Nichtzulassungsbeschwerde - grundsätzliche Bedeutung einer Rechtssache - überlanges Gerichtsverfahren - Entschädigungsklage - Erhebungszeitpunkt der Verzögerungsrüge - Anlass zur Besorgnis der Verfahrensverzögerung - Gewichtung und Würdigung der Einzelfallumstände durch Entschädigungsgericht - erneute Verzögerungsrüge bei weiteren Verzögerungen in der höheren Instanz - Divergenz - Darlegungsanforderungen
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