Bundespatentgericht, Beschluss vom 15.01.2019, Az. 17 W (pat) 15/16

Auf die am 5. September 2000 beim [[X.].] eingegangene Patentanmeldung 100 43 992.6 der [[X.].] in [[X.].] ist am 23. August 2013 durch Beschluss der Prüfungsstelle für Klasse [[X.].] das Patent unter der Bezeichnung

„Verfahren zur Untersuchung einer Probe und [[X.].] [X.]“

erteilt worden. Veröffentlichungstag der Patenterteilung ist der 24. Dezember 2013.

[[X.].]) eingereicht, das nach ihren Angaben vorveröffentlicht sei, und hat hierfür [[X.].]eugenbeweis angeboten.

[[X.].] hat dem Vorbringen der [[X.].] widersprochen.

[[X.].] beurteilt. [[X.].]ur Frage des Veröffentlichungsdatums der [[X.].] hat die [[X.].] in der Anhörung vom 16. [[X.].]vember 2015 den von der [[X.].] genannten [[X.].]eugen vernommen. Nach Würdigung der [[X.].]eugenaussage und der übrigen von der [[X.].] vorgelegten Unterlagen ist die [[X.].] zu der Überzeugung gelangt, dass das Dokument [[X.].] und die darin enthaltenen Dokumente D4, [[X.].] und [[X.].] vor dem Anmeldetag des Streitpatents der Öffentlichkeit zugänglich gemacht wurden und damit für die Beurteilung der Neuheit und der erfinderischen Tätigkeit des Streitpatents als zum Stand der Technik gehörig zu berücksichtigen sind.

Diesen Beschluss haben beide Parteien am 20. Januar 2016 erhalten.

Gegen den Beschluss wendet sich die Einsprechende mit der am 3. Februar 2016 eingegangenen Beschwerde.

[[X.].] sowie mangelnde erfinderische Tätigkeit ausgehend von [[X.].] und unter Berücksichtigung von [[X.].] und/oder D1 geltend.

Die Beschwerdeführerin (Einsprechende) beantragt,

den angegriffenen Beschluss aufzuheben und das Patent in vollem Umfang zu widerrufen.

Die Beschwerdegegnerin (Patentinhaberin) beantragt,

die Beschwerde zurückzuweisen und das Patent in der geltenden Fassung gemäß Beschluss vom 16. [[X.].]vember 2015 aufrechtzuerhalten.

Im Einspruchs- und Einspruchsbeschwerdeverfahren sind folgende Druckschriften und Unterlagen genannt und eingereicht worden:

D1: [[X.].] 197 33 995 [[X.].] (in der Patentschrift genannt)

[[X.].]: [[X.].] 198 29 981 [[X.].] (in der Patentschrift genannt)

D3: [[X.].] et al., [[X.].], Vol. 17, [[X.].]. 24, Seiten 7179 – 7189, 1998 (in der Patentschrift genannt)

sowie zur geltend gemachten offenkundigen Vorbenutzung durch ein „[[X.].] Laser Scanning Microscope“ der Firma [[X.].]…:

D5: Auftragsbestätigung 45/2020081522 vom 8. September 1999

[X.]: Delivery [[X.].]te 45/2030089458 vom 19. Oktober 1999

[X.]: Screenshot aus [[X.].], [[X.].].Schnitt 2020081522

[[X.].]: [[X.].] Laser Scanning Microscope, Operating Manual, Release 2.3, [[X.].]… in J…, 03/1999,

Seiten I bis 5-76, mit zugehöriger DVD

D4: Seiten I bis [X.], 2-1 bis 2-12, 3-1 bis 3-11, 4-88 sowie 4-104 bis 4-107 (Auszug aus [[X.].])

[[X.].]: Seiten 4-81 und 4-83 (Auszug aus [[X.].])

[[X.].]: Seite 4-97 (Auszug aus [[X.].])

[X.]: „Allgemeine Geschäftsbedingungen“ des „[[X.].]…

Online-Shop“, Druckdatum 17.05.2015.

