Bundesgerichtshof, Urteil vom 10.01.2023, Az. X ZR 6/21

Die Beklagte ist Inhaberin des mit Wirkung für die [X.] erteilten [X.] Patents 3 036 768 (Streitpatents), das am 21. August 2014 unter Inanspruchnahme einer [X.] Priorität vom 23. August 2013 angemeldet worden ist und den Aufbau eines Halbleiters betrifft.

Patentanspruch 1, auf den dreizehn weitere Patentansprüche zurückbezogen sind, lautet in der [X.]:

Patentanspruch 14 schützt ein Verfahren zum Anordnen, Patentanspruch 15 ein Verfahren zum Betreiben eines solchen Halbleiters.

Die Klägerinnen haben geltend gemacht, der Gegenstand des Streitpatents sei nicht patentfähig und gehe über den Inhalt der ursprünglich eingereichten Anmeldung hinaus. Die Beklagte hat das Streitpatent in der erteilten Fassung und mit [X.] in geänderten Fassungen verteidigt.

Das Patentgericht hat das Streitpatent für nichtig erklärt, soweit dessen Gegenstand über die in erster Instanz mit Hilfsantrag 3b´´neu (zweitinstanzlich: Hilfsantrag 3a´´) verteidigte Fassung hinausgeht, und die weitergehende Klage abgewiesen. Dagegen wenden sich die Klägerin zu 1 und die Beklagte mit der Berufung. Die Klägerin zu 1 (nachfolgend: Klägerin) begehrt weiterhin die vollständige Nichtigerklärung des Streitpatents. Die Beklagte tritt dem Rechtsmittel entgegen und verteidigt mit ihrer Berufung das Streitpatent in erster Linie in der Fassung des erstinstanzlichen [X.] und ergänzend mit zweiundsechzig zum überwiegenden Teil neuen [X.].

Beide Berufungen sind zulässig. [X.]iejenige der [X.]n ist teilweise begründet.

I. [X.]as Streitpatent betrifft den Aufbau einer Vorrichtung, die einen komplementären [X.] (Complementary Metal Oxide Semiconductor, [X.]) umfasst.

1. Nach der Beschreibung des Streitpatents ist bei der Konstruktion einer solchen Vorrichtung die [X.] zu berücksichtigen.

[X.] bezeichne den Transport von Material infolge der allmählichen Bewegung von Ionen in einem Leiter, der aufgrund des [X.] zwischen [X.] und diffundierenden Metallionen erfolge. [X.] verringere die Zuverlässigkeit von integrierten Schaltkreisen, da sie zur Unterbrechung von Verbindungen oder zum Ausfall der Schaltkreise führen könne (Abs. 2).

Um dem entgegenzuwirken, sehe die [X.] Anmeldung 5 903 019 für zusammengeschaltete [X.]-Strukturen eine Aluminiumleitung mit relativ großer Breite vor. [X.]ie [X.] Anmeldung 5 532 509 schlage ein bestimmtes Layout von Transistoren entlang einer durchgehenden Leiterbahn vor (Abs. 3).

2. [X.]as Streitpatent betrifft vor diesem Hintergrund das technische Problem, weitere Möglichkeiten für den Aufbau von [X.]-Vorrichtungen zur Verfügung zu stellen, die die [X.] berücksichtigen.

3. Zur Lösung schlägt das Streitpatent in der mit dem Hauptantrag verteidigten Fassung von Patentanspruch 1 eine [X.]-Vorrichtung vor, deren Merkmale sich wie folgt gliedern lassen (Änderungen gegenüber der erteilten Fassung sind hervorgehoben):

4. Einige Merkmale bedürfen der Erläuterung.

a) Eine [X.]-Vorrichtung im Sinne von Merkmal 1 ist eine Vorrichtung, die [X.] und [X.] umfasst. Eine bestimmte Schaltlogik gibt Patentanspruch 1 hingegen nicht vor.

aa) Als Beispiel für eine [X.]-Vorrichtung führt die Beschreibung des Streitpatents einen Inverter an, wie er in der nachfolgend wiedergegebenen Figur 1 schematisch dargestellt ist:

[X.]er Inverter umfasst einen [X.]Transistor (102) und einen [X.] (104), deren [X.] und [X.] jeweils miteinander verbunden sind. An der Source des [X.]Transistors (102) liegt das Potential [X.] an, an der Source des [X.]s (104) das Potential [X.]. Je nachdem, welches Potential [X.] an den beiden [X.] anliegt, ist jeweils einer der beiden Transistoren leitend, während der andere sperrt. [X.]adurch entspricht das Ausgangspotential [X.] an den beiden [X.] entweder [X.] oder [X.]. Um einen größeren Stromfluss zu ermöglichen, können mehrere solcher Inverter parallel geschaltet werden (Abs. 16).

bb) Wie das Patentgericht unter Bezugnahme auf das Fachbuch von Hütte ([X.]as [X.], herausgegeben von [X.] und [X.], 32. Aufl., 2004, [X.], [X.]) festgestellt hat, waren im Stand der Technik weitere [X.]-Schaltungen bekannt, die gemeinsam haben, dass ein Ausgang über zwei Pfade mit unterschiedlichen Potentialen verbunden werden kann und hierfür auf der Seite des hohen Potentials [X.] und auf der Seite des niedrigen Potentials [X.] eingesetzt werden.

cc) Zu Recht ist das Patentgericht zu dem Ergebnis gelangt, dass Patentanspruch 1 eine paarweise Schaltung von [X.] und [X.], bei der abwechselnd der eine Transistor leitet und der andere sperrt, nicht zwingend vorsieht.

(1) Nach den Feststellungen des Patentgerichts wird eine Vorrichtung schon dann unter den Begriff der [X.]-Technologie subsumiert, wenn sie [X.] und [X.] umfasst - unabhängig davon, ob diese Transistoren zur Realisierung einer [X.]-Logik eingesetzt werden.

[X.]ie [X.] zeigt keine konkreten Anhaltspunkte auf, die Zweifel an der Vollständigkeit oder Richtigkeit dieser Feststellungen begründen. Auch die Ausführungen in [X.] sprechen vielmehr für deren Richtigkeit.

[X.] erläutert, dass für die dort gezeigten Schaltungen die Wirkung der beiden Schalter immer gegensätzlich (komplementär) zueinander sein muss und dass in [X.]-Technik hierfür MOS-Transistoren mit komplementärer Funktion eingesetzt werden. [X.]em ist zu entnehmen, dass [X.]-Technik sich zwar für Schaltungen der genannten Art eignet, ihr Einsatzzweck aber nicht darauf beschränkt ist.

(2) Vor diesem Hintergrund hat das Patentgericht aus dem Umstand, dass Patentanspruch 1 keine Vorgaben zur Schaltlogik enthält, zu Recht die Schlussfolgerung gezogen, dass es ausreicht, wenn die Vorrichtung in [X.]-Technologie ausgeführt ist, während eine [X.]-Logik nicht zwingend erforderlich ist.

(3) [X.]ass in der Beschreibung des Streitpatents unterschiedliche Stromflüsse erwähnt werden, von denen die einen bei hohem Eingangspotential und die anderen bei niedrigem Eingangspotential auftreten (Abs. 8 [X.]), führt nicht zu einer abweichenden Beurteilung. [X.]iese Ausgestaltung hat in Patentanspruch 1 keinen Niederschlag gefunden.

(4) Aus dem in der erteilten Fassung von Patentanspruch 15 (nach dem zweitinstanzlichen Hauptantrag: Anspruch 8) zusätzlich vorgesehenen Merkmal, wonach bei einem niedrigen Eingangspegel (low input) Strom zu den [X.] fließt und bei einem hohen Eingangspegel (high input) zu den [X.], ergibt sich ebenfalls keine abweichende Beurteilung.

Wie die Klägerin unter Bezugnahme auf ihr erstinstanzliches Vorbringen zu Recht geltend macht, ergibt sich auch aus diesem Merkmal nicht zwingend, dass eine [X.]-Logik vorhanden sein muss, weil nicht näher spezifiziert ist, an welcher Stelle der Eingangspegel eingespeist wird.

b) Entscheidend für die angestrebte Verringerung der Auswirkungen der [X.] sind Anordnung und Gestaltung der Verbindungen der [X.] und [X.] über ihre [X.].

Patentanspruch 1 in der mit dem Hauptantrag verteidigten Fassung sieht hierzu sieben [X.] auf drei [X.]n vor.

aa) Auf der ersten [X.] sind [X.] zwischen den [X.] angeordnet.

(1) Nach den Merkmalen 1.3, 1.4, 1.6 und 1.7 müssen die [X.] und [X.] hierbei jeweils in (mindestens) zwei voneinander unterschiedliche Gruppen eingeteilt werden, die jeweils durch eine eigene Zwischenverbindung miteinander verbunden sind.

Nach den Merkmalen 1.5 und 1.8 dürfen die erste und die zweite Zwischenverbindung (also die beiden [X.] für [X.]) sowie die dritte und die vierte Zwischenverbindung (also die beiden [X.] für [X.]) nicht miteinander verbunden sein.

(2) Nicht ausgeschlossen sind hingegen Verbindungen zwischen einer Verbindung für [X.] und einer Verbindung für [X.], also etwa zwischen der ersten und dritten oder zwischen der zweiten und vierten Zwischenverbindung.

(a) Solche Verbindungen werden bei dem Ausführungsbeispiel eingesetzt, das in den nachfolgend wiedergegebenen Figuren 9a und 9b dargestellt ist.

Bei diesem Ausführungsbeispiel sind die auf einer ersten Metallebene [X.] angeordnete, zur Verbindung von [X.] dienende Zwischenverbindung (702) und die auf [X.] angeordnete, zur Verbindung von [X.] dienende Zwischenverbindung (704) nicht nur auf höheren Ebenen (706, 708, 710) miteinander verbunden, sondern auch auf [X.], und zwar über zusätzliche [X.] (720, 730, Abs. 34).

Hierdurch wird erreicht, dass in beiden [X.] ein Strom durch alle auf [X.] angeordneten Verbindungen fließt, wobei ein Wechsel des [X.] zu einer Umkehr der Stromrichtung führt. Letzteres wirkt dem Verschleiß durch [X.] entgegen (Abs. 35).

(b) Vergleichbare [X.] weist auch das in der nachfolgend wiedergegebenen Figur 11 dargestellte Ausführungsbeispiel auf.

[X.]ieses Ausführungsbeispiel umfasst zwei [X.] (402, 404) für [X.] und zwei [X.] (406, 408) für [X.], die alle auf einer ersten Metallebene [X.] angeordnet sind. [X.]ie Verbindungen (402, 404) sind auf [X.] nicht miteinander verbunden; dasselbe gilt für die Verbindungen (406, 408). [X.]ie Verbindungen (402, 406) sind hingegen auf [X.] durch eine Zwischenverbindung (470) miteinander gekoppelt. Zwischen den Verbindungen (404, 408) ist eine entsprechende Zwischenverbindung (480) angeordnet. Bei dieser Anordnung können Verbindungslängen von weniger als zwei Mikrometer erreicht werden. [X.]ie [X.] (470, 480) eröffnen parallele Strompfade und verringern so die durch [X.] verursachte Verschleißwirkung (Abs. 38).

bb) [X.]ie vier [X.] [X.] sind gemäß Merkmal 1.9 auf mindestens einer anderen [X.] miteinander gekoppelt. Wie dies zu geschehen hat, ist in den Merkmalen 1.11 bis 1.13 konkretisiert.

Nach den Merkmalen 1.11 und 1.12 müssen die erste und die zweite Zwischenverbindung sowie die dritte und die vierte Zwischenverbindung durch jeweils eine weitere (die fünfte bzw. die sechste) Zwischenverbindung miteinander gekoppelt sein. [X.]iese beiden zusätzlichen [X.] liegen auf einer zweiten [X.].

Gemäß Merkmal 1.3 müssen die fünfte und die sechste Zwischenverbindung über eine siebte Zwischenverbindung miteinander gekoppelt sein. [X.]iese Zwischenverbindung liegt auf einer dritten [X.].

cc) Nach der Beschreibung des Streitpatents schaffen die Trennung der [X.] auf [X.] und die Kopplung auf zwei weiteren Ebenen die Möglichkeit, die Länge der [X.] zu verringern, zum Beispiel auf einen Wert von weniger als zwei Mikrometer. Hierdurch kann die Rückspannung erhöht und die [X.] in den [X.] verringert werden (Abs. 21 [X.]).

dd) Entgegen der Ansicht des Patentgerichts dürfen die fünfte und die sechste Zwischenverbindung nicht - auch nicht teilweise - in der ersten [X.] verlaufen.

(1) Eine Verbindung zwischen der ersten und der zweiten Zwischenverbindung und eine Verbindung zwischen der dritten und der vierten Zwischenverbindung auf der ersten [X.] ist durch die Merkmale 1.5 bzw. 1.8 ausdrücklich ausgeschlossen.

[X.]iese Merkmale greifen die Ausgestaltung auf, die in der Beschreibung des Streitpatents für zwei von drei Gruppen von Ausführungsformen geschildert werden.

In den Erläuterungen zu den Figuren 3 bis 6, die eine erste Gruppe von möglichen Ausführungsformen betreffen, wird durchgehend und mehrfach hervorgehoben, dass die [X.] für die einzelnen Gruppen von [X.] auf der Metallebene [X.] nicht miteinander verbunden sind und dass die Kopplung erst mit Hilfe von zwei weiteren [X.] auf [X.] erfolgt (Abs. 21-31). Entsprechende Ausführungen finden sich zu den Figuren 11 bis 13, die eine dritte Gruppe von möglichen Ausführungsformen betreffen (Abs. 38-42). [X.]iese Trennung ist in den Merkmalen 1.5 und 1.8 ausdrücklich vorgesehen.

In den Erläuterungen zu den Figuren 7 bis 10, die eine zweite Gruppe von möglichen Ausführungsformen betreffen, ist demgegenüber nur jeweils eine Zwischenverbindung für [X.] und [X.] auf der ersten Metallebene [X.] erwähnt (Abs. 32-37). Auch wenn dem zu entnehmen sein sollte, dass es für jede Art von [X.] nur eine Zwischenverbindung auf [X.] geben muss oder dass mehrere solcher [X.] auf [X.] nicht getrennt sein müssen, käme dem für die Auslegung von Patentanspruch 1 keine Bedeutung zu. Patentanspruch 1 sieht eine solche Trennung in Anknüpfung an die anderen Ausführungsbeispiele ausdrücklich vor. [X.]em ist zu entnehmen, dass auch andere Ausführungsformen diese Ausgestaltung aufweisen müssen.

(2) In Zusammenschau mit den Merkmalen 1.5 und 1.8 ist den Merkmalen 1.11 und 1.12 in [X.] Hinsicht die Vorgabe zu entnehmen, dass die fünfte und sechste Zwischenverbindung nicht der ersten, sondern der zweiten [X.] zugeordnet sind und dementsprechend dort die erste und zweite bzw. dritte und vierte Zwischenverbindung koppeln. [X.]amit sind Gestaltungen ausgeschlossen, bei denen die erste [X.] in Teilabschnitten in die Kopplung einbezogen wird.

[X.]ass bei einer solchen Gestaltung ohne Mitwirkung der in der zweiten [X.] befindlichen Teilabschnitte eine Kopplung auf der ersten [X.] nicht stattfindet, rechtfertigt entgegen der Ansicht der Klägerin keine andere Betrachtung. [X.]ies ändert nichts daran, dass die auf der ersten [X.] befindlichen Teilabschnitte an der Kopplung notwendig teilnehmen mit der Folge, dass bezogen auf die Funktion der Kopplung keine eindeutige Zuordnung der fünften und sechsten Zwischenverbindung zur zweiten [X.] mehr möglich ist.

(3) Entgegen der Auffassung der Klägerin führt auch der Umstand, dass in den Merkmalen 1.5 und 1.8 von Verbinden (connecting), in den Merkmalen 1.11 bis 1.13 hingegen von Koppeln (coupled bzw. coupling) gesprochen wird, nicht zu einer abweichenden Beurteilung.

Weder aus der Beschreibung des Streitpatents noch aus sonstigen Umständen ergeben sich Anhaltspunkte dafür, dass die unterschiedliche Wortwahl unterschiedliche technische Wirkungen zum Ausdruck bringen soll. Sie dient lediglich der Verdeutlichung des mehrfach hervorgehobenen Umstands, dass die einzelnen [X.] auf [X.] nicht miteinander in Verbindung stehen und ihre Kopplung erst auf [X.] erfolgt.

(4) Entgegen der Auffassung des Patentgerichts ergibt sich aus Merkmal 1.9 ebenfalls keine abweichende Beurteilung.

Wie das Patentgericht im Ansatz zutreffend angenommen hat, ergibt sich aus Merkmal 1.9 allerdings, dass die Kopplung zwischen den ersten vier [X.] auf mehreren Ebenen erfolgen kann. Wie bereits oben im Zusammenhang mit den Figuren 9 und 11 ausgeführt wurde, kommen hierbei auch Verbindungen auf [X.] in Betracht, etwa zwischen der ersten und der dritten Zwischenverbindung. Für die erste und die zweite Verbindung sowie für die dritte und die vierte Verbindung schließen die Merkmale 1.5 und 1.8 eine Verbindung - mithin auch eine Kopplung - in [X.] aber ausdrücklich aus. [X.]ieses Verbot wird durch Merkmal 1.9 weder aufgehoben noch relativiert.

5. [X.]ie auf den Schutz eines Anordnungs- bzw. Betriebsverfahrens gerichteten Ansprüche (in der Fassung des zweitinstanzlichen Hauptantrags: Patentansprüche 7 und 8) werden im Wesentlichen durch die Vorrichtungsmerkmale aus Patentanspruch 1 geprägt und unterliegen keiner abweichenden Beurteilung.

II. [X.]as Patentgericht hat seine Entscheidung, soweit im Berufungsverfahren noch von Interesse, im Wesentlichen wie folgt begründet:

[X.]er Gegenstand des erteilten Patentanspruchs 1 sei gegenüber dem [X.]n Patent 5 444 276 ([X.]), den [X.]n Patentanmeldungen 2005/0212562 [X.] ([X.]) und 2012/0221759 ([X.]) sowie der [X.] Anmeldung 2 738 806 ([X.]) nicht neu. [X.]er offenkundig vorbenutzte [X.] 6560 nehme den Gegenstand ebenfalls vorweg. [X.]er Gegenstand des erstinstanzlichen [X.] (also des zweitinstanzlichen Hauptantrags) sei gegenüber der Vorbenutzung ebenfalls nicht neu und werde durch [X.] nahegelegt.

[X.] befasse sich mit der Ausbildung von [X.]n eines [X.]s, wie sie in Figur 12 gezeigt seien. [X.]ie Struktur bestehe aus zwei Invertern, die jeweils aus drei [X.] und [X.] gebildet würden. [X.]ie Verdrahtung der Transistoren erfolge in drei Ebenen, die mit Metal i-1, Metal i und [X.] bezeichnet würden. In der Lage Metal i-1 erfolge auf beiden Seiten jeweils die Verbindung aller [X.] und die Anbindung der Sources an entweder das Potential [X.] für die [X.] oder [X.] für die [X.]. Zudem würden die [X.] verbunden. [X.]ie Verbindung reiche jeweils vom [X.]rain des obersten [X.]Transistors zum [X.]rain des untersten [X.]s, wobei die beiden Seiten in der Lage Metal i-1 nicht miteinander verbunden seien.

[X.]ie grundlegende Transistorschaltung befinde sich, wie Figur 10 zeige, in einer [X.] ([X.]), in der mehrere von ihnen sowohl in Ost-West-Richtung als auch in Nord-Süd-Richtung verbunden werden könnten, um die Treiberstärke einstellen zu können. Würden zwei Transistorschaltungen ([X.]) der [X.] ([X.]) in Nord-Süd-Richtung über die in diese Richtung verlaufenden Leitungen (112, 113, 114, 115) verbunden und die Schalter zur Bildung funktionsfähiger Inverter gesetzt, gelange der Fachmann in naheliegender Weise zum Gegenstand des [X.] (= Hauptantrag im Berufungsverfahren). [X.]ass die fünfte und sechste Zwischenverbindung nicht ausschließlich in der zweiten [X.], sondern auch in der ersten [X.] angeordnet seien, sei unschädlich.

[X.]er [X.] sei zumindest in der Version [X.][X.]656105 offenkundig vorbenutzt worden. [X.]iese sei einem Reverse Engineering unterzogen worden, dessen Ergebnisse in dem Bericht von [X.] ([X.], [X.] 26, 2020; [X.]) dargestellt seien. Hinsichtlich der weiteren Version [X.][X.]656097 seien Konstruktionszeichnungen (Schematics [X.] [X.][X.]656097; [X.]) vorgelegt worden. Im für die Beurteilung des Streitpatents maßgeblichen Bereich lägen keine relevanten Abweichungen vor. [X.] zeige, dass der [X.] 6560 zumindest in sechs vor dem Prioritätsdatum des Streitpatents vertriebenen Smartphones verbaut gewesen sein müsse. [X.]en Autoren der [X.] müsse klar gewesen sein, dass es von dem [X.] möglicherweise mehrere Versionen gegeben habe und die Version [X.][X.]656105 Untersuchungsgegenstand sei.

[X.]er [X.] nach Anlage [X.] ([X.], [X.], 57) zeige zwar, dass der [X.] mit der Versionsnummer [X.][X.]656105 vom 24. April 2010 stamme und in ein Mobiltelefon eingebaut gewesen sei, das erst ab dem 2. Mai 2011 erhältlich gewesen sei. [X.]ies stelle aber keinen maßgeblichen Widerspruch dar, da Halbleiter-[X.]s auf Vorrat hergestellt werden könnten und die Angabe "Sample date" nicht zwingend bedeute, dass der [X.] zu diesem Zeitpunkt dem Smartphone entnommen worden sei. Es könne sich auch um das Herstellungsdatum oder das [X.]atum des Erwerbs eines [X.]s gleichen Typs handeln. Selbst wenn unklar sei, woher der [X.] stamme, würde [X.] trotzdem zeigen, dass er in der Version [X.][X.]656105 vor dem Prioritätsdatum der interessierten Öffentlichkeit zugänglich gewesen sei.

Gegenüber dem offenkundig vorbenutzten [X.] 6560 erweise sich lediglich der Gegenstand von Hilfsantrag 3b''neu (= Hilfsantrag 3a'' im Berufungsverfahren) als neu und auf erfinderischer Tätigkeit beruhend. Es sei zwar naheliegend gewesen, die dritte und vierte [X.] zu vertauschen, also die [X.] in der dritten [X.] und die Sources in der vierten [X.] zu verbinden. Nicht nahegelegt sei aber gewesen, die siebte Zwischenverbindung, also die Verbindung aller [X.], mit einem Ausgang der Vorrichtung zu verbinden, da die bei der Vorbenutzung in der vierten [X.] liegende siebte Zwischenverbindung auch als [X.] und damit als Ausgang diene.

III. [X.]iese Beurteilung hält hinsichtlich der mit dem zweitinstanzlichen Hauptantrag verteidigten Fassung der Überprüfung im Berufungsverfahren im Ergebnis stand.

1. Entgegen der Auffassung des Patentgerichts lag der mit dem Hauptantrag verteidigte Gegenstand allerdings ausgehend von [X.] nicht nahe.

a) Wie auch das Patentgericht angenommen hat, erweist sich der mit dem zweitinstanzlichen Hauptantrag verteidigte Gegenstand gegenüber [X.] als neu.

aa) [X.] betrifft die Architektur von [X.]n und Verdrahtungen in strukturierten anwendungsspezifischen integrierten Schaltkreisen (structured Application Specific Integrated Circuits, [X.]) und konfigurierbare [X.]n eines logischen Zellenfeldes.

(1) [X.]ie Logikzellen derartiger Halbleiter könnten in einer aktiven Schicht ausgebildet sein, die [X.]-Strukturen enthält. [X.]ie [X.] würden definiert durch mehrere [X.], die oberhalb der aktiven Schicht angeordnet sind und der Verdrahtung innerhalb einer einzelnen Zelle dienen (Abs. 3). Weitere [X.] dienten der Zufuhr von Versorgungsspannung und der Zu- und Ableitung von Signalen (Abs. 4 f.). In [X.] würden ganz oder teilweise vorgefertigte Logikzellen eingesetzt, die mit Speicherstrukturen kombiniert werden könnten. Ein Teil der Verdrahtung könne an die jeweilige Anwendung angepasst werden. Unter Kostengesichtspunkten sollten aber möglichst viele [X.] fest vordefiniert sein (Abs. 8 f.). Am Ausgang eines Funktionsblocks müssten häufig lange Leitungen angeordnet werden. [X.]iese könnten zu Signalverzögerungen führen und eine Auffrischung des Signals erfordern (Abs. 14).

Um den daraus resultierenden Problemen zu begegnen, schlägt [X.] ein neues Konstruktionsprinzip vor, bei dem die [X.] in einem regelmäßigen Array angeordnet sind, das in einer aktiven Schicht und mindestens einer ersten [X.] ausgebildet ist. Für die Weiterleitung von Signalen ist ein korrespondierendes Array von [X.]n vorgesehen. [X.]ieses umfasst mindestens zwei [X.] mit nicht parallelen Leitungen und einer dazwischen liegenden Isolationsschicht. Zumindest in einer Schicht sind die Leitungen als Segmente ausgeführt, die innerhalb eines Verdrahtungsfeldes durchgehend und an den Grenzen der [X.] unterbrochen sind (Abs. 20).

(2) [X.]ie nachfolgend wiedergegebene Figur 12 zeigt beispielhaft eine Basistransistorstruktur bestehend aus zwei baugleichen Unterstrukturen, die sich nebeneinander befinden und durch Leitungen (120) in der i-1-ten [X.] gebildet werden.

Jede Unterstruktur hat in ihrer oberen und unteren Hälfte jeweils drei Transistor-[X.] von Streifen-Transistoren. [X.]ie Transistor-[X.] befinden sich dort, wo die [X.] (122) die [X.] überlappt. Es handelt sich um eine Parallelschaltung von drei Invertern, die durch Parallelschaltung der Transistoren gebildet wird (Abs. 99).

[X.]ie Basistransistorstruktur wird durch zwei in der [X.] i befindliche, in West-Ost-Richtung verlaufende Verdrahtungsleitungen (110, 111) und vier in der [X.] i+1 befindliche, in Nord-Süd-Richtung verlaufende Verdrahtungsleitungen (112 bis 115) kontaktiert und kann hinsichtlich ihrer Treiberstärke konfiguriert werden. Weitere Verdrahtungsleitungen in der Schicht i+1 ohne vordefinierte Konfigurationsmöglichkeiten in Bezug auf den Treiberblock sind in den Freiräumen möglich (Abs. 98). [X.]ie Schalter s1 bis [X.] sind [X.] (Abs. 100).

Nach den Feststellungen des Patentgerichts erfolgt die Verbindung der [X.] und Sources an die Potentiale [X.] oder [X.] in der ersten Schicht Metal i-1 (120). Für die [X.] gibt es je eine Verbindung auf der linken und rechten Seite, die jeweils vom [X.]rain des obersten [X.]Transistors zum [X.]rain des untersten [X.]s reicht. [X.]ie beiden Seiten sind in der Schicht Metal i-1 (120) nicht miteinander verbunden. [X.]urch entsprechendes Setzen der Schalter kann eine Verbindung hergestellt werden in der Lage Metal i über die Schalter [X.] und [X.] sowie ein Stück Leitung in der Lage Metal i-1 (120) und die Schalter [X.] und [X.]. Eine entsprechende Verbindung kann über die Schalter [X.], [X.], [X.] und [X.] hergestellt werden, wie dies in der folgenden, von der Klägerin ergänzten Figur dargestellt ist. Beide Verbindungsmöglichkeiten werden in [X.] ausdrücklich als Möglichkeit offenbart (Abs. 105).

(3) [X.]ie nachfolgend wiedergegebene Figur 10 zeigt die Anordnung einer Vielzahl von [X.] ([X.]) in einer L-förmigen [X.] ([X.]). [X.]ie Treiberstärke kann durch geeignete Kontaktierung von [X.] beeinflusst werden (Abs. 92). Zusammen mit einer Logikzelle ([X.]) bildet die [X.] ([X.]) einen logischen Block des [X.].

bb) [X.]amit sind, wie auch die [X.] im Berufungsverfahren nicht in Zweifel zieht, die Merkmale 1 bis 1.9 offenbart.

cc) Nicht offenbart ist die Gesamtheit der Merkmale 1.11 bis 1.13.

Wie das Patentgericht in dem nach § 83 Abs. 1 [X.] erteilten Hinweis im Ansatz zutreffend ausgeführt hat, würde eine Verbindung über die Schalter [X.], [X.], [X.], [X.], [X.] und [X.] sowie die Schalter [X.], [X.], [X.], [X.], [X.] und [X.] die genannten Merkmale bei isolierter Betrachtung zwar verwirklichen. Wie die [X.] im Einzelnen dargelegt und auch das Patentgericht nicht in Zweifel gezogen hat, ergäbe sich daraus aber keine funktionsfähige Schaltung, weil dann auch die [X.] und die [X.] miteinander verbunden wären.

[X.]ie in [X.] ausdrücklich genannte Verbindung über die Schalter [X.], [X.], [X.] und [X.] bzw. [X.], [X.], [X.] und [X.] reicht ebenfalls nicht aus. Bei dieser Ausführungsform liegt ein Teil der Verbindung auf der ersten [X.]. [X.]ies widerspricht der Vorgabe aus den Merkmalen 1.5 und 1.8.

b) [X.]er mit dem Hauptantrag verteidigte Gegenstand war ausgehend von [X.] nicht nahegelegt.

Entgegen der Auffassung des Patentgerichts führt ein Untereinandersetzen von zwei Strukturen, wie es in der nachfolgend wiedergegebenen Kombination von zwei Kopien der Figur 12 schematisch dargestellt ist, nicht zu einer Ausgestaltung gemäß den Merkmalen 1.5, 1.8 und 1.11 bis 1.13.

Bei dieser Ausgestaltung sind die [X.] für die [X.] auf der linken Seite mit denjenigen auf der rechten Seite in beiden [X.] jeweils über die Schalter [X.], [X.], [X.] und [X.] miteinander verbunden, was als fünfte und sechste [X.] im Sinne der Merkmale 1.11 und 1.12 angesehen werden kann. [X.]iese beiden [X.]en sind ihrerseits über die Strecke zwischen den beiden Schaltern [X.] und den beiden Schaltern [X.] auf den beiden [X.] miteinander verbunden, was als siebte [X.] im Sinne von Merkmal 1.13 angesehen werden kann.

Auch bei dieser Ausführungsform verläuft die Verbindung zwischen den Schaltern [X.] und [X.] aber in der Schicht Metal i-1 (120) und damit in der ersten [X.] im Sinne des Streitpatents. [X.]ies widerspricht der Vorgabe aus den Merkmalen 1.5 und 1.8 sowie 1.11 bis 1.13.

2. Zu Recht hat das Patentgericht jedoch den [X.] vom Typ [X.] als neuheitsschädlich angesehen.

a) [X.]ie Feststellung des Patentgerichts, wonach der [X.] in der Version [X.][X.]656105 offenkundig vorbenutzt worden ist, hält den Angriffen der [X.]n stand.

Nach § 117 Satz 1 [X.] und § 529 Abs. 1 Nr. 1 ZPO sind in der Berufungsinstanz die im ersten Rechtszug festgestellten Tatsachen zugrunde zu legen, soweit nicht konkrete Anhaltspunkte Zweifel an der Richtigkeit oder Vollständigkeit der entscheidungserheblichen Feststellungen begründen und deshalb eine erneute Feststellung gebieten.

Solche Anhaltspunkte sind im Streitfall weder aufgezeigt noch sonst ersichtlich.

aa) [X.]as Patentgericht hat seine Würdigung auf einen [X.] des Unternehmens [X.] ([X.], [X.] 26, 2020; [X.]), auf einen [X.] des Unternehmens [X.] ([X.], [X.]) und auf digitale Konstruktionszeichnungen des Anbieters [X.] ([X.]) gestützt.

In [X.] wird anhand von Auszügen aus einer von [X.] geführten [X.]atenbank schematisch dargestellt, dass dieses Unternehmen einen [X.] mit der Typenbezeichnung [X.] und der Versionsnummer [X.][X.]656105 in sechs verschiedenen Mobiltelefon-Modellen der Hersteller [X.], [X.] und [X.] vorgefunden hat, die im Zeitraum zwischen dem 13. Juli 2011 und dem 17. Juli 2002 erworben wurden (S. 2).

Zu den in [X.] aufgeführten Telefon-Modellen gehört das [X.] Galaxy S II I9100, das auch nach den Angaben in [X.] einen [X.] mit der Typenbezeichnung [X.] und der Versionsnummer [X.][X.]656105 enthielt. In [X.] und [X.] sind Fotos enthalten, laut denen auf dem [X.] die genannte Versionsnummer und die Jahreszahl 2010 angegeben ist.

[X.] zeigt ferner [X.]etails zum Aufbau des [X.]s. [X.]ieser stimmt nach den Feststellungen des Patentgerichts hinsichtlich aller für den Streitfall relevanten Merkmale mit dem Aufbau des in [X.] beschriebenen [X.]s mit derselben Typennummer und der abweichenden Versionsnummer [X.][X.]656097 überein.

bb) Bei dieser Ausgangslage durfte das Patentgericht in tatrichterlicher Würdigung zu dem Ergebnis gelangen, dass die Angaben in [X.] inhaltlich zutreffend sind, obwohl die [X.] dies mit Nichtwissen bestritten und Umstände aufgezeigt hat, die zu einer abweichenden Beurteilung führen könnten. [X.]ie von der [X.]n schon in erster Instanz erhobenen und mit der Berufung wiederholten Einwände zeigen keine konkreten Anhaltspunkte auf, die Zweifel an der Richtigkeit oder Vollständigkeit der getroffenen Feststellungen begründen.

(1) Entgegen der Auffassung der [X.]n ist [X.] nicht deshalb als untaugliches Beweismittel anzusehen, weil die darin enthaltenen Angaben zu Typen, Versionsnummern und Kaufdaten aus einer von [X.] selbst geführten [X.]atenbank stammen und der Inhalt der dargestellten Ordnerstruktur und ihr Zusammenhang zu den Angaben lediglich überblicksartig dargestellt ist und nicht im Einzelnen erläutert wird.

[X.]er aufgezeigte Umstand mag theoretisch die Gefahr begründen, dass einzelne oder alle Angaben ungenau oder lückenhaft sind. Ob diese Gefahr praktisch relevante Zweifel an der Wahrheit der von der Klägerin unter Beweis gestellten Behauptung begründet, ist aber eine Frage der tatrichterlichen Würdigung.

[X.]as Patentgericht hat die in Rede stehenden Angaben als hinreichend zuverlässig angesehen, weil sie detailliert und in sich konsistent sind und weil es dem Unternehmen [X.] hinreichende Fachkunde zugebilligt hat, um eventuelle Ungereimtheiten zu erkennen. [X.]iese Würdigung hält einer Überprüfung am eingangs genannten Maßstab stand.

(2) Zu Recht hat das Patentgericht [X.] und [X.] nicht deshalb unberücksichtigt gelassen, weil beide Berichte ausweislich der darin enthaltenen [X.] nach dem [X.] erstellt worden sind, nämlich in den Jahren 2018 bzw. 2020.

[X.] und [X.] bilden nach dem Vortrag der Klägerinnen keine Entgegenhaltungen aus dem Stand der Technik. Sie dienen vielmehr dem urkundlichen Nachweis dafür, dass der [X.] mit der Typenbezeichnung [X.] und der Versionsnummer [X.] vor dem [X.] öffentlich zugänglich war. Insoweit stellen sie ein taugliches Beweismittel dar.

Ob die in [X.] und [X.] enthaltenen Angaben inhaltlich zutreffend sind, ist eine Frage der Beweiswürdigung. Für diese kann auch das relativ späte Erstellungsdatum von Bedeutung sein.

[X.]as Patentgericht hat auch diesen Umstand berücksichtigt. Seine Schlussfolgerung, dass die Angaben in [X.] und [X.] den Stand der Technik zuverlässig wiedergeben, unterliegt auch insoweit keinen durchgreifenden Zweifeln.

(3) Konkrete Anhaltspunkte für Zweifel an der Richtigkeit und Vollständigkeit der getroffenen Feststellungen bestehen auch nicht deshalb, weil [X.] und [X.] eine andere Versionsnummer ausweisen als [X.].

[X.]as Patentgericht hat diese Abweichung berücksichtigt und mit nicht zu beanstandenden Erwägungen als für die Würdigung unerheblich angesehen, weil die beiden Versionen in den für den Streitfall relevanten Merkmalen übereinstimmen und weil die [X.] in [X.] und [X.] übereinstimmen.

(4) [X.]er Umstand, dass [X.] in Bezug auf den [X.] die Angabe "Sample date 4/24/2010" enthält, führt nicht zu einer abweichenden Beurteilung.

[X.]as Patentgericht hat auch diesen Umstand berücksichtigt. Es hat insbesondere gesehen, dass die genannte Angabe Grund zu Zweifeln geben könnte, wenn sie sich auf das [X.]atum bezöge, zu dem das untersuchte Mobiltelefon gekauft wurde, weil Mobiltelefone des untersuchten Typs nach dem Vorbringen der Klägerin erst ab dem 2. Mai 2011 erhältlich waren. Es hat die Angabe dennoch als plausibel angesehen, weil sie sich auch auf das Herstellungsdatum des [X.]s beziehen kann. [X.]iese Erwägung ist überzeugend, zumal ausweislich der in [X.] und [X.] wiedergegebenen Fotos auf der Außenseite des [X.]s die Jahreszahl 2010 angegeben ist.

Vor diesem Hintergrund ist auch die vom Patentgericht gezogene Schlussfolgerung nicht zu beanstanden, dass [X.] selbst dann Beweiswert zuzubilligen wäre, wenn der konkret untersuchte [X.] nicht aus einem Mobiltelefon des angegebenen Typs stammt, sondern anhand der vorgefundenen Versionsnummer die [X.]aten eines bereits früher untersuchten anderen [X.]s dieser Version verwendet wurden.

b) [X.]ie in [X.] und [X.] gezeigten [X.]s nehmen alle Merkmale des mit dem Hauptantrag verteidigten Gegenstands vorweg.

aa) [X.]er in [X.] gezeigte [X.] mit der Versionsnummer [X.] weist [X.] und [X.] mit der nachfolgend dargestellten Verschaltung auf (S. 4).

bb) [X.]er Aufbau des aus [X.] ersichtlichen [X.]s mit der Versionsnummer [X.] stimmt nach den Feststellungen des Patentgerichts im hier relevanten und nachfolgend gezeigten Bereich mit demjenigen aus [X.] überein.

Wie unter anderem der nachfolgend wiedergegebenen Fotografie auf Seite 8 entnommen werden kann, befinden sich die [X.] in einer Vielzahl vertikaler Linien auf einer ersten [X.] [X.] (blau) mit von links nach rechts verlaufenden [X.] (grün). [X.]ie [X.], Sources (S) und [X.] ([X.]) werden durch die gelb eingezeichneten [X.] kontaktiert.

In dem mit [X.] bezeichneten Bereich sind die [X.] auf der [X.] [X.] durch von oben nach unten verlaufende Streifen verbunden. Zumindest hinter dem von links gezählt vierten mit [X.] bezeichneten Streifen besteht keine Verbindung zu den davor verlaufenden [X.]rain-Streifen.

[X.]ie nachfolgend wiedergegebene Fotografie auf Seite 11 zeigt eine zweite [X.] [X.], durch die [X.] der Vielzahl von [X.] mittels von links nach rechts verlaufender Metallstreifen miteinander verbunden werden.

[X.]ie [X.] sind in entsprechender Weise angeordnet.

Nach [X.] ([X.]) erfolgt eine Verbindung der [X.] der [X.] und [X.] in einer vierten [X.] [X.], wie dies in der nachfolgend wiedergegebenen Fotografie auf Seite 27 dargestellt ist.

cc) [X.]amit sind, wie auch die [X.] nicht in Zweifel zieht, die Merkmale 1.1 bis 1.13.1 offenbart.

dd) Entgegen der Auffassung der [X.]n handelt es sich bei dem offenbarten Halbleiter um eine [X.]-Vorrichtung gemäß Merkmal 1.

Wie bereits oben aufgezeigt wurde, ist hierfür ausreichend, dass der Halbleiter in [X.]-Technologie hergestellt wurde. Ob er auch eine [X.]-Logik enthält, ist unerheblich.

IV. Hinsichtlich der Hilfsanträge 1 und 1a sowie der jeweils mit einem bzw. zwei Apostrophen gekennzeichneten Varianten ergibt sich keine abweichende Beurteilung.

1. [X.]ie für alle Anträge vorgesehene, mit einem Apostroph gekennzeichneten Varianten, bei der das Merkmal 1.13.1 entfällt, ist bezüglich der Patentfähigkeit schon deshalb nicht anders zu beurteilen, weil dieses Merkmal nach dem Hauptantrag fakultativ ist.

2. Für die mit zwei Apostrophen gekennzeichnete Variante, die das Merkmal 1.13.1 als zwingendes Merkmal vorsieht, ergibt sich ebenfalls keine abweichende Beurteilung.

[X.]ieses Merkmal ist ebenfalls durch die Vorbenutzung [X.] offenbart.

a) Nach dem modifizierten Merkmal 1.13.1 muss der Ausgang der Vorrichtung mit der siebten Zwischenverbindung verbunden sein.

[X.]amit ist zwar nicht konkret angegeben, in welcher Weise die Verbindung zu erfolgen hat. Wie das Patentgericht im Zusammenhang mit der von ihm als rechtsbeständig angesehenen aufrechterhaltenen Fassung zutreffend ausgeführt hat, ergibt sich aber aus dem Zusammenhang der in Patentanspruch 1 enthaltenen Vorgaben zu den unterschiedlichen [X.] und [X.]n, dass der Ausgang in [X.] Hinsicht der siebten Zwischenverbindung zugeordnet sein muss und nicht so ausgestaltet sein darf, dass er zugleich einer anderen Verbindung zugeordnet werden kann.

[X.]as schließt aus, dass die Verbindung lediglich vermittelt über eine andere Zwischenverbindung oder [X.] erfolgt.

b) Zu Recht hat das Patentgericht entschieden, dass diese Ausgestaltung durch die Vorbenutzung [X.] offenbart ist.

Bei der in [X.] dargestellten Anordnung dient die in der vierten [X.] liegende siebte Zwischenverbindung (S. 3 und 6 jeweils rechts) als [X.] und damit als Ausgang für den [X.]. [X.]ies entspricht den oben aufgezeigten Vorgaben.

3. [X.]ie nach Hilfsantrag 1 vorgesehene Streichung von Merkmal 1.9 führt ebenfalls nicht zu einer abweichenden Beurteilung.

Wie bereits oben dargelegt wurde, ergibt sich aus Merkmal 1.9 entgegen der Auffassung des Patentgerichts nicht, dass die fünfte und die sechste Zwischenverbindung teilweise in der ersten [X.] verlaufen dürfen. [X.]ie Streichung dieses Merkmals führt insoweit nicht zu einer inhaltlichen Änderung des geschützten Gegenstands.

4. [X.]ie in Hilfsantrag 1a vorgesehene Ergänzung des [X.] dahin, dass die erste und die zweite Zwischenverbindung auf der [X.] nicht mit der dritten oder der vierten Zwischenverbindung verbunden sein dürfen, schließt Ausgestaltungen aus, wie sie in den Figuren 9 und 11 dargestellt sind.

[X.]iese Einschränkung vermag nicht zur Bejahung der erfinderischen Tätigkeit zu führen, weil nicht erkennbar ist, welche Vorteile sie im Vergleich zu der im Stand der Technik bereits offenbarten und im Streitpatent als besonders vorteilhaft dargestellten Lösung nach dem Vorbild von Figur 11 bringt.

V. [X.]er mit Hilfsantrag 2a verteidigte Gegenstand ist demgegenüber patentfähig.

1. Nach Hilfsantrag 2a, der dem erstinstanzlichen Hilfsantrag 1b entspricht, soll Patentanspruch 1 in der Fassung des zweitinstanzlichen Hauptantrags wie folgt geändert werden:

2. [X.]ie daraus resultierenden Änderungen bedürfen näherer Betrachtung.

a) Entgegen der Auffassung der Klägerin dürfen zwischen den drei in Merkmal 1.22 vorgesehenen Metallschichten keine weiteren Metallschichten angeordnet sein.

[X.]ies ergibt sich aus der in Merkmal 1.22 enthaltenen Festlegung, dass die zweite und die dritte Metallschicht jeweils als nächste Metallschicht über der ersten bzw. zweiten Schicht liegen.

b) Aus der Zusammenschau mit den modifizierten Merkmalen 1.3, 1.11 und 1.13 ergibt sich, dass die danach vorgesehenen drei [X.]n in den drei Metallschichten nach Merkmal 1.22 angeordnet sind.

[X.]ies ergibt sich aus der in allen drei eingangs genannten Merkmalen enthaltenen Bezugnahme auf "die" Metallschicht mit der jeweils entsprechenden Ordnungsziffer.

3. Entgegen der Auffassung der Klägerin ist Merkmal 1.22 in den ursprünglich eingereichten Unterlagen als zur Erfindung gehörend offenbart.

a) Wie die Patentschrift spricht auch die Anmeldung - deren Inhalt mit der [X.] ([X.]) übereinstimmt - im Zusammenhang mit den Ausführungsbeispielen nach den Figuren 2 und 3 lediglich von "einer" oder "der" ersten, zweiten und dritten Metallschicht, ohne deren Lage genauer zu spezifizieren (Abs. 36-38). In Zusammenhang mit dem Ausführungsbeispiel nach den Figuren 4 bis 13 werden die Schichten hingegen mit [X.], [X.] und [X.] bezeichnet (Abs. 39-61).

aa) [X.]ie Bezeichnungen [X.], [X.] und [X.] werden nach den Feststellungen des Patentgerichts zu dem in einigen erstinstanzlichen Hilfsanträgen vorgesehenen Merkmal 1.21 üblicherweise für die untersten drei Schichten auf einem [X.] verwendet. [X.]amit ist, wie auch das Patentgericht zutreffend angenommen hat, die in Merkmal 1.22 vorgesehene Anordnung ursprünglich offenbart.

bb) Soweit die Klägerin die genannten Bezeichnungen demgegenüber als bloße Ordnungszahlen verstehen will, zeigt sie keine Umstände auf, die dafür sprechen könnten, dass die Bezeichnungen in der Anmeldung abweichend vom üblichen Sprachgebrauch verwendet werden.

In den Ausführungsbeispielen folgen die drei Schichten unmittelbar aufeinander und eine unterhalb der Schicht [X.] angeordnete Schicht wird nicht erwähnt.

[X.]em Umstand, dass die Figuren 4 bis 13 eine stark schematisierte und auf die Verbindung der [X.] fokussierte [X.]arstellung zeigen, ist nicht zu entnehmen, dass die in diesem Zusammenhang verwendeten Bezeichnungen [X.], [X.] und [X.] in einer vom üblichen technischen Sprachgebrauch abweichenden Bedeutung verwendet werden. Aus dem Zusammenhang ergibt sich zwar, dass die beschriebene Vorrichtung auch Verbindungen für andere Elemente enthalten muss, insbesondere für Sources und [X.]. [X.]ies erfordert aber auch nach dem Vorbringen der Klägerin nicht zwingend, dass zwischen die in den Ausführungsbeispielen gezeigten Schichten oder darunter zusätzliche Schichten eingefügt werden müssen.

Ob die Bezeichnung [X.] in der [X.] Patentanmeldung 2 378 806 ([X.]) oder in dem [X.]n Patent 7 112 855 ([X.]4) in anderem Sinne verwendet wird, bedarf keiner abschließenden Entscheidung. Selbst wenn dies zu bejahen wäre, ergäben sich daraus keine konkreten Anhaltspunkte dafür, dass auch der Anmeldung des Streitpatents ein vom üblichen fachlichen Sprachgebrauch abweichendes Verständnis zugrunde liegt.

b) Vor diesem Hintergrund kann offenbleiben, ob die Anmeldung auch abweichende Ausführungsformen als zur Erfindung gehörend offenbart, bei denen zwischen oder unter den drei für die Verbindung der [X.] genutzten Schichten zusätzliche, anderen Zwecken dienende Schichten angeordnet sind. Selbst wenn dies zu bejahen wäre, ergibt sich aus der Schilderung der genannten Ausführungsbeispiele, dass jedenfalls auch solche Ausführungsformen beansprucht sind, bei denen zusätzliche Schichten an den genannten Stellen nicht vorhanden sind.

c) Entgegen der Auffassung der Klägerin ist der Anmeldung nicht zu entnehmen, dass die Vorrichtung ausschließlich drei Metallschichten aufweisen darf.

[X.]ie Anmeldung und das Streitpatent befassen sich zwar nur mit drei Schichten. Schon aus dem Umstand, dass neben den im Mittelpunkt der Betrachtung stehenden [X.] auch andere Elemente der Vorrichtung miteinander verbunden werden müssen und die Anmeldung hierzu keine Festlegungen trifft, ergibt sich aber hinreichend deutlich, dass weitere Schichten vorhanden sein können.

4. [X.]er mit Hilfsantrag 2a verteidigte Gegenstand ist patentfähig.

a) [X.]urch [X.] war dieser Gegenstand aus denselben Gründen nicht offenbart oder nahegelegt wie der mit dem zweitinstanzlichen Hauptantrag verteidigte Gegenstand.

b) [X.]urch die Vorbenutzung [X.] war der genannte Gegenstand ebenfalls weder offenbart noch nahegelegt.

aa) Wie das Patentgericht im Zusammenhang mit dem erstinstanzlichen Hilfsantrag 3b zutreffend dargelegt hat, ist das modifizierte Merkmal 1.13 in [X.] und [X.] nicht offenbart.

[X.]ie Verbindungen zwischen den fünften und sechsten [X.] werden in [X.] und [X.] durch die dritte [X.] nur hindurchgeführt und erst in der vierten [X.] hergestellt ([X.] [X.] f. und [X.] f.).

bb) Entgegen der Auffassung des Patentgerichts war das modifizierte Merkmal 1.13 ausgehend von der Vorbenutzung [X.] nicht nahegelegt.

(1) Nach den Feststellungen des Patentgerichts ist es aus technischer Sicht zwar grundsätzlich irrelevant, in welcher Reihenfolge die beiden [X.]n zur Verbindung der [X.] und der Sources angeordnet werden.

Nach dem insoweit unwidersprochen gebliebenen Vorbringen der [X.]n war es ausgehend von dem in [X.] und [X.] gezeigten Aufbau aber nicht ohne weiteres möglich, die für die Verbindung der Sources genutzte dritte [X.] stattdessen für die Verbindung der [X.] zu nutzen, weil dann der in [X.] und [X.] gezeigte [X.] mittels [X.]s in [X.] nicht möglich wäre, was eine weitere Umkonfiguration notwendig machen würde.

Vor diesem Hintergrund bedurfte es einer besonderen Anregung, die Funktion der dritten und der vierten [X.] zu tauschen. Wie das Patentgericht im Zusammenhang mit der von ihm für rechtsbeständig erachteten Fassung zutreffend dargelegt hat, ergab sich eine solche Anregung weder aus [X.] oder [X.] noch aus sonstigen Umständen.

(2) [X.]er vom Patentgericht ergänzend herangezogene Umstand, dass [X.] an anderer Stelle eine Verbindung für die [X.] in der dritten [X.] zeigt, spricht nicht gegen, sondern ebenfalls für die Bejahung erfinderischer Tätigkeit.

[X.]ie unterschiedliche Reihenfolge der Source- und [X.]rain-Verbindungen an unterschiedlichen Stellen des [X.]s spricht ebenfalls dafür, dass die Auswahl zwischen den in Betracht kommenden Möglichkeiten nicht beliebig ist, sondern sich an anderen Gegebenheiten der Konstruktion orientiert. Auch unter diesem Aspekt bedurfte es einer besonderen Anregung, die in [X.] und [X.] offenbarte Reihenfolge in dem hier relevanten Bereich zu ändern.

VI. [X.]ie Kostenentscheidung folgt aus § 121 Abs. 2 [X.] sowie § 97 Abs. 1 und § 92 Abs. 1 Satz 1 ZPO.