Bundespatentgericht, Beschluss vom 25.10.2016, Az. 23 W (pat) 8/15

Die vorliegende Patentanmeldung mit dem Aktenzeichen 10 2013 014 147.8 und der Bezeichnung „Verfahren und Vorrichtung zum [X.] einer Plasmazündung“ wurde am 23. August 2013 beim [X.] eingereicht. Gleichzeitig mit der Anmeldung wurde Prüfungsantrag gestellt.

Die Prüfungsstelle für Klasse [X.] hat im Prüfungsverfahren auf den Stand der Technik gemäß den folgenden Druckschriften verwiesen:

[X.] [X.] 6 841 124 B2;

[X.] [X.] 2010/015 385 [X.];

D3 [X.] 2005/068 986 [X.];

[X.] [X.] 691 05 764 T2  und

[X.] [X.] 102 39 130 [X.].

Sie hat in einem Bescheid zunächst ausgeführt, dass die selbständigen Ansprüche 1 und 4 ebenso wie auch einige [X.] formuliert seien, weshalb sie nicht zulässig seien. Es sei fraglich, ob die Lehre des Anspruchs 1 ausführbar ist. In einem weiteren Bescheid hat sie zu einem geänderten Anspruch 1 ausgeführt, dass dieser auf Grund der vorgenommenen Veränderungen unzulässig erweitert und damit ebenfalls unzulässig sei. Für den nebengeordneten Anspruch 4 gelte das Gleiche. Diese in den Bescheiden geäußerten Ansichten hat die Prüfungsstelle in einer Anhörung am 17. März 2015 nochmals erläutert.

Die [X.] haben der Prüfungsstelle in einer Eingabe vom 5. August 2014 und in der Anhörung jeweils widersprochen, wobei sie in der Anhörung die ursprünglichen Ansprüche als Hauptantrag und den mit ihrer Eingabe eingereichten Anspruchssatz als Hilfsantrag aufrechterhalten haben.

In der Folge hat die Prüfungsstelle die Anmeldung mit Beschluss vom 17. März 2015 in der Anhörung zurückgewiesen, weil die Lehre des Anspruchs 1 nach Hauptantrag nicht ausführbar sei (§ 34 Abs. 4 [X.]) und das Verfahren des Anspruchs 1 nach Hilfsantrag unzulässig erweitert sei (§ 38 [X.]). Die schriftliche Begründung wurde den [X.] am 27. März 2015 mit Schriftsatz vom 24. März 2015 zugestellt.

Gegen diesen Beschluss haben die [X.] unter Zahlung nur einer [X.] mit Schriftsatz vom 27. April 2015, am selben Tag beim [X.] eingegangen, Beschwerde eingelegt und in diesem Schriftsatz auch begründet.

Der Senat hat mit der Ladung zur mündlichen Verhandlung noch auf den Stand der Technik gemäß den Druckschriften

[X.] JP 2002-313 775 A  und

[X.] [X.] 10 2010 050 258 [X.]

hingewiesen. Während die Druckschrift [X.] im Recherchebericht der [X.] 2015/025 032 [X.], die die vorliegende Anmeldung als Priorität in Anspruch nimmt, genannt wird, wurde die Druckschrift [X.] bereits von den [X.] in den ursprünglichen Unterlagen als Stand der Technik angegeben.

In der mündlichen Verhandlung am 25. Oktober 2016 haben die [X.] einen neuen Anspruchssatz als nunmehr einzigen Antrag eingereicht und beantragt:

1. den Beschluss der Prüfungsstelle für Klasse [X.] des [X.]s vom 17. März 2015 (schriftlich begründet durch Beschluss vom 24. März 2015) aufzuheben.

2. Ein Patent zu erteilen mit der Bezeichnung „Verfahren und Vorrichtung zum [X.] einer Plasmazündung“, dem Anmeldetag 23. August 2013 auf der Grundlage folgender Unterlagen:

- Patentansprüche 1 bis 7, überreicht in der mündlichen Verhandlung am 25. Oktober 2016;

- Beschreibungsseiten 1 und 5 bis 14, eingegangen im [X.] am Anmeldetag;

- Beschreibungsseiten 2 bis 4 und 4a, eingegangen im [X.] am 5. August 2014;

- 3 Blatt Zeichnungen mit Figuren 1 bis 3, eingegangen im [X.] am Anmeldetag.

Der in der mündlichen Verhandlung überreichte Anspruch 1 lautet mit bei unverändertem Wortlaut eingefügter Gliederung:

„1. Verfahren zum [X.] einer Zündung oder eines Erlöschens eines Plasmas in einer [X.] zur Behandlung von Substraten, das die folgenden Schritte aufweist:

1.1 Messen des Drucks innerhalb der [X.] mit einem Drucksensor über einen Zeitraum;

1.2 [X.] einer sprunghaften Druckänderung; und

1.3 Ermitteln des Zündens oder Erlöschens des Plasmas anhand der sprunghaften Druckänderung;

1.4 Durchführen einer Plausibilitätsprüfung der Ermittlung unter Berücksichtigung wenigstens eines der folgenden Prozessparameter: der [X.]zusammensetzung, der Ansteuerparameter einer Vakuumeinheit und/oder einer Gaszuführung, der Temperatur in der [X.], der in wenigstens eine [X.] eingespeisten und/oder hierdurch reflektierten [X.] und der Anzahl der [X.]n.“

Der nebengeordnete Anspruch 4 lautet mit bei unverändertem Wortlaut eingefügter Gliederung:

4. Vorrichtung zum [X.] einer Zündung oder eines Erlöschens eines Plasmas in einer [X.] zur Behandlung von Substraten, die Folgendes aufweist:

4.1 eine [X.] zur Aufnahme wenigstens eines Substrats mit wenigstens einem Plasmaerzeuger;

4.2 wenigstens einen Drucksensor, der so angeordnet ist, dass er den Druck innerhalb der [X.] detektieren und ein dem Druck entsprechendes Ausgangssignal ausgeben kann;

4.3 Mittel zum Bestimmen von Werten wenigstens eines der folgenden Prozessparameter: die [X.]zusammensetzung, Ansteuerparameter einer Vakuumeinheit und/oder Gaszuführung, die Temperatur in der [X.], die in die wenigstens eine [X.] eingespeiste und/oder hierdurch reflektierte [X.] und die Anzahl der [X.]n,

4.4 wenigstens eine Auswerteeinheit, die ein Ausgangssignal des Drucksensors und ein Signal, das wenigstens einem der obigen Werte entspricht, über einen Zeitraum hinweg verfolgt und anhand einer sprunghaften Veränderung des Ausgangssignals des Drucksensors eine Zündung oder ein Erlöschen des Plasmas ermittelt und eine Plausibilitätsprüfung dieser Ermittlung anhand wenigstens eines der obigen Werte durchführt.“

Hinsichtlich des Wortlauts der den beiden selbständigen Ansprüchen untergeordneten Ansprüche 2, 3 und 5 bis 7 sowie der weiteren Einzelheiten wird auf den Akteninhalt verwiesen.

Die form- und fristgerecht erhobene Beschwerde der [X.] ist zulässig und erweist sich nach dem Ergebnis der mündlichen Verhandlung vom 25. Oktober 2016 auch als begründet. Sie führt zur Aufhebung des Beschlusses der Prüfungsstelle für Klasse [X.] und zur Erteilung des Patents gemäß dem in der mündlichen Verhandlung gestellten Antrag, denn die Patentansprüche dieses Antrags sind zulässig, und ihre Lehre ist sowohl ausführbar als auch patentfähig.

1. Die Beschwerde der [X.] ist zulässig, auch wenn die [X.] nur eine Beschwerdegebühr entrichtet haben.

a) Die Vertreter der [X.] haben am 27. April 2015 mit folgenden Worten Beschwerde erhoben:

„Anmelder: [X.] und [X.] GmbH

Gegen den Zurückweisungsbeschluss vom 24. März 2015 … wird Beschwerde eingelegt. Die [X.] in Höhe von € 200,- wird durch beiliegendes Lastschriftformular ([X.]) bezahlt.“

In dem Formular „Angaben zum Verwendungszweck des Mandats“ vom 27. April 2015 heißt es:

„(1) Das Mandat soll für folgende Verfahren verwendet werden:

Amtliches Aktenzeichen: [X.] Betrag in € Erläuterungen

10 2013 114 147.8 401 300 200,00 [X.]

Gesamtbetrag: 200,00

Name des Schutzrechtsinhabers: [X.]; [X.] GmbH“

Nach Nummer 401 300 des Gebührenverzeichnisses als Anlage zu § 2 Abs. 1 PatKostG ist am 27. April 2015 eine Gebühr in Höhe von 200 € entrichtet worden.

b) Nach § 73 Abs. 1 [X.] findet gegen die Beschlüsse der [X.] die Beschwerde statt. Gemäß § 2 Abs. 1 PatKostG werden Gebühren nach dem Gebührenverzeichnis der Anlage zu diesem Gesetz erhoben. In Anlage B des Gebührenverzeichnisses (Anlage zu § 2 Abs. 1 PatKostG) sind die Gebühren des [X.] in Form von Gebührentatbeständen aufgelistet. Gemäß Abs. 1 der Vorbemerkung vor Abschnitt I in Teil B des Gebührenverzeichnisses werden die Gebühren Nummer 400 000 bis 401 300 für jeden Antragsteller gesondert erhoben. Im Beschwerdeverfahren, das in Abschnitt I geregelt ist, ist nach [X.] 401 300 in anderen als den in den [X.]n 400 000, 401 100 und 401 200 behandelten Fällen eine Gebühr von 200 € zu entrichten. Ist für die Stellung eines Antrags oder die Vornahme einer sonstigen Handlung durch Gesetz eine Frist bestimmt, so ist nach § 6 Abs. 1 Satz 1 PatKostG innerhalb dieser Frist auch die Gebühr zu zahlen. Wird eine Gebühr nach § 6 Abs. 1 PatKostG nicht, nicht vollständig oder nicht rechtzeitig gezahlt, so gilt nach § 6 Abs. 2 PatKostG die Anmeldung oder der Antrag als zurückgenommen, oder die Handlung als nicht vorgenommen, soweit gesetzlich nichts anderes bestimmt ist.

§ 6 Abs. 2 PatKostG unterscheidet zwischen Antrag und sonstiger Handlung. Bei dieser Unterscheidung unterfällt die Beschwerde der letztgenannten Gruppe (

Nach Abs. 1 der Vorbemerkung vor Abschnitt I in Teil B des Gebührenverzeichnisses des [X.]es werden die dort genannten Gebühren „für jeden Antragsteller gesondert erhoben“. Mit „Antragsteller“ ist der „Beschwerdeführer“ gemeint, weil es in Abschnitt I um „Beschwerdeverfahren“ geht (

c) Abs. 1 der Vorbemerkung vor Abschnitt I in Teil B des Gebührenverzeichnisses ist durch das „Gesetz zur Änderung des patentamtlichen Einspruchsverfahrens und des [X.]“ vom 21. Juni 2006 in das [X.] eingefügt worden und am 1. Juli 2006 in [X.] getreten (

„wird klargestellt, dass in bestimmten Verfahren vor dem [X.] und dem [X.], in denen mehrere Beteiligte gemeinsam einen Antrag stellen oder einen Rechtsbehelf bzw. ein Rechtsmittel einlegen, Gebühren von jedem Beteiligten zu zahlen sind.“

Die Einfügung des Abs. 1 der Vorbemerkung vor Abschnitt I in Teil B des Gebührenverzeichnisses wird im Besonderen Teil des Gesetzentwurfs der Bundesregierung folgendermaßen begründet (

„Die Vorbemerkung wird neu eingeführt.

Nach Absatz 1 sollen in allen Beschwerdeverfahren die Gebühren – ebenso wie im patentamtlichen Verfahren – von jedem Verfahrensbeteiligten erhoben werden (siehe Begründung zur Vormerkung zu Teil A des Gebührenverzeichnisses).“

d) Nach der Rechtsprechung des [X.] (

e) Der Senat ist der Auffassung, dass die Beschwerdeführer nicht zweifelsfrei erkennen konnten, dass jeder von ihnen eine Gebühr nach Nummer 401 300 der Anlage [X.] zu § 2 Abs. 1 PatKostG in Höhe von 200 € zahlen musste, um zu verhindern, dass die Einlegung ihrer Beschwerde nach § 73 [X.] gegen den Beschluss der Prüfungsstelle des [X.] nach § 6 Abs. 2 PatKostG als nicht vorgenommen gilt.

Zwar weist die Rechtsmittelbelehrung des Beschlusses des [X.] vom 24. März 2015 darauf hin, dass die [X.] in Höhe von 200 € für jeden Beschwerdeführer gesondert zu zahlen ist. Auch werden die Gebühren Nummer 400 000 bis 401 300 nach Abs. 1 der Vorbemerkung vor Abschnitt I in Teil B des Gebührenverzeichnisses des [X.]es ausdrücklich für jeden Antragsteller gesondert erhoben.

Gleichwohl meint der Senat, dass die genannte Gesetzesbestimmung auslegungsbedürftig ist, und für die Beschwerdeführer Zweifel an dem Erfordernis der Zahlung von zwei [X.]en blieben. Denn zum einen sollen die Gebühren nach der genannten Vorschrift für jeden „Antragsteller“ gesondert erhoben werden, was den um Rechtsschutz nachsuchenden Bürger zu der Prüfung zwingt, ob dies auch für jeden Beschwerdeführer gilt.

Zweifel an dem Erfordernis der Zahlung von zwei [X.]en bestanden für die Beschwerdeführer zum anderen und vor allem deshalb, weil es in der zitierten Begründung zu Abs. 1 der Vorbemerkung vor Abschnitt I in Teil B des Gebührenverzeichnisses heißt, dass im Beschwerdeverfahren die Gebühren „

Neben den schon genannten Gründen hält der Senat Abs. 1 der Vorbemerkung vor Abschnitt I in Teil B des Gebührenverzeichnisses des [X.]es trotz seines scheinbar eindeutigen Wortlauts, Gebühren für jeden „[X.] gesondert zu erheben, auch deshalb für auslegungsbedürftig, weil die Antwort auf die Frage, ob der Wortlaut eines Gesetzes eindeutig und deshalb nicht auslegungsbedürftig ist, die Auslegung des Wortlauts des Gesetzes erfordert.

Der Senat setzt sich mit der geschilderten Auffassung nicht in Widerspruch zur Rechtsprechung des [X.] in dem Beschluss „[X.]“. Denn der [X.] hat dort (

Mehrere Anmelder, die sich zwangsläufig gemeinsam gegen die Zurückweisung ihrer Patentanmeldung durch eine Prüfungsstelle des [X.] beim B[X.] beschweren, zur Zahlung mehrerer [X.]en zu verpflichten, erscheint in der Sache zudem unberechtigt. Mehrere Einsprechende können gegenüber dem B[X.] durchaus unterschiedliche Einwendungen vorbringen und unterschiedliche Anträge stellen und damit einen Mehraufwand verursachen, der die Zahlung mehrerer [X.]en rechtfertigt. An einem entsprechenden Mehraufwand seitens des B[X.], der mehrere [X.]en rechtfertigen könnte, fehlt es aber, wenn nicht nur einer, sondern mehrere Anmelder Beschwerde gegen die Zurückweisung ihrer Patentanmeldung einlegen. Anders als mehrere Einsprechende sind mehrere Anmelder notwendige Streitgenossen, die einheitliche Anträge stellen müssen. Bei Streit ist das Verfahren bis zur rechtskräftigen Erledigung eines Prozesses unter ihnen auszusetzen. Bleibt es bei unterschiedlichen Anträgen, ist wegen der Bindung an den Antrag die Beschwerde zurückzuweisen (

f) Würde(n) die Beschwerde(n) mehrerer Anmelder nach § 6 Abs. 2 PatKostG als nicht eingelegt gelten, weil sie die [X.]en nicht bzw. nicht vollständig gezahlt haben, obwohl aus den genannten Gründen die um Rechtsschutz nachsuchenden Beschwerdeführer den Umfang ihrer Zahlungspflicht nicht zweifelsfrei erkennen konnten, würde dies auf eine mit dem Rechtstaatlichkeitsgebot unvereinbare Erschwerung des Zugangs der Anmelder zu einer gerichtlichen Instanz hinauslaufen (

Angesichts der vorausgehenden Darlegungen ist die Beschwerde der beiden [X.] zulässig, auch wenn nur eine [X.] entrichtet wurde.

g) Die vorstehende Rechtsauffassung hat der Senat bereits seinen Beschlüssen vom 7. Juni 2016 (

2. Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum [X.] einer Plasmazündung und/oder eines Erlöschens eines Plasmas in einer [X.] zur Behandlung von Substraten, insbesondere [X.] (

Bei der Herstellung von elektronischen Bauelementen, wie beispielsweise Speicherchips, Mikroprozessoren, aber auch in der Photovoltaik oder im Bereich von Flachbildschirmen sind unterschiedliche Produktionsschritte zur Herstellung eines Endprodukts notwendig. Dabei werden während der Herstellung der Produkte unterschiedliche Schichten zum Aufbau der elektronischen Bauelemente aufgebracht. Eine wichtige Klasse dieser Schichten sind dielektrische Schichten, welche unterschiedliche Schichten isolieren. Wie auch bei allen anderen Schichtaufbauten ist es notwendig, die dielektrischen Schichten fehlerfrei und zuverlässig aufzubauen, um die Funktionalität des Bauelements sicherzustellen.

Für die Ausbildung von dielektrischen oder anderen Schichten oder auch die Behandlung solcher Schichten auf einem Substrat sind unterschiedliche Verfahren bekannt. Insbesondere sind thermische Behandlungsverfahren vielfältig bekannt. Eine neuere Entwicklung zeigt, dass der Einsatz eines Plasmas bei der Schichtbildung auf Substraten oder auch der Behandlung von Substraten vorteilhaft sein kann.

In der [X.] 2010/015385 A ([X.]) ist eine stabförmige Mikrowellen-[X.] beschrieben, bei der ein Innenleiter in einem ersten Teilbereich vollständig von einem Außenleiter umgeben ist. Benachbart zu diesem Teilbereich schließt sich ein Teilbereich an, in dem der Außenleiter eine sich zu einem freien Ende erweiternde Öffnung besitzt. Im Bereich der sich erweiternden Öffnung wird [X.] zur Erzeugung eines Plasmas quer zur [X.] ausgekoppelt. Solche stabförmigen [X.]n können einem zu behandelnden Substrat gegenüberliegend angeordnet werden. Das Substrat ist dann nicht zwischen den das Plasma erzeugenden Elektroden angeordnet, wie es bei älteren Behandlungsvorrichtungen der Fall ist. Mit solchen [X.]n lassen sich verbesserte Bearbeitungsergebnisse erzielen.

Ein Beispiel einer Anwendung solcher [X.]n liegt in der Ausbildung von dielektrischen Schichten auf [X.]. Hierbei wird ein [X.] in Kontakt mit dem [X.] geleitet und ein Plasma aus dem [X.] benachbart zu wenigstens einer Oberfläche des [X.]s erzeugt.

Bei allen Behandlungsverfahren, welche Plasma einsetzen, ist es für den Prozess wichtig, zu wissen, wann ein Plasma brennt, d. h. gezündet hat, und wann nicht, d. h. gegebenenfalls erloschen ist. Dies gilt insbesondere bei Prozessen, bei denen nur eine geringe [X.] in die [X.](n) eingespeist wird, und eine Plasmazündung nicht immer gegeben ist oder nur verzögert auftritt. Bisher ist hierzu kein verlässliches Messverfahren bekannt.

Zwar könnten optische Sensoren rasch eine plasmabedingte Lichterscheinung detektieren, aber nur, wenn nicht zusätzliche Lichtquellen vorhanden sind, welche die Lichterscheinung überlagern können, wie es beispielsweise bei [X.] innerhalb der [X.] der Fall sein kann (

Hiervon ausgehend liegt der Anmeldung als technisches Problem die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum [X.] eines Plasmas vorzusehen, das bzw. die eine sichere Detektion einer Plasmazündung oder eines Erlöschens eines Plasmas erlaubt (

Diese Aufgabe wird durch das Verfahren des Anspruchs 1 und den Gegenstand des Anspruchs 4 gelöst.

Das Wesentliche des beanspruchten Verfahrens zum [X.] einer Zündung oder eines Erlöschens eines Plasmas in einer [X.] zur Behandlung von Substraten besteht darin, dass es den Druck innerhalb der [X.] über einen Zeitraum misst. Ändert sich dieser Druck sprunghaft, also innerhalb eines zum Messzeitraum vergleichsweise kurzen Zeitabschnitts, so wird diese Druckänderung detektiert und ein Zünden oder Erlöschen des Plasmas anhand dieser sprunghaften Druckänderung ermittelt. Dies bedeutet, dass zunächst jede sprunghafte Druckänderung mit dem Zünden oder einem Erlöschen des Plasmas gleichgesetzt wird.

Auch wenn bei einer ordnungsgemäß betriebenen Plasmakammer eine Plasmazündung oder ein Erlöschen des Plasmas die wahrscheinlichste Ursache für eine sprunghafte Druckänderung ist, so gibt es doch weitere Möglichkeiten, so beispielsweise ein Gasleck oder eine Fehlsteuerung eines Gaseinlassventils, die ebenfalls zu einer sprunghaften Druckänderung führen können. Um solche anderen Ereignisse ausschließen zu können, wird bei dem anmeldungsgemäßen Verfahren in der Folge eine Plausibilitätsprüfung durchgeführt, die weitere Prozessparameter, nämlich mindestens einen aus der [X.]zusammensetzung, der Ansteuerparameter einer Vakuumeinheit und/oder einer Gaszuführung, der Temperatur in der [X.], der in wenigstens eine [X.] eingespeisten und/oder hierdurch reflektierten [X.] und der Anzahl der [X.]n, berücksichtigt.

3. Als zuständiger Fachmann ist hier ein berufserfahrener Physiker oder Ingenieur der Fachrichtung Elektrotechnik mit Hochschulabschluss zu definieren, der mit der Entwicklung und Verbesserung von Plasmabeschichtungs- oder –ätzanlagen, aber auch mit anderen [X.], wie Desinfektions- oder Reinigungsanlagen betraut ist.

4. Die geltenden Ansprüche sind zulässig (§ 38 [X.]).

So geht der geltende Anspruch 1 aus dem ursprünglichen Anspruch 1 hervor, indem in ihn Merkmale aus S. 13, [X.] 4 bis 29 der ursprünglichen Beschreibung aufgenommen wurden, nämlich die Nutzung der in diesen Zeilen genannten Parameter für eine Plausibilitätsprüfung, wie sie in den Zeilen 29 und 30 des angegebenen Abschnitts offenbart ist. Die im ursprünglichen Anspruch 1 enthaltene Angabe, dass die Druckänderung durch ein Zünden oder ein Erlöschen eines Plasmas bedingt ist, wurde weggelassen. Dies ist auch zulässig, da das Verfahren gemäß des geltenden Anspruchs 1 nunmehr nicht, wie im ursprünglichen Anspruch 1 beansprucht, zum „[X.] eines Plasmas“ geeignet sein soll, sondern zum „[X.] einer Zündung oder eines Erlöschens eines Plasmas“, was wiederum bedeutet, dass zumindest ein Teil der detektierten sprunghaften Druckänderungen durch ein Zünden oder Erlöschen eines Plasmas bedingt sein muss. Es wurde demnach nur ein redundantes Merkmal weggelassen. Damit ist das Verfahren des geltenden Anspruchs 1 ursprünglich offenbart und Anspruch 1 zulässig.

Dies gilt auch für den geltenden Anspruch 4, der aus dem ursprünglichen Anspruch 4 hervorgeht. In ihn wurden dieselben Verfahrensmerkmale wie in Anspruch 1 eingefügt, welche, wie bereits zu Anspruch 1 angegeben, ursprünglich offenbart sind. Dabei wurde der Anspruch dahingehend eingeschränkt, dass die Auswerteeinheit nicht nur in der Lage ist, das Verfahren durchzuführen, sondern es, wie in der ursprünglichen Beschreibung beschrieben (

Die [X.] und 5 bis 7 gehen aus den ursprünglichen Ansprüchen 2, 5, 7 und 8 hervor. Die im geltenden Anspruch 3 beanspruchten Merkmale sind in der ursprünglichen Beschreibung auf S. 12, [X.] 33 bis S. 13, [X.] 28 offenbart. Dort wird beschrieben, dass die genannten Prozessparameter nicht nur für eine Plausibilitätsprüfung verwendet werden können, sondern auch zur Bestimmung einer Teilzündung oder eines Teilerlöschens unter Auswertung der Amplitude der Druckänderung, die neben der Anzahl der [X.]n, bei denen das Plasma gezündet hat oder erloschen ist, auch von diesen weiteren Parametern abhängig ist. Damit sind auch die Verfahren und Gegenstände der untergeordneten Ansprüche ursprünglich offenbart, so dass auch diese Ansprüche zulässig sind.

5. [X.] der geltenden Ansprüche sind ausführbar (§ 34 Abs. 4 [X.]). So ist das von der Prüfungsstelle bemängelte Merkmal, dass die detektierte Druckänderung durch ein Zünden oder ein Erlöschen des Plasmas bedingt ist, entfallen. Gemäß dem Wortlaut des geltenden Anspruchs 1 werden nun jegliche sprunghafte Druckänderungen detektiert. Es wird an dieser Stelle nicht mehr zwischen Druckänderungen, die durch ein Zünden oder ein Erlöschen des Plasmas bedingt sind, und anderen Druckänderungen unterschieden. Damit erhält der Fachmann eine eindeutige Anweisung, wie er vorzugehen hat. Insofern sind die Bedenken der Prüfungsstelle, die Anmeldung gebe keine Auskunft darüber, wie ein Zünden oder Erlöschen des Plasmas von anderen Ursachen für eine Druckänderung unterschieden werden könne, für den geltenden Anspruchswortlaut nicht mehr von Bedeutung.

Das Wort „Bestimmen“ wird der Fachmann dahingehend verstehen, dass er jegliche sprunghafte Druckänderung zunächst mit dem Zünden oder Erlöschen des Plasmas gleichsetzen soll und erst in einem nächsten Schritt mit Hilfe weiterer Prozessparameter versuchen soll, zu ermitteln, ob dieses [X.] richtig war.

Dem Fachmann wird somit die nacharbeitbare Lehre vermittelt, dass er bei einer sprunghaften Druckänderung in der Plasmakammer von einem Zünden oder Erlöschen des Plasmas ausgehen soll und diese nicht immer richtige Annahme in einem nächsten Schritt auf ihre Plausibilität überprüfen soll. In einigen wenigen Fällen wird er auch dann noch zu einem fehlerhaften Ergebnis kommen, da anhand des oder der beobachteten Prozessparameter die andere Ursache für die sprunghafte Druckänderung nicht erkannt werden kann, doch spielen solche gelegentlichen Ausreißer für die Ausführbarkeit eines Verfahrens keine Rolle (

6. Das Verfahren des Anspruchs 1 und die Vorrichtung nach Anspruch 4 sind gewerblich anwendbar (§ 5 [X.]), hinsichtlich des ermittelten Standes der Technik neu (§ 3 [X.]) und beruhen diesem gegenüber auch auf einer erfinderischen Tätigkeit des zuständigen Fachmanns (§ 4 [X.]).

6.1 So offenbart der dem Verfahren des Anspruchs 1 nächstliegende ermittelte Stand der Technik, Druckschrift [X.], in Übereinstimmung mit dem Wortlaut des Anspruchs 1 ein

1. Verfahren zum [X.] einer Zündung oder eines Erlöschens eines Plasmas, nämlich einer Zündung einer unnormalen Entladung (

1.1 Messen des Drucks innerhalb der [X.] mit einem Drucksensor über einen Zeitraum (

1.2 [X.] einer sprunghaften Druckänderung (

1.3 Ermitteln des Zündens  oder Erlöschens, hier des Zündens des Plasmas anhand wenigstens der Druckänderung (

Druckschrift [X.] offenbart jedoch keine Plausibilitätsprüfung mit Hilfe eines anderen Prozessparameters. Gemäß ihrer Lehre ist davon auszugehen, dass die Zündung eines unnormalen und damit unerwünschten Plasmas erfolgt ist, wenn der Druck eine bestimmte Schwelle überschritten hat. In der Folge wird davon ausgegangen, dass das Substrat möglicherweise beschädigt wurde (

Damit ist das Verfahren des Anspruchs 1 gegenüber Druckschrift [X.] neu. Es beruht aber auch auf einer erfinderischen Tätigkeit, denn es gibt keinen Hinweis darauf, dass eine Plausibilitätsprüfung durch einen anderen Prozessparameter erfolgen soll (Merkmal 1.4). Eine solche liegt für den Fachmann auch nicht nahe, denn der Druckanstieg lässt auf einen ungewöhnlichen Verlauf des [X.] schließen, wodurch die Qualität des entstehenden Produkts nicht mehr sichergestellt werden kann, weshalb der Fachmann keine Veranlassung hat, andere Maßnahmen als den Abbruch des Prozesses zu ergreifen.

6.2 Der dem Gegenstand des Anspruchs 4 nächstliegende ermittelte Stand der Technik, Druckschrift [X.], offenbart in Übereinstimmung mit dem Wortlaut des Anspruchs 4 eine

4. Vorrichtung (

4.1 eine [X.] (

4.2 wenigstens einen Drucksensor (

4.3 Mittel zum Bestimmen von Werten wenigstens eines der folgenden Prozessparameter: die [X.]zusammensetzung, Ansteuerparameter einer Vakuumeinheit und/oder Gaszuführung, die Temperatur in der [X.], die in die wenigstens eine [X.] eingespeiste und/oder hierdurch reflektierte [X.] und die Anzahl der [X.]n (

4.4‘ wenigstens eine Auswerteeinheit (

Die Auswerteeinheit (

Doch ist in Druckschrift [X.] anders als beim Gegenstand des Anspruchs 4, wo der Druck die führende Rolle hat, und auf Grund einer sprunghaften Druckänderung das Zünden oder Erlöschen des Plasmas festgestellt wird, die [X.] die führende Messgröße. Mit ihrer Hilfe wird zunächst erkannt, dass der Stromkreis über das Plasma offen ist, was zu der Annahme führt, dass das Plasma erloschen ist. Die weiteren Parameter, darunter auch der [X.], dienen dann nur zur weiteren Analyse. Beim Gegenstand des Anspruchs 4 wechselt somit gegenüber der Druckschrift [X.] der [X.] an die Stelle der [X.] als führende Größe zum Erkennen des Erlöschens bzw. Zündens eines Plasmas. Dies ist eine neue Vorgehensweise, weshalb die Vorrichtung des Anspruchs 4 gegenüber der in Druckschrift [X.] offenbarten neu ist.

Die einzige ermittelte Druckschrift, bei der der Druck die führende Rolle einnimmt ist die Druckschrift [X.]. Es gibt aber für den Fachmann ausgehend von Druckschrift [X.] keinen Grund, wegen Druckschrift [X.] die führende Rolle der Messgröße [X.] durch die der Messgröße [X.] zu ersetzen, denn dieser dient in Druckschrift [X.], wie zu Anspruch 1 dargestellt, nicht zur Überwachung des erwünschten [X.], sondern lediglich zum Ausschluss der Möglichkeit eines unerwünschten, zusätzlichen unnormalen Plasmas. Damit ist der Gegenstand des Anspruchs 4 auch durch die Kombination der Druckschriften [X.] und [X.] nicht nahegelegt. Die Zusammenschau dieser beiden Druckschriften kann aus denselben Gründen, nämlich dass sich Druckschrift [X.] mit dem Erlöschen bzw. Zünden des [X.] beschäftigt, während sich Druckschrift [X.] mit dem Zünden eines unnormalen Plasmas beschäftigt, auch das Verfahren des Anspruchs 1 nicht nahelegen.

6.3 Auch die übrigen Druckschriften können weder für sich noch in Verbindung mit der Druckschrift [X.] und/oder der Druckschrift [X.] das Verfahren des Anspruchs 1 oder den Gegenstand des Anspruchs 4 nahelegen.

So offenbart Druckschrift [X.] eine besondere Form der Mikrowellenplasmaelektroden und damit ausgestattete Plasmakammern. Ein Verfahren zur Detektion des Zündens oder Erlöschens eines Plasmas mittels der Druckbeobachtung wird nicht offenbart.

Druckschrift D3 offenbart eine Methode der Druckmessung mittels einer Hochfrequenzelektrode und deren Einsatz in einer Brennkraftmaschine. Einen Hinweis darauf, diese Druckmessung zum Bestimmen des Zündens oder Erlöschens eines Plasmas einzusetzen, gibt die Druckschrift nicht.

Druckschrift [X.] offenbart ein Verfahren zum Abscheiden eines diamantähnlichen Pulverfilms auf der Oberfläche eines Kunststoffsubstrats mittels eines Elektronenstrahlverdampfers und eines Plasmas in der Umgebung des Substrats. Dabei wird der Druck an zwei Stellen einer Kammer gemessen und mittels dieser Messungen der Druck in der Nähe des [X.] und des Substrats geregelt. Einen Hinweis darauf, den Druck für das Erkennen des Zündens oder Erlöschens des Plasmas zu nutzen, erhält der Fachmann durch diese Schrift nicht.

Druckschrift [X.] beschäftigt sich mit einem Verfahren zur Ermittlung des Drucks im [X.] von [X.]. Dabei erfolgen eine Druckmessung mit einem in einer Plasmaanlage vorhandenen Druckmessgerät und eine anschließende Bestimmung des Drucks im [X.] auf Grundlage der Messung. Einen Hinweis auf die Nutzung des Messwertes zum [X.] der Zündung oder des Erlöschens des Plasmas erhält der Fachmann in dieser Druckschrift nicht.

Druckschrift [X.] zeigt eine Plasmakammer, die in ihrem Aufbau mit der in der vorliegenden Anmeldung offenbarten in vielen Merkmalen übereinstimmt. Mit der Detektion des Zündens oder des Erlöschens des Plasmas beschäftigt sich diese Druckschrift jedoch ebenfalls nicht.

6.4 An die zueinander nebengeordneten Patentansprüche 1 und 4 können sich die Unteransprüche 2, 3 und 5 bis 7 anschließen, da sie vorteilhafte Weiterbildungen des beanspruchten Verfahrens bzw. der Vorrichtung zum [X.] einer Zündung oder eines Erlöschens eines Plasmas in einer [X.] zur Behandlung von Substraten angeben, welche nicht platt selbstverständlich sind.

6.5 In der geltenden Beschreibung ist der Stand der Technik, von dem die Erfindung ausgeht, angegeben und die Erfindung anhand der Zeichnung ausreichend erläutert.

7. Bei dieser Sachlage war der angefochtene Beschluss der Prüfungsstelle für Klasse [X.] aufzuheben und das Patent wie beantragt zu erteilen.