Der geltende Patentanspruch 1 vom 16. [[X.].]vember 2015 lautet (unter Hinzufügung einer Merkmalsgliederung):

„[X.] Verfahren zur Untersuchung einer Probe (11) mittels eines konfokalen [X.]

[X.] mit mindestens einer Lichtquelle (1), vorzugsweise einem Laser, zur Erzeugung eines [X.]s (4) für die Probe (11)

M1.3 und einer Strahlablenkeinrichtung (9) zur Führung des [X.]s (4) über die Probe (11),

mit den folgenden Verfahrensschritten:

M1.4 - Aufnehmen eines [X.]s (19, 30);

[X.] - Markieren mehrerer interessierender Bereiche (16, 17; 27, 28) im [X.] (19, 30);

M1.6 - [[X.].]uordnen individueller [X.]-Wellenlängen und/ oder [X.]-Leistungen zu den Bereichen (16, 17; 27, 28);

M1.7 - Beleuchten der Bereiche (24, 25) der Probe (11) gemäß der [[X.].]uordnung;

[X.] - Detektieren des von der Probe (11) ausgehenden Reflexions- und/ oder Fluoreszenzlichts,

[X.] wobei der [X.] (4) mittels einer bereichsangepassten [X.] (26) derart geführt wird, dass im Wesentlichen nur die markierten Bereiche (24, 25) der Probe (11) beleuchtet werden,

[X.]0 wobei der [X.] entlang der bereichsangepassten [X.] (26) zunächst über einen der markierten Bereiche (24) und dann, nach kompletter Abtastung des Bereichs (24), über einen anderen der markierten Bereiche (25) geführt wird, und

[X.]1 wobei die Strahlablenkung zwischen den markierten Bereichen (24, 25) im Wesentlichen in direkter Linie von dem einen markierten Bereich (24) zu dem anderen markierten Bereich (25) erfolgt.“

[[X.].]u den [X.] 2 bis 11 und den weiteren Einzelheiten wird auf den Akteninhalt verwiesen.

Die Beschwerde ist rechtzeitig eingegangen und auch sonst zulässig. Sie hat jedoch keinen Erfolg, da die geltend gemachten Widerrufsgründe nicht gegeben sind; das Patent ist in der geltenden Fassung patentfähig.

Der vorangegangene Einspruch war ebenfalls (unbestritten) zulässig.

1. Das Streitpatent betrifft ein Verfahren zur Untersuchung einer Probe mittels eines konfokalen [X.] mit mindestens einer Lichtquelle, vorzugsweise einem Laser, zur Erzeugung eines [X.]s für die Probe und einer Strahlablenkeinrichtung zur Führung des [X.]s über die Probe (Patentschrift Abs. [0001]).

[[X.].] beschriebene Verfahren (Abs. [0010]).

Bei dem bekannten Verfahren und bei dem bekannten konfokalen [X.] sei problematisch, dass nicht klar ist, wie ein auszuwertendes Detail einer Probe für eine differenzierte Beleuchtung auswählbar ist. Somit sei eine sichere Auswahl und Festlegung der interessierenden Details der Probe nicht möglich. Des Weiteren werde zur Vermeidung einer unerwünschten Belichtung der Probe außerhalb des zu untersuchenden Bereichs oder der zu untersuchenden Bereiche lediglich eine zeitweise Unterbrechung der Einkopplung des Laserlichts – während der Ablenkung des Mikroskopstrahlengangs – durchgeführt. Dies stehe jedoch einer möglichst kurzen Gesamtdatennahmezeit entgegen (Abs. [0011]).

Der vorliegenden Erfindung soll die Aufgabe zugrunde liegen, ein Verfahren zur Untersuchung einer Probe bereitzustellen, wonach eine sichere Definierung interessierender Details einer Probe für eine differenzierte Beleuchtung auf einfache Weise ermöglicht ist (geltende Beschreibung Abs. [0012]).

Um dies zu erreichen, schlägt die Streitpatentschrift ein Verfahren zur Untersuchung einer Probe (11) mittels eines konfokalen [X.] (Merkmal [X.]) vor, wobei das [X.] (wie üblich) mindestens eine Lichtquelle (1), vorzugsweise einen Laser aufweist, um einen [X.] für die Probe zu erzeugen (Merkmal [X.]) sowie eine Strahlablenkeinrichtung (9) zur Führung des [X.]s (4) über die Probe (11) (Merkmal M1.3), vgl. Patentschrift [X.]. 1.

In dem Verfahren wird zunächst ein [X.] (19, 30) aufgenommen, anhand dessen ein Benutzer mehrere interessierende Bereiche (16, 17; 27, 28; üblicherweise auch als [[X.].]s = regions of interest bezeichnet) markieren kann (Merkmale M1.4, [X.]). Den Bereichen werden individuelle [X.]-Wellenlängen und/oder [X.]-Leistungen zugeordnet (Merkmal M1.6), und die Bereiche werden (im [[X.].]uge der Abtastung) entsprechend dieser [[X.].]uordnung beleuchtet (Merkmal M1.7).

Das von der Probe (11) ausgehende Reflexions- und/oder Fluoreszenzlicht wird detektiert ([X.]; vgl. den Detektor 12 in [X.]. 1).

Gemäß der Patentschrift Abs. [0006], [0007] und [0016] erlaubt das Verfahren die Durchführung von Untersuchungen, die auf dem [X.] (FRET) beruhen, wobei mittels Licht einer bestimmten Wellenlänge eine indirekte Anregung von Molekülen in zwei Stufen erfolgt, und wobei mit Licht einer anderen Wellenlänge eine Direktanregung von Molekülen gemessen (und schließlich herausgerechnet) werden kann.

Demnach ist Merkmal M1.6 i. V. m. M1.7 im Lichte der Patentschrift so zu verstehen, dass den unterschiedlichen Bereichen jeweils individuelle [X.]-Wellenlängen und/oder [X.]-Leistungen zugeordnet werden, worauf die Bereiche (im [[X.].]uge der Abtastung) entsprechend dieser [[X.].]uordnung beleuchtet werden; beispielsweise ist es möglich, jeden Bereich mit Beleuchtungslicht einer anderen Wellenlänge zu beleuchten.

Gemäß dem patentierten Verfahren wird der [X.] beim Abtasten in spezieller Weise über die Probe geführt, wie dies in den Merkmalen [X.], [X.]0 und [X.]1 dargelegt ist:

Diese Merkmale besagen, dass der [X.] (4) mittels einer bereichsangepassten [X.] (26) derart geführt wird, dass im Wesentlichen nur die markierten Bereiche (24, 25) der Probe (11) beleuchtet werden ([X.]), wobei der [X.] entlang der bereichsangepassten [X.] (26) zunächst über einen der markierten Bereiche (24) und dann, nach kompletter Abtastung des Bereichs (24), über einen anderen der markierten Bereiche (25) geführt wird ([X.]0), und wobei die Strahlablenkung zwischen den markierten Bereichen (24, 25) im Wesentlichen in direkter Linie von dem einen markierten Bereich (24) zu dem anderen markierten Bereich (25) erfolgt ([X.]1).

Mit dieser in [X.]. 4 dargestellten Vorgehensweise ist es möglich, nur die markierten Bereiche der Probe zu untersuchen, wobei ein Bleichen von [X.] außerhalb der markierten Bereiche verhindert und die Totzeit zwischen dem Abtasten der markierten Probenbereiche reduziert wird (Abs. [0045]).

Im Hinblick auf das Markieren interessierender Bereiche im [X.] (Merkmal [X.]) entnimmt der Fachmann Abs. [0013], [0014] und [0043] der Patentschrift, dass eine bildhafte Darstellung der zu untersuchenden Probe für den Beobachter geliefert wird; anhand dieses [X.]s kann der Betrachter interessierende Bereiche auswählen, die dann untersucht werden.

Das Merkmal [X.] ist somit im Lichte der Patentschrift so zu verstehen, dass (abhängig von der Probe und dem zugehörigen [X.] sowie den Interessen des Betrachters) eine Vielzahl von Anordnungen interessierender (auch in unterschiedlichen Richtungen benachbarter) Bereiche möglich ist.

Die Merkmale [X.], [X.]0 und [X.]1 sind dann in Verbindung mit dem Merkmal [X.] im Sinne einer gezielten Strahlführung für alle möglichen, vom Benutzer beliebig ausgewählten Anordnungen von mindestens zwei interessierenden Bereichen zu interpretieren. Das beanspruchte Verfahren ist so ausgebildet, dass Vorsorge für eine Abtastung gemäß den Merkmalen [X.], [X.]0 und [X.] für jede mögliche Anordnung der ausgewählten Bildbereiche getroffen ist.

[[X.].]ur Strahlführung zwischen den markierten Bereichen „im Wesentlichen in direkter Linie von dem einen markierten Bereich zu dem anderen markierten Bereich“ ist der Patentschrift Abs. [0024] zu entnehmen, dass die Strahlablenkung zwischen den Bereichen von der (üblichen) [X.], sägezahn- oder mäanderförmigen Strahlablenkung (siehe Abs. [0008]) abweichen kann, wodurch Bereiche auf einem kürzeren Weg angefahren werden könnten. [[X.].]udem ist in [X.]. 4 zu erkennen, dass der Strahl beim Übergang von dem markierten Bereich (24) zu dem markierten Bereich (25) in Abweichung von der üblichen waagrechten Abtastrichtung leicht schräg nach oben geführt wird.

Der Fachmann wird damit die Formulierung „im Wesentlichen in direkter Linie“ in Merkmal [X.]1 so interpretieren, dass zwar leichte, jedoch keine starken Abweichungen von der direkten Linie möglich sind. Wird beispielsweise im Fall zweier in y-Richtung beabstandeter Bereiche der Strahl zwischen dem Ende des ersten Bereichs und dem Anfang des zweiten Bereichs mehrmals über ganze [[X.].]eilen hin- und hergeführt, so fällt eine solche Strahlführung nicht unter das Merkmal [X.]1.

Als

2. Der Gegenstand des geltenden Patentanspruchs 1 ist neu und beruht auf erfinderischer Tätigkeit (§§ 3 und 4 [X.]).

Dies ergibt sich aus der Würdigung der zum Stand der Technik genannten Druckschriften und Unterlagen.

[[X.].] zum vorveröffentlichten Stand der Technik gemäß § 3 Abs. 1 [X.] zählt und damit bei der Beurteilung der Patentfähigkeit zu berücksichtigen ist.

[[X.].] vor dem Anmeldetag des Streitpatents tatsächlich nachgewiesen ist.

D5, [X.], [X.] und [X.] sowie das Ergebnis der [[X.].]eugeneinvernehmung vor der [[X.].] keinen vernünftigen [[X.].]weifel daran lassen, dass [[X.].] vor dem Anmeldetag des Streitpatents der Öffentlichkeit zugänglich gemacht wurde; vgl. die diesbezüglichen, ausführlichen Erörterungen unter auf Punkt 5 auf den Seiten 22 bis 24 des Beschlusses der [[X.].] vom 16. [[X.].]vember 2015.

2.1. Der Gegenstand des Patentanspruchs 1 ist neu gegenüber dem im Einspruchs- und im Einspruchsbeschwerdeverfahren genannten Stand der Technik. Dies gilt insbesondere gegenüber dem von der [[X.].] als neuheitsschädlich angesehenen Verfahren, das in der Druckschrift [[X.].] gezeigt ist.

[[X.].] zeigt ein [[X.].] [X.] und ebenso ein Verfahren zum Untersuchen einer Probe mit einem konfokalen [X.] (Titel, S. 2-10 [X.] 2.9 mit „4 confocal reflection/fluorescence channels“, S. 3-6 [X.]. 3.2 mit Beschreibung) mit Laser-Lichtquellen (Laser Module in [X.]. 3.2 rechts) zur Erzeugung eines [X.]s für die Probe ([X.]. 3.2 links „[X.]ecimen“) und mit einer Strahlablenkeinrichtung zur Führung des [X.]s über die Probe ([X.]. 3-2 Mitte „Scan Module“ mit „Scanner x/y“); das von der Probe ausgehende Reflexions- und/oder Fluoreszenzlicht wird detektiert (in den Photomultipliern [X.] des Scan-Moduls in [X.]. 3-2 Mitte) –

Es wird ein [X.] aufgenommen, in dem mehrere interessierende Bereiche markiert werden ([X.] [X.] 4.4.3.5 „[X.] ([[X.].]s) to be defined“, [X.]. 4-84 mit markierten [[X.].]s) –

Es können ein oder mehrere „Tracks“ definiert werden. [[X.].]u einem „Track“ gehört eine Menge von Parametern für die Detektionskanäle und für die Beleuchtung (Wellenlänge und Intensität), wobei der Track mit allen diesen Parametern gleichzeitig abgetastet und vom System unter einem einzigen Namen behandelt wird (S. 4-60 [X.] 4.4.3.3 Abs. 2). Die einem Track zuordenbaren, einstellbaren Parameter umfassen unter anderem ein oder mehrere Laserwellenlängen und jeweils zugehörige Leistungen (S. 4-67 [X.]. 4-53 unter „Line active“ und „Transmission %“ mit der zugehörigen Beschreibung; S. 4-86 [X.]. 4-68 mit Beschreibung).

Mehrere Tracks (multitracking) können als eine Konfiguration definiert werden (S. 4-70 oben). Während der Abtastung kann dann zwischen Tracks hin und hergewechselt werden, entweder nach jeder [[X.].]eile oder nach jedem Frame (S. 4-71 [X.]. 4-57 und Beschreibung „[X.], Frame and Fast Switch buttons are used to determine in which way switching between tracks ist [X.], S. 4-72 mit der Tabelle „Modes“).

Die Abtastung kann z. B. frame-weise erfolgen. Bei der frame-weisen Abtastung ist es möglich, nur innerhalb von vorher definierten [[X.].]s abzutasten (S. 4-77 unten [X.]. und le. [X.]iegelstrich, S. 4-78 Tabelle mit der Beschreibung zu „Use [[X.].] button“). Genauer gesagt wird mit der „Use [[X.].]“-Funktion die [X.] eingeschränkt auf ein oder mehrere frei definierbare [[X.].]s im Bildfenster; der Laser tastet die gesamte [[X.].]eilenlänge ab, die Abtastung wird aber in der y-Richtung durch die [[X.].]s eingeschränkt, daher ist die Abtastzeit reduziert (S. 4-97 Abs. 1 und 2 mit [X.]. 4-79).

Im Fall eines einzigen abzutastenden [[X.].]s ist es somit möglich, dieser Abtastung (d. h. dem entsprechenden Frame) Detektionsparameter wie Beleuchtungswellenlänge und -leistung zuzuordnen und das [[X.].] entsprechend abzutasten. Damit sind die

[[X.].] nicht hervor, dass im Fall mehrerer markierter Bereiche in einem Frame (für beliebig definierte Anordnungen von [[X.].]s in einem Frame, beispielsweise für in [[X.].]eilenrichtung nebeneinander liegende [[X.].]s wie auf S. 4-97 [X.]. 4-79 obere Hälfte) diesen Bereichen unterschiedliche Belichtungsparameter ([X.]-Wellenlängen und/oder [X.]-Leistungen) zugeordnet werden können.

[[X.].]

[[X.].] erfolgt die Strahlführung innerhalb eines Frames jeweils über ganze [[X.].]eilen; die Abtastung ist in der vertikalen Richtung (y-Richtung) durch die [[X.].]s eingeschränkt (S. 4-97 Abs. 1 und 2 mit [X.]. 4-79), d. h. es wird nur ein Teil des Frames abgetastet, der die markierten Bereiche enthält.

[[X.].]

[[X.].] zeigt ein Verfahren und eine Anordnung zur konfokalen Mikroskopie, wobei eine Probe mittels Laserlicht abgetastet wird. Während der Ablenkung des Laserstrahls kann die spektrale [[X.].]usammensetzung und/oder die Intensität des Lichts verändert werden, so dass nebeneinander liegende Orte der Probe mit Licht unterschiedlicher [X.]ektraleigenschaften und/oder mit Laserstrahlung unterschiedlicher Intensität beaufschlagt werden (Abstract). Beispielsweise können Orte (37) innerhalb eines auszuwertenden Details (Bereich 35) einer Probe mit Strahlung anderer Eigenschaften beaufschlagt werden als die Umgebung (36) ([X.]. 2, [X.]. 7 [[X.].]. 36 bis 53). Die Detektion und Auswertung des von jedem [X.] Ort ausgehenden Lichts erfolgt synchron mit der Beaufschlagung ([X.]. 7 [[X.].]. 62 bis 65).

[[X.].] sind weder mehrere markierte Bereiche noch eine spezielle Strahlführung über und zwischen diesen gezeigt. Die Merkmale [X.], [X.]0 und [X.]1 sind nicht erfüllt.

D1 zeigt ein [X.] zur rasterförmigen Abtastung des Augenhintergrundes, das zur Durchführung von Fluoreszenzangiographien benutzt werden kann (Abstract, [X.]. 1 [[X.].]. 3 bis 9). Dabei wird während der Einströmphase ein großes Bildfeld betrachtet, in der [X.]ätphase werden dann vom Benutzer ausgewählte interessante Gebiete mit höherer Auflösung betrachtet ([X.]. 1 [[X.].]. 10 bis 15, [X.]. 3 [[X.].]. 63 bis 68). Das Scannen eines interessierenden Gebiets erfolgt mit der gleichen Pixelfrequenz und Bildaufbauzeit wie das Scannen des gesamten abtastbaren Bereichs, d. h. beim Scannen eines kleineren Gebiets ([[X.].]oom) wird dieselbe Anzahl von Daten erzeugt wie beim Scannen des gesamten abscanbaren Bereichs ([X.]. 2 [[X.].]. 8 bis 15), wobei das Scannen des kleineren Gebiets ebenso viel [[X.].]eit in Anspruch nimmt wie die Abtastung des Gesamtbereichs für das [X.].

D1 nicht hervor, d. h. die

D3 liegt weiter vom Gegenstand des Streitpatents ab.

2.2. Gegenüber dem im Verfahren bekannt gewordenen Stand der Technik beruht der Gegenstand des geltenden Anspruchs 1 auf erfinderischer Tätigkeit.

[[X.].] alleine oder durch die Kombination von [[X.].] mit [[X.].] und/oder mit D1 nahegelegt.

[[X.].] nicht hervor, dass im Fall mehrerer markierter Bereiche in einem Frame (für beliebig definierte Anordnungen von [[X.].]s in einem Frame, beispielsweise für in [[X.].]eilenrichtung nebeneinander liegende [[X.].]s wie auf S. 4-97 [X.]. 4-79 obere Hälfte) diesen Bereichen unterschiedliche Belichtungsparameter ([X.]-Wellenlängen und/oder [X.]-Leistungen) zugeordnet werden können, d. h. die [[X.].] [[X.].] keine bereichsangepasste Strahlführung gemäß der Kombination der Merkmale [X.], [X.]0 und [X.]1.

Einzelne dieser Merkmale mögen zwar durch den Stand der Technik nahegelegt worden sein; jedoch ergab sich aus dem Stand der Technik keine Anregung für die Kombination aller noch fehlenden Merkmale, wie im Folgenden gezeigt wird.

[[X.].] (siehe oben), die für ein [[X.].] [X.] eine Beaufschlagung mit Strahlung unterschiedlicher Eigenschaften für verschiedene, auch innerhalb einer Abtastzeile benachbarte Orte oder Bereiche lehrt, insbesondere eine unterschiedliche Strahlungsbeaufschlagung für einen interessierenden Bereich einerseits und für einen Hintergrundbereich andererseits, mag es nahelegen, im Fall von mehreren interessierenden Bereichen wie in [[X.].] auch diese einzelnen Bereiche mit unterschiedlicher Strahlung zu beaufschlagen, d. h. das Mikroskop und Verfahren der [[X.].] um eine solche Funktion zu erweitern, so dass die [[X.].] jedoch nichts zu entnehmen.

D1 Einzelabtastungen von Bildbereichen mit jeweils derselben Pixelfrequenz und Bildaufbauzeit wie bei der Abtastung eines Gesamtbilds, d. h. pro Bildbereich wird ein Frame abgetastet. Es ist bereits fraglich, ob diese Druckschrift den Fachmann dazu anregen konnte, innerhalb einer einzigen Frameabtastung jeden von zwei ausgewählten Bildbereichen komplett für sich alleine im Sinne der Merkmale 1.9 mit 1.10 abzutasten.

D1 aber keine Anregung dahingehend zu entnehmen, den [X.] im Wesentlichen in direkter Linie von einem Bereich zum anderen zu führen, wie dies Merkmal 1.11 erfordert.

Auch keine andere der im Verfahren befindlichen Druckschriften zeigt eine solche Vorgehensweise oder legt diese nahe.

Damit ist dem Verfahren des Streitpatents eine erfinderische Tätigkeit nicht abzusprechen.

2.3. Die dagegen gerichteten Einwände der Beschwerdeführerin greifen nicht durch.

2.3.1 Die Beschwerdeführerin argumentiert, das Merkmal [X.]1 mit „im Wesentlichen in direkter Linie“ liefere keine Einschränkung gegenüber dem Stand der Technik. Der [X.]iegel für die Abtastung in x-Richtung schwinge sehr schnell und könne nicht abrupt gebremst werden; d. h. die Abtastung zwischen den zwei Bereichen sei keine gerade Linie, sondern umfasse auch eine Schwingung.

[[X.].] [X.]. 4-84 aus [X.] sei eine Abtastung gemäß Merkmal [X.]0 mit [X.] gegeben, da zuerst die zwei oberen Bildbereiche gemeinsam (welche den ersten markierten Bildbereich enthalten) und dann die zwei unteren Bildbereiche gemeinsam (welche den zweiten markierten Bildbereich enthalten) abgetastet würden. Das Merkmal 1.11, welches keine Einschränkung enthalte, sei dann ebenfalls erfüllt.

[[X.].] jedenfalls eine erhebliche Anzahl von Fällen (Anordnungen von Bildbereichen) zur Erfüllung der Merkmalskombination [X.] bis [X.]1, etwa wenn die zwei Bildbereiche in vertikaler Richtung getrennt angeordnet sind.

[[X.].] S. 4-97, die Abtastung in der y-Richtung auf die [[X.].]s zu begrenzen, wodurch die Abtastzeit reduziert wird, für den Fachmann die Anregung, auch in x-Richtung eine solche Begrenzung vorzunehmen. Damit sei eine auf die einzelnen Bereiche beschränkte Abtastung gemäß den Merkmalen [X.] und [X.]0 nahegelegt.

[[X.].] S. 4-83 Mitte, wonach [X.], insbesondere die Geschwindigkeit, während des Scans online verändert werden können; dies führe zu einer Änderung der Leistung auf der beleuchteten Probe.

[[X.].] S. 4-67 [X.]. 4-53 hin. Unter den „individuellen Wellenlängen“ in Merkmal 1.6 seien einzelne Wellenlängen (im Gegensatz zu einem gesamten [X.]ektralbereich) zu verstehen; diese müssten nicht für jeden Bildbereich unterschiedlich sein.

2.3.2 Diesen Einwänden der Beschwerdeführerin kann nicht gefolgt werden.

[[X.].] S. 4-97 Abs. 2 möglich ist), so fällt eine solche Strahlführung nicht unter das Merkmal [X.]1.

Des Weiteren impliziert der Anspruch 1, der eine von einem Benutzer durchzuführende, prinzipiell beliebige Auswahl von Bildbereichen vorsieht und fordert, in nachfolgenden Verfahrensschritten die ausgewählten Bildbereiche in besonderer, von der Anordnung der ausgewählten Bildbereiche abhängiger Weise abzutasten, dass in dem beanspruchten Verfahren Vorsorge für eine Abtastung in der besonderen Weise für jede mögliche Anordnung der ausgewählten Bildbereiche getroffen ist.

Sähe man dagegen das Verfahren als bereits dadurch erfüllt an, dass im Fall bestimmter Anordnungen von Bildbereichen die besondere Abtastung gegeben ist, so würde dies der Kombination der Merkmale [X.] mit der in diesem enthaltenen beliebigen Auswahlmöglichkeit interessierender Bereiche und [X.] bis [X.]1 mit der bereichsangepassten, besonderen Abtastung nicht gerecht.

[[X.].] bekannte Verfahren, das im Allgemeinen, d. h. für beliebig gewählte Bildbereiche die besondere Abtastung der Merkmale [X.] bis [X.]1 nicht vorsieht, bei dem sich jedoch für bestimmte Anordnungen von ausgewählten Bildbereichen „zufällig“ eine solche Abtastung ergeben kann, ist die Merkmalskombination [X.] mit [X.], M1,10 und [X.]1 nicht vorweggenommen.

[[X.].] auf S. 4-97, immer die gesamte [[X.].]eilenlänge abzutasten und die Abtastung in der y-Richtung durch die [[X.].]s zu begrenzen, wodurch die Abtastzeit reduziert wird. [[X.].]um einen ergibt sich dadurch keine Anregung, die Abtastung für jedes einzelne [[X.].] in x- und y-Richtung auf den [[X.].]-Bereich zu begrenzen; zum anderen ist [[X.].] auch keine Anregung entnehmbar, die Abtastung beim Übergang zwischen den [[X.].]s in von der üblichen Abtastung ganzer [[X.].]eilen abweichender Weise im Wesentlichen auf direktem Weg vorzunehmen, wie dies Merkmal [X.]1 fordert.

[[X.].] selbst keine Anregung dahingehend, den Bereichen individuelle [X.]-Wellenlängen und/oder [X.]-Leistungen zuzuordnen. Eine Änderung der Abtastgeschwindigkeit ([[X.].] S. 4-83 Mitte) führt zwar zu einer Änderung der Beleuchtungsintensität auf der Probe, jedoch ändert sich die Leistung des beleuchtenden Lichtstrahls dadurch nicht. Des Weiteren ist Merkmal M1.6 nach seinem Wortlaut und ebenso im Lichte der Patentschrift eindeutig so zu verstehen, dass jedem Bereich eine eigene (individuelle) Wellenlänge zuordenbar ist, die von der dem zweiten Bereich zugeordneten Wellenlänge unterschiedlich sein kann; vgl. etwa Patentschrift Abs. [0016] und [0044], wonach zwei Bereiche mit unterschiedlichen Wellenlängen abgetastet werden.

[[X.].] nicht hervor. Eine Anregung für eine bereichsangepasste Beleuchtung kann sich allenfalls aus [[X.].] ergeben, siehe die Ausführungen unter 2.2.

Wie erläutert ist dem Stand der Technik jedoch insgesamt kein Hinweis auf eine bereichsangepasste Strahlführung im Sinne der Kombination der Merkmale [X.], [X.]0 und [X.]1 zu entnehmen.

3. Der geltende Patentanspruch 1 hat Bestand.

Die auf den Anspruch 1 rückbezogenen [X.] bis 11 sind ebenfalls rechtsbeständig.