Patentbeschwerdeverfahren – „Verfahren zur Bestimmung eines Korrekturwerts für die Vermessung von Positionen von Strukturen auf einem Substrat“ - zur Zulässigkeit der Beschwerde bei geltend gemachten Unrichtigkeiten des Erteilungsbeschlusses – Bestimmung des Patentinhalts ausschließlich durch den Erteilungsbeschluss – zur Rückzahlung der Beschwerdegebühr
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