahrensschritt h).

Stellt sich der zuständige Fachmann die Aufgabe, dieses Verfahren weiter zu verbessern, so liefern ihm weder die [X.] ([X.]) in Verbindung mit seinem Fachwissen noch die weiteren zu berücksichtigenden Entgegenhaltungen eine Anregung, das bekannte Verfahren in Richtung des beanspruchten Verfahrens weiter zu entwickeln.

₁ und ein minimaler Stromwert I ₂ erfasst. Diese Stromwerte entsprechen einem ersten Ansaugwert P ₁ und einem zweiten Ansaugwert P ₂ <P ₁ im Behälter 10 (Seite 3, Zeilen 9 bis 16 der [X.]). Drucksensoren zur Druckmessung sind daher nicht erforderlich. Diese Druckschrift lehrt somit, dass durch eine Erfassung von [X.] auf einen Drucksensor verzichtet werden kann. Dies steht im Gegensatz zum Verfahrensschritt i des Patentanspruchs 1 des [X.], so dass diese Lehre das Augenmerk des Fachmanns vom Streitpatent weg richtet.

₃ wieder in Betrieb zu nehmen und gleichzeitig das Ventil 11 zu öffnen (Seite 4, Zeilen 7 bis 9 und Figur 2 der [X.]). Demgegenüber wird mit dem Verfahrensschritt j beansprucht, nach der Wiederinbetriebnahme der [X.] zunächst (bei geschlossenem Ventil) das Totvolumen zwischen [X.] und Ventil zu evakuieren und erst anschließend nach dem Evakuieren des [X.] das Ventil zwischen der [X.] und der [X.] zu öffnen. Zum Verfahrensschritt k des Patentanspruchs 1 des [X.] sind der [X.] ([X.]) keinerlei Informationen zu entnehmen, da dort Störungen des [X.] nicht angesprochen werden.

Die Bücher „High-Vacuum Technology“ ([X.]) und „Handbuch Vakuumtechnik“ ([X.]), die von der [X.] nicht zum Patentanspruch 1, sondern lediglich zu Unteransprüchen angeführt wurden, haben offensichtlich keinen Bezug zum Verfahren nach Patentanspruch 1. Nach dem Buch „High-Vacuum Technology“ ([X.]) soll die [X.] bei 1 bis 10 mbar liegen. Mit dem „Handbuch Vakuumtechnik“ ([X.]) wird lediglich nachgewiesen, dass dem Fachmann Druckaufnehmer sowie bestimmte Arbeitsbereiche von üblichen Vakuumpumpen allgemein bekannt sind. Beide Lehren können daher das beanspruchte Verfahren ebenfalls nicht anregen.

3. Der [X.] nach Patentanspruch 7 ist patentfähig.

a) Wie zum Patentanspruch 1 ausgeführt wurde, sind die Betriebsanleitungen [X.], [X.], [X.] bis [X.] und [X.] auch hier nicht als Stand der Technik zu berücksichtigen.

b) Zwischen den Parteien ist unstreitig, dass der [X.] zur Erzeugung eines Vakuums mit den Merkmalen des Patentanspruchs 7 neu ist. Der beanspruchte [X.] ist offensichtlich gewerblich anwendbar und wird dem zuständigen Fachmann auch nicht durch den im Verfahren befindlichen relevanten Stand der Technik nahe gelegt.

Die Einsprechende stützt ihre Begründung der mangelnden erfinderischen Tätigkeit darauf, dass dem zuständigen Fachmann die mit dem Streitpatent beanspruchte Vorrichtung durch eine Zusammenschau der Lehren der [X.] ([X.]) mit der Betriebsanleitung [X.] ([X.]) oder der Betriebsanleitung [X.] 1001 ([X.]) mit der Betriebsanleitung [X.] ([X.]) oder [X.] ([X.]) mit [X.] ([X.]) oder [X.]180 ([X.] und [X.]) mit [X.] ([X.]) nahe gelegt werde. Jede dieser Kombinationen stützt sich zumindest auf eine der von der [X.] angeführten Betriebsanleitungen. Da die Betriebsanleitungen jedoch, wie unter 2.a ausgeführt wurde, nicht zum vorveröffentlichten Stand der Technik gehören, sind diese Begründungen nicht schlüssig.

Die vom Senat im Wege der Amtsermittlung vorgenommene Überprüfung nach Aktenlage hat ergeben, dass der im Verfahren befindliche zu berücksichtigende Stand der Technik dem Fachmann die Vorrichtung nach Patentanspruch 7 nicht nahe legen kann.

Aus der [X.] ([X.]) ist ein [X.] zur Erzeugung eines Vakuums bekannt, der eine [X.] ([X.]) 1 und eine [X.] (Primärpumpe) 4 umfasst. Die [X.] 4 stellt einen bestimmten Vordruck für die [X.] 1 bereit (Seite 2, Zeilen 12 bis 17 der [X.]).

Zwischen der [X.] 4 und der [X.] 1 ist ein schaltbares Ventil (Trennventil) 11 angeordnet (Seite 3, Zeilen 3 bis 6 mit Figur 1 der [X.]). Wenn der Vordruck einen oberen Schwellenwert überschreitet, schaltet eine Steuereinheit (Steuerschaltung) 7 die [X.] 4 ein und öffnet das Ventil 11 (Seite 3, Zeilen 20 bis 25 der [X.]).

Stellt sich der zuständige Fachmann die Aufgabe, diesen [X.] weiter zu verbessern, so geben ihm weder die [X.] ([X.]) in Verbindung mit seinem Fachwissen noch die weiteren zu berücksichtigenden Entgegenhaltungen eine Anregung, die bekannte Vorrichtung in Richtung des beanspruchten [X.] weiter zu entwickeln.

₁ und ein minimaler Stromwert I ₂ erfasst. Diese Stromwerte entsprechen einem ersten Ansaugwert P ₁ und einem zweiten Ansaugwert P ₂ <P ₁ im Behälter 10 (Seite 3, Zeilen 9 bis 16 der [X.]). Drucksensoren zur Druckmessung sind daher nicht erforderlich. Diese Druckschrift lehrt somit, dass durch eine Erfassung von [X.] auf einen Drucksensor verzichtet werden kann. Weiter ist beim [X.] nach der [X.] ([X.]) zwischen der [X.] 11 und der [X.] 4 ein passiver Behälter 10 vorgesehen. Durch die Größe des Volumens des Behälters 10 lässt sich das Verhältnis der Betriebszeit zur Stillstandszeit der [X.] 4 beeinflussen (Seite 4, Zeilen 25 bis 28 der [X.]). Der zuständige Fachmann sieht sowohl in der Tatsache, dass kein Drucksensor erforderlich ist, als auch in der Beeinflussbarkeit des Verhältnisses der Betriebszeit zur Stillstandszeit Vorteile, auf die er nicht verzichten würde. Daher wird er im Rahmen seiner fachüblichen Überlegungen weder auf die Stromwerterfassung noch auf den zwischengeschalteten passiven Behälter verzichten.

Der weitere zu berücksichtigende Stand der Technik gibt dem Fachmann ebenfalls keine Anregung zum beanspruchten [X.]. Nach dem Buch „High-Vacuum Technology“ ([X.]) soll die [X.] bei 1 bis 10 mbar liegen. Mit dem „Handbuch Vakuumtechnik“ ([X.]) wird lediglich nachgewiesen, dass dem Fachmann Druckaufnehmer sowie bestimmte Arbeitsbereiche von üblichen Vakuumpumpen allgemein bekannt sind. Beide Lehren haben offensichtlich keinen Bezug zum [X.] nach Patentanspruch 7, so dass sie zur mit dem Patentanspruch 7 beanspruchten Vorrichtung ebenfalls keine Anregungen geben können.

4. Mit den Patentansprüchen 1 und 7 haben auch die auf diese rückbezogenen Patentansprüche 2 bis 6 und 8 bis 12 Bestand